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在第一方面，本发明涉及一种运动系统(300)，用于将非平坦基材(100)移动通过溅射流量分布(110)，而不使非平坦基材(100)周向暴露于所述溅射流量分布(110)。该运动系统(300)包括运动装置，以进行：第一运动(310)，其沿溅射流...
该专利属于梭莱先进镀膜工业公司所有，仅供学习研究参考，未经过梭莱先进镀膜工业公司授权不得商用。

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