用于通用可编程半导体处理系统的结构及其方法技术方案

一种用于最优化包括软件控制程序的半导体处理系统中的一组步骤的方法，其中，半导体处理系统包括第一功能、第二功能和第三功能，并进一步包括用于存储一组变量的存储器，并且其中该组步骤进一步包括第一步骤、第二步骤和第三步骤。本发明专利技术包括在编辑器应用程序上生成第一步骤，其中，将第一功能添加到第一步骤，并且如果需要，则添加第一组用户输入指令。本发明专利技术还包括在编辑器应用程序上生成第二步骤，其中，将第二功能添加到第二步骤，并且如果需要，则添加第二组用户输入指令；以及在编辑器应用程序上生成第三步骤，其中，将第三功能添加到第三步骤，并且如果需要，则添加第三组用户输入指令。本发明专利技术进一步包括以适当的顺序安排第一步骤、第二步骤和第三步骤；将该组步骤传送到半导体处理系统；执行该组步骤；将一组结果存储在该组变量中；以及，如果需要，则由该组变量生成报表。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术主要涉及半导体制造纟支术，并且更特别地，涉及最优化半导体基本(capital)设备处理系统中的一組操作的方法和i殳备。
技术介绍
常常花费上亿美元来设计和操作半导体制造设备。因此最优化 生产量和减少成本对于获利是很关键的。然而，这些设备内的基本 设备处理系统常常需要相当大的人工干预，而人工干预会产生过程 差异乃至完全操作错误的可能。大多数半导体基本设备处理系统通常由包括操作软件程序的 尖端计算机来控制，其中，经由界面提供给用户向设备发送请求和 接收来自设备的输出信息的能力。这些过程步骤几乎完全手动地执 行。在典型的才喿作环境中，用户手动设置用于制造过程的参数(例 如，电压、气流混合、气体流速、压力等)然后手动启动开始批j亍。 处理系统通过计算来自一个或多个传感装置(例如，位置编码器、 温度和压力传感器、流速指示器等)的信号或通过请求操作者输入 信息(例如，光谱光学发射结果、气体比例混合等)来检查其状态。 测-试产品最初经过系统，以确4呆处理在可4妄受的参凄史内，其后开始 产品运行。在该处理期间，通常期望操作员遵循打印的程序并在适 当的时间物理上i也i己录系统测量。然而，由于训练、经-险、或态度的差异，不同的操作员可能在 相同的机器上不同地实施相同的测试。此夕卜，输入到处理数据笔记 本的信息可能是不完全的或不正确的，这样给其任务为确保制造工 艺被最佳设置和制造成品率维持在可接受的水平的过程工程师带 来问题。当在相同产品的制造中同时使用相同处理系统的多个版本时， 过程差异进一步复杂化。由于制造设备的不同等效件可能在不同时 间-敗安装，或者被不同程度地使用，其维护周期不一定与其余的维 护周期相匹配，i昝在i也导致室与室的过禾呈差异。此外，常常需要在用户所在地安全快速地更改处理系统的操 作。 一般地，常常难以实现半导体制造设备程序的改变，尤其是在 多个i殳备单元的情况下。处理灵活性的这种不足可能导致实质上的 低效率并因此极大地增加生产成本。例如，用户可能因为一些新发 现的过程差异而想要处理设备执行新测试程序。为了执行这个新程 序，厂家必须首先创建或々务改现有书面程序并向用户所在地派遣现 场工程师以进行培训，然后在一,殳时间内监控工具性能的变化以确 保适当的功能性。这个处理可能花费几周的时间，潜在地花费几十 万美元。考虑到上述问题，需要一种用于通用可编程半导体处理系统的结构。
技术实现思路
在一个实施例中，本专利技术涉及一种最优化包括软件控制程序的 半导体处理系统中的一组步骤的方法，其中，半导体处理系统包括 第一功能(function),第二功能、和第三功能，并进一步包括用于 存储一组变量的存储器，并且其中，该组步骤进一步包括第一步骤、第二步骤、和第三步驶《。本专利技术包4舌在编豸卑器应用禾呈序上生成第一 步骤，其中，将第一功能添加到第一步骤，并且如果需要，则添加第一组用户输入指令。本专利技术还包括在编辑器应用程序上生成第二步骤，其中，将第二功能添加到第二步骤，并且如果需要，则添 加第二组用户输入指令；以及在编辑器应用程序上生成第三步骤，其中，将第三功能添加到第三步骤，并且如果需要，则添加第三组 用户输入指令。本专利技术进一步包括以适当的顺序安排第一步骤、第 二步骤、和第三步骤；将该组步骤传送到半导体处理系统；#丸行该 组步骤；将一组结果存储在该组变量中；以及，如果需要，则由该 组变量生成报表。在另 一实施例中，本专利技术涉及一种用于最优化包括软件控制程 序的半导体处理系统中的一组步骤的设备，其中，半导体处理系统 包括第一功能、第二功能、和第三功能，并进一步包括用于存储一 组变量的存储器，并且其中，该组步骤进一步包括第一步骤、第二 步骤、和第三步骤。本专利技术包括用于在编辑器应用程序上生成第一 步骤的装置，其中，第一功能^皮添加到第一步^^,并且如果需要， 则第一组用户输入指令^皮添加。本专利技术还包括用于在编辑器应用 程序上生成第二步骤的装置，其中，第二功能被添加到第二步骤， 并且如果需要，则第二组用户输入指令被添加；以及用于在编辑器 应用程序上生成第三步骤的装置，其中，第三功能被添加到第三步 骤，并且如果需要，则第三组用户输入指令被添加。本专利技术进一步 包括用于以适当的顺序安排第一步骤、第二步骤、和第三步骤的 装置；用于将该组步骤传送到半导体处理系统的装置；用于执行该 组步骤的装置；用于将一组结果存储在该组变量中的装置；以及， 如果需要，用于由该组变量生成报表的装置。本专利技术的这些和其他 特4正将在本专利技术的以下详细描述中结合附图更加详细地描述。附图说明将结合附图通过举例的方式而不通过限制的方式来描述本专利技术，其中，相同参考标号代表相同部件，以及其中图1示出了根据本专利技术的一个实施例的创建宏(macro,宏指 令)的处理的简图2示出了根据本专利技术的一个实施例的用于控制半导体处理系 统的一组筒化的宏；图3示出了才艮据本专利技术的一个实施例的用于控制半导体处理系 统的该组简化的宏的结果的简化冲艮表；图4示出了示出4艮据本专利技术的一个实施例的用于创建用于控制 半导体处理系统的宏的步骤的简化流程图；以及图5A-B示出了4艮据本专利技术的一个实施例的用于半导体处理系 统的图形显示；图6A-6B示出了根据本专利技术的一个实施例的宏编辑器。具体实施例方式现将参照如附图所示的几个优选实施例来对本专利技术进4亍详细 地描述。在以下描述中，描述了大量特定细节以充分理解本专利技术。 然而，对于本领域冲支术人员而言，在没有某些或所有这些特定细节 的情况下可以实施本专利技术是显而易见的。在其他情况下，对众所周 知的处理步艰《和/或结构没有进4亍详细i也描述，以免〗吏本专利技术不清才艮据本专利技术的一个实施例，有利地/使用宏引擎(engine)以扩 展和增强半导体处理系统的性能。换句话说，可以创建称为宏的一 组控制指令或步骤，以控制半导体处理系统的功能并进一步将处理 信息存储在存储器中以生成报表。此外，这些指令可以用宏编辑器 创建和修改，并随后存储在文件中。在一个实施例中，该组宏包括先前以非宏(non-macro )方式(诸 如硬件启动资格)被编程的制造程序。在另一实施例中，该组宏包 括先前被物理印刷的制造程序。在另一实施例中，该组宏允许用户 直接将系统测量值输入到半导体处理系统中。在另一实施例中，该 组宏充分地监控操作者活动并随后创建半导体处理系统事件、活 动、错误、和问题的日志。在另一实施例中，该日志可以用电子方 式初。险索(retrieve)并^皮远禾呈分片斤。在另一实施例中， -使用用户界 面以允i午才喿作者与该组宏交互。在另一实施例中，半导体处理系统 可以是全自动的，并且在没有用户交互的情况下运行。在另一实施 例中，该组宏可以在所有大致等效的半导体处理系统上#:标准化， 充分;也减少了室与室的性能差异。在另一实施例中，可以从远禾呈主 才A4丸行该组宏。在另一实施例中，该组宏可以^皮混淆(obfuscate) 或力口密。参照图1，示出了才艮据本专利技术的一个实施例的用于创建宏的处 理的筒图。最初，宏程序库102净皮创建用于半导体处理系统。例如， 在等离子体处理系统中，该库可以包括诸如每天或每周的预防性维 修(PM)资格的工具正常检查、湿式清洁和恢复、硬件启动资格、 室匹配、以及故障4本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于最优化包括软件控制程序的半导体处理系统中的一组步骤的方法，其中，所述半导体处理系统包括第一功能、第二功能、和第三功能，并进一步包括用于存储一组变量的存储器，并且其中，该组步骤进一步包括第一步骤、第二步骤、和第三步骤，所述方法包括：在编辑器应用程序上生成所述第一步骤，其中，将所述第一功能添加到所述第一步骤，并且如果需要，则添加第一组用户输入指令；在所述编辑器应用程序上生成所述第二步骤，其中，将所述第二功能添加到所述第二步骤，并且如果需要，则添加第二组用户输入指令；在所述编辑器应用程序上生成所述第三步骤，其中，将所述第三功能添加到所述第三步骤，并且如果需要，则添加第三组用户输入指令；以适当的顺序安排所述第一步骤、所述第二步骤、和所述第三步骤；将该组步骤传送到所述半导体处理系统；执行该组步骤；将一组结果存储在该组变量中；并且，如果需要，由该组变量生成报表。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】US 2003-6-13 10/460,8791. 一种用于最优化包括软件控制程序的半导体处理系统中的一 组步骤的方法，其中，所述半导体处理系统包括第一功能、第 二功能、和第三功能，并进一步包括用于存储一组变量的存储 器，并且其中，该组步骤进一步包括第一步骤、第二步骤、和第三步骤，所述方法包括在编辑器应用程序上生成所述第一步骤，其中，将所述 第一功能添加到所述第一步骤，并且如果需要，则添加第一组 用户输入指令；在所述编辑器应用程序上生成所述第二步骤，其中，将 所述第二功能添加到所述第二步骤，并且如果需要，则添加第 二组用户输入指令；在所述编辑器应用程序上生成所述第三步骤，其中，将 所述第三功能添加到所述第三步骤，并且如果需要，则添加第 三组用户车餘入指令；以适当的顺序安排所述第一步骤、所述第二步骤、和所 述第三步骤；将该组步骤传送到所述半导体处理系统；4丸行该组步骤；将一组结果存储在该组变量中；并且，如果需要， 由该ia变量生成才艮表。2. 4艮才居斥又利要求1所述的方法，在所述半导体处理系统上执4亍该组步骤。3. 冲艮据权利要求2所述的方法，其中，该组步骤可以通过自动计 时器来执行。4. 根据权利要求1所述的方法，其中，所述半导体处理系统是等 离子体处理系统。5. 根据权利要求1所述的方法，其中，所述报表可以从所述半导 体处理系统用电子方式检索。6. 根据权利要求1所述的方法，其中，所述报表是电子数据表格式的。7. 根据权利要求1所述的方法，其中，所述报表是文本格式的。8. 根据权利要求1所述的方法，其中，所述报表是数据记录格式的。9. 根据权利要求1所述的方法，其中，所述报表是二进制格式的。10. 根据权利要求1所述的方法，其中，所述报表可以被统计地分析。11. 4艮才居斗又利要求1所述的方法，其中，所述净艮表可以通过所述半 导体处理系统来分冲斤。12. 根据权利要求1所述的方法，其中，该组步骤可以在制造所述 半导体处理系统期间净皮传送到所述半导体处理系统。13. 根据权利要求1所述的方法，其中，该组步骤可以在所述半导 体处理系统已经被安装在半导体制造设备上时被传送到所述 半导体处理系统。14. 才艮才居斗又利要求1所述的方法，其中，该纟且步骤4皮'混淆。15. 根据权利要求1所述的方法，其中，该组步骤被加密。16. 根据权利要求1所述的方法，其中，所述软件控制程序仅可以 用口令#3方问。17. 根据权利要求1所述的方法，其中，在所述第一步骤中，输入用户4lr入是可选的。18. 根据权利要求1所述的方法，其中，在所述第一步骤中，检查 表4皮呈i见给用户用于手动冲丸4亍。19. 根据权利要求1所述的方法，其中，该组步骤可以由远程主机来执行。20. 根据权利要求1所述的方法，其中，所述半导体处理系统能够 用最少的用户输入实质地才喿作。21. —种用于最...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗杰帕特里克，文森特翁，黄仲镐，
申请(专利权)人：朗姆研究公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]