一种多层级立式石英舟制造技术

本实用新型专利技术公开一种多层级立式石英舟，包括上端板、下端板、上开槽棒、下开槽棒、第一环片、第二环片、第一石英钉、第二石英钉，所述上端板与下端板之间焊接有上开槽棒、下开槽棒，所述上开槽棒、下开槽棒外围固定焊接有固定柱、上端板与下端板，所述上开槽棒、下开槽棒内设置有第一环片、第二环片，所述第一环片、第二环片上通过粘接固定连接有第一石英钉、第二石英钉。英钉。英钉。

【技术实现步骤摘要】
一种多层级立式石英舟


[0001]本技术涉及石英
，尤其涉及一种多层级立式石英舟。

技术介绍

[0002]现有的石英焊接件均为整体塑造成型结构，透明度差，原有的石英通过组成反应腔室，反射差，热源扩散快，不能对整体进行保温处理，为此本申请人根据现有工艺进行改进对单件芯片做处理，自成腔室，周围高温加热电热器，节省空间，面积小，区别于大型炉管，单片反应，发生问题时损失小，及时处理，其次通过所使用的石英焊接属于对接焊，两种不同材质所产生的变形影响整体的外观及尺寸要求，长期使用存在炸裂的风险。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种多层级立式石英舟，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]本技术的目的是通过下述技术方案予以实现：一种多层级立式石英舟，包括上端板、下端板、上开槽棒、下开槽棒、第一环片、第二环片、第一石英钉、第二石英钉，所述上端板与下端板之间焊接有上开槽棒、下开槽棒，所述上开槽棒、下开槽棒外围固定焊接有固定柱、上端板与下端板，所述上开槽棒、下开槽棒内设置有第一环片、第二环片，所述第一环片、第二环片上通过粘接固定连接有第一石英钉、第二石英钉。
[0005]进一步地，所述第一环片、第二环片结构相同，且在第一环片上固定对称粘接有第一石英钉，所述第二环片上固定对称粘接有第二石英钉，所述第一石英钉的长度较第二石英钉的长度短3
‑
5mm。
[0006]进一步地，位于所述上开槽棒所在位置的左右对称开有两个上圆弧槽，位于所述下开槽棒所在位置开有一个下圆弧槽，所述上圆弧槽与下圆弧槽的大小相同，且位于下圆弧槽与上圆弧槽之间左右对称开有小弧槽。
[0007]进一步地，所述上端板、下端板上的上、下、左象限点位置均开有圆弧，所述上、下象限点位置的圆弧向外，左象限点位置开有的圆弧向内。
[0008]进一步地，所述下端板上开有内口，所述内口上下象限点位置固定对称开有弧口，所述弧口角度120度；
[0009]所述下端板上弧口边沿固定设有3个带有半圆的弧形平台阶槽；
[0010]所述下端板上内口边沿位于下象限点位置的弧口与弧形平台阶槽之间固定开有呈坡角的弧形坡角台阶槽，所述坡角为26度。
[0011]进一步地，所述上开槽棒、下开槽棒上开有若干大小相同凹槽，且上开槽棒宽度大于下开槽棒宽度。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果是：硅片有更稳定的涨膜厚度；
[0013]石英舟使用温度为1000℃，恒温时间较长，变形量小，使用寿命可达12月，大大地为芯片生产企业节约了原材料成本，将焊接环片方法由正面焊接改变为背后焊接，保证环
片一致性，用治具将每片环片固定，保证尺寸要求同时对尖角经过抛光处理，使其圆滑，避免了对晶圆片造成的划伤，杜绝了颗粒的产生，降低了抛光过程中炸裂的风险，在抛光的均匀性、一致性上也有了很大程度的提升。
附图说明
[0014]图1是本技术整体示意图；
[0015]图2是本技术上端板示意图；
[0016]图3是本技术下端板示意图；
[0017]图4是本技术上开槽棒示意图；
[0018]图5是本技术下开槽棒示意图；
[0019]图6是本技术第一环片示意图；
[0020]图7是本技术第一石英钉示意图；
[0021]图8是本技术I处放大示意图；
[0022]图9是本技术II处放大示意图；
[0023]图10是本技术下端板上E
‑
E剖视图。
具体实施方式
[0024]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0025]如图1
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10所示，一种多层级立式石英舟，包括上端板1、下端板2、上开槽棒3、下开槽棒4、第一环片5、第二环片6、第一石英钉7、第二石英钉8，所述上端板1与下端板2之间焊接有上开槽棒3、下开槽棒4，所述上开槽棒3、下开槽棒4外围固定焊接有固定柱、上端板1与下端板2，所述上开槽棒3、下开槽棒4内设置有第一环片5、第二环片6，所述第一环片5、第二环片6上通过粘接固定连接有第一石英钉7、第二石英钉8。
[0026]在本实施例中，所述第一环片5、第二环片6结构相同，且在第一环片5上固定对称粘接有第一石英钉7，所述第二环片6上固定对称粘接有第二石英钉8，所述第一石英钉7的长度较第二石英钉8的长度短3
‑
5mm。
[0027]在本实施例中，位于所述上开槽棒3所在位置的左右对称开有两个上圆弧槽，位于所述下开槽棒4所在位置开有一个下圆弧槽，所述上圆弧槽与下圆弧槽的大小相同，且位于下圆弧槽与上圆弧槽之间左右对称开有小弧槽。
[0028]在本实施例中，所述上端板1、下端板2上的上、下、左象限点位置均开有圆弧，所述上、下象限点位置的圆弧向外，左象限点位置开有的圆弧向内。
[0029]在本实施例中，所述下端板2上开有内口，所述内口上下象限点位置固定对称开有弧口，所述弧口角度120度；
[0030]所述下端板2上弧口边沿固定设有3个带有半圆的弧形平台阶槽；
[0031]所述下端板2上内口边沿位于下象限点位置的弧口与弧形平台阶槽之间固定开有呈坡角的弧形坡角台阶槽，所述坡角为26度。
[0032]在本实施例中，所述上开槽棒3、下开槽棒4上开有若干大小相同凹槽，且上开槽棒3宽度大于下开槽棒4宽度。
[0033]对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本技术。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本技术内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
[0034]此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多层级立式石英舟，其特征在于：包括上端板(1)、下端板(2)、上开槽棒(3)、下开槽棒(4)、第一环片(5)、第二环片(6)、第一石英钉(7)、第二石英钉(8)，所述上端板(1)与下端板(2)之间焊接有上开槽棒(3)、下开槽棒(4)，所述上开槽棒(3)、下开槽棒(4)外围固定焊接有固定柱、上端板(1)与下端板(2)，所述上开槽棒(3)、下开槽棒(4)内设置有第一环片(5)、第二环片(6)，所述第一环片(5)、第二环片(6)上通过粘接固定连接有第一石英钉(7)、第二石英钉(8)。2.根据权利要求1所述的一种多层级立式石英舟，其特征在于：所述第一环片(5)、第二环片(6)结构相同，且在第一环片(5)上固定对称粘接有第一石英钉(7)，所述第二环片(6)上固定对称粘接有第二石英钉(8)，所述第一石英钉(7)的长度较第二石英钉(8)的长度短3
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5mm。3.根据权利要求1所述的一种多层级立式石英舟，其特征在于：位于所述上开...

【专利技术属性】
技术研发人员：张忠恕，王连连，赵鹤，陈强，于洋，冯继瑶，张娟，边占宁，孙云涛，李宝军，张连兴，王建立，
申请(专利权)人：北京凯德石英股份有限公司，
类型：新型
国别省市：