一种Ti-B-N纳米复合涂层及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种Ti

【技术实现步骤摘要】
一种Ti
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B
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N纳米复合涂层及其制备方法


[0001]本专利技术涉及过渡金属硼氮化物涂层的制备方法领域，尤其是一种Ti
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B
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N纳米复合涂层及其制备方法。

技术介绍

[0002]我国是全球最大、产业结构最为完整的制造业加工基地，在金属切削加工行业每年需要消耗大量切削刀具。随着我国在工业产业结构进一步优化，对优质精密金属切削加工的需求将不断上升。高效、高速、高精度切削加工成为现代加工技术的主要发展方向。在高速干式切削加工中,由于刀具和被加工材料表面发生剧烈摩擦，导致切削温度高达900℃
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1200℃，因而刀具存在高温氧化、红硬性差、磨损严重等问题。于刀具表面沉积硬质涂层是实现高速干式切削加工的关键技术之一。
[0003]二硼化钛(TiB2)是硬质涂层其中的一种，其在提高刀具的功能性和使用寿命方面具有广阔的应用前景。TiB2涂层具有高熔点(约3100℃)、良好的导热性和导电性、高硬度、高耐磨性和耐腐蚀性等优异的机械、物理和化学性能。TiB2的优异本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种Ti
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B
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N纳米复合涂层的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)将基体进行机械研磨、抛光、清洗处理；(2)使用高功率脉冲磁控电源，在基体上溅射TiB2靶，得到Ti
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B
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N纳米复合涂层。2.如权利要求1所述的Ti
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N纳米复合涂层的制备方法，其特征在于，所述步骤(2)中，高功率脉冲磁控电源的输出脉冲宽度≤50μs。3.如权利要求1所述的Ti
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N纳米复合涂层的制备方法，其特征在于，所述步骤(2)中，靶材峰值电流密度为0.5
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1.0A/cm2。4.如权利要求1所述的Ti
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B
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N纳米复合涂层的制备方法，其特征在于，所述步骤(2)中，溅射时在Ar和N2混合气氛中反应沉积，N2的体积流量为0
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20sccm。5.如权利要求1所述的Ti
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【专利技术属性】
技术研发人员：吴正涛，叶榕礼，王启民，李海庆，
申请(专利权)人：广东工业大学，
类型：发明
国别省市：