可编程熔丝结构和编程熔丝结构的方法技术

具有亚微米尺寸的一种抗噪声熔丝，能够由电与热同步的事件加以编程。该熔丝包含一对互相靠紧的熔丝链路、热耦合构成该对的两条链路的一个导热与电绝缘材料层以及通过促使第二链路选通链路之间经由耦合层的能量传送的装置。通过组合热与电脉冲来执行编程功能，与单一元件的熔丝相比，极大地增进了熔丝结构的可靠性。（*该技术在2015年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及用在VLSI(超大规模集成)电路中的电可编程的熔丝的设计与结构，更具体地涉及呈现抗噪声性能的缩小的熔丝的设计，从而防止它受到寄生噪声信号的意外编程。电可编程熔丝已广泛地用在超大规模集成电路(VLSI)的设计与制造中。熔丝通常用于冗余性目的，其中集成电路(IC)芯片或IC组件内的某些缺陷区可以在电气上加以断开并用工作区来取代。这种编程熔丝技术以熟悉本技术的人所共知的方式具有提高产量及增加电路设计人员的灵活性的优点，提供了诸如工程改变(EC)等“修理”的方便。通常，熔丝可在称作“激光突击(zapping)”的一种操作中用(激光)来编程，其中的熔丝受到物理上加热与熔化。其它编程技术包含以脉冲形式使电流通过熔丝链路以使熔丝电阻产生焦耳能量加热，它热熔化与电隔离互相之间的电连接。在这两种情况中，能量是在编程期间直接作用在熔丝上的。作为示例，颁给Machida等人的英国专利2,237,446A中描述了在具有将熔丝连接到外部布线与编程源的两个端点的熔丝上形成开路的一种过程。附图说明图1a与1b中示出了按照Machida等人的指导的一种熔丝。另外，如图2a与2b中所示的第二种典型本文档来自技高网...

【技术保护点】
在具有用一个绝缘层绝缘的一块基板的一个集成电路中，一种可编程的熔丝结构包括：在所述绝缘层上的一对携带电流的熔丝链路，所述熔丝链路互相靠紧；一个导热材料的耦合层，所述熔丝链路对是用所述的层热耦合的；以及用于通过起动所述熔丝链路对中的所述第二链路将能量从所述对中的所述第二链路经由所述导热材料层传送到所述第一链路而编程所述熔丝链路对中的所述第一链路的装置。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】US 1994-10-8 2929011.在具有用一个绝缘层绝缘的一块基板的一个集成电路中，一种可编程的熔丝结构包括在所述绝缘层上的一对携带电流的熔丝链路，所述熔丝链路互相靠紧；一个导热材料的耦合层，所述熔丝链路对是用所述的层热耦合的；以及用于通过起动所述熔丝链路对中的第二链路将能量从所述对中的所述第二链路经由所述导热材料层传送到所述第一链路而编程所述熔丝链路对中的所述第一链路的装置。2.权利要求1中所述的可编程熔丝结构，其特征在于所述基板是用形成在所述基板上的一层SiO2绝缘的。3.权利要求1中所述的可编程熔丝结构，其特征在于所述熔丝链路对中的各链路具有两个接线端，各所述接线端分别连接在向集成电路提供布线的互连线上。4.权利要求3中所述的可编程熔丝结构，其特征在于各所述熔丝链路的所述接线端之一共用一条公共的互连线。5.权利要求1中所述的可编程熔丝结构，其特征在于所述导热层是一个电绝缘层。6.权利要求5中所述的可编程熔丝结构，其特征在于所述导热层由选自包含BeO、Al3N4与金刚石的组中的一种材料制成。7.权利要求1中所述的可编程熔丝结构，其特征在于用于编程的所述装置为一个同时作用在所述熔丝对中的各链路上的一个电压脉冲。8.权利要求1中所述的可编程熔丝结构，其特征在于用于编程的所述装置为顺序地作用在所述熔丝链路对中的各链路上的一个同步脉冲。9.权利要求1中所述的可编程熔丝结构，其特征在于所述导热与电绝缘层复盖所述熔丝链路对中的第一与第二链路两者。10.权利要求1中所述的可编程熔丝结构，其特征在于第一条所述熔丝链路从上面跨越第二条所述链路。11.权利要求1中所述的可编程熔丝结构，其特征在于第一条所述熔丝链路从下面跨越第二条所述链路。12.权利要求1中所述的可编程熔丝结构，其特征在于一旦将第一熔丝链路激励到了其编程电平，所述熔丝对的第二链路便选通第一熔丝链路的能量耗散率。13.在具有用一个绝缘层绝缘的一块基板的一个集成电路中，一种可编程熔丝结构包括在所述绝缘层上的一对携...

【专利技术属性】
技术研发人员：RJ贝扎马，DJ舍皮斯，K塞斯汉，
申请(专利权)人：国际商业机器公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]