用于对非平坦基材进行溅射涂布的运动系统技术方案

在第一方面，本发明专利技术涉及一种运动系统(300)，用于将非平坦基材(100)移动通过溅射流量分布(110)，而不使非平坦基材(100)周向暴露于所述溅射流量分布(110)。该运动系统(300)包括运动装置，以进行：第一运动(310)，其沿溅射流量分布(110)平移运输非平坦基材(100)；以及第二运动(320、330、340)，其相对于溅射流量分布(110)平移和/或转动非平坦基材(100)。布(110)平移和/或转动非平坦基材(100)。布(110)平移和/或转动非平坦基材(100)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于对非平坦基材进行溅射涂布的运动系统


[0001]本专利技术涉及用于溅射涂布装置的基材运动系统，更具体地说，涉及为非平坦基材的非周向涂布而配置的这种运动系统。

技术介绍

[0002]不同种类的溅射涂布装置是已知的，它们可以对非平坦物品进行周向涂布。例如，存在批量涂布机，其特点是对要涂布的物品进行多级转动运动，以便在其上提供相对均匀的周向涂布；例如，这种批量涂布机经常用于对各种工具进行涂布，如钻具和钻头。另一个已知的示例是用于涂布管件的串联涂布机，其中管件在沿涂布区运输时围绕其纵向轴线转动。
[0003]用于对平面基材(或不考虑基材的非平坦形状)进行非周向涂布的溅射涂布装置也是已知的。这些装置包括例如批量或串联涂布机，这些装置适合于涂布物品、如镜子或透镜的单面。在这些批量涂布机的一些中，特别是当涂布源相对较小的时候，物品可以被固定在转动的圆顶上，以平均化溅射流量分布中的局部变化，从而提高所获得涂布的均匀性。在某些情况下，这些物品的不需要涂布的表面在这样的运动中确实面对着涂布源(即它不是在任何时候都远离所述源)。相反，非周向的涂布是通过物本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种运动系统(300)，所述运动系统用于将非平坦基材(100)移动通过溅射流量分布(110)，而不使所述非平坦基材(100)周向地暴露于所述溅射流量分布(110)，所述运动系统包括运动装置，以用于：第一运动(310)，所述第一运动沿所述溅射流量分布(110)平移运输所述非平坦基材(100)，和额外的第二运动(320，330，340)，所述第二运动相对于所述溅射流量分布(110)平移和/或转动所述非平坦基材(100)。2.根据权利要求1所述的运动系统(300)，其中，所述运动系统(300)包括用于保持所述非平坦基材(100)的基材载体(110)。3.根据前述权利要求中任一项所述的运动系统(300)，其中，所述运动装置包括用于所述非平坦基材(100)的导向系统(303)，所述导向系统包括：第一部件；和用于与所述第一部件接合的第二部件。4.根据前述权利要求中任一项所述的运动系统(300)，其中，所述运动装置包括致动器(302)。5.根据权利要求4所述的运动系统(300)，其中，所述致动器(302)是多轴致动器。6.根据前述权利要求中任一项所述的运动系统(300)，所述运动系统用于沿所述溅射流量分布(110)移动非平坦片状基材(100)，而不使所述非平坦片状基材(100)的至少一个主要表面暴露于所述溅射流量分布(110)。7.一种用于对非平坦基材(100)进行非周向涂布的涂布装置(200)，所述涂布装置包括：i.溅射系统(500)，所述溅射系统包括至少一个磁控管(520)，以用于安装纵向溅射目标件(510)，以及ii.如前述权利要求中任一项所限定的运动系统(300)。8.根据权利要求7所述的涂布...

【专利技术属性】
技术研发人员：W，
申请(专利权)人：梭莱先进镀膜工业公司，
类型：发明
国别省市：