【技术实现步骤摘要】
一种石英舟生产用装置、石英舟的加工方法以及石英舟
[0001]本申请涉及石英舟生产的领域，尤其是涉及一种石英舟生产用装置、石英舟的加工方法以及石英舟。
技术介绍
[0002]石英舟主要用于集成电路芯片生产线中的氧化扩散工序，是承载晶圆的载体，石英舟包括两个相对设置的端板，两个端板之间设有多个槽棒，多个槽棒沿端板的周向均匀分布，槽棒上开设有用于插接晶圆的槽；在生产石英舟时，会先生产槽棒以及端板，然后由操作人员将槽棒焊接至端板上，最后形成石英舟。在制作槽棒时，会先使用带锯将石英锭切割成石英板，接着使用水刀切割机将石英板切割成尺寸一定的石英条，然后依次使用平磨机、磨盘以及数控机床对石英条进行加工，最后形成槽棒。
[0003]水刀切割机包括中空的架体、镂空的工作台以及喷射切割头，喷射切割头中会有水以及磨料通入，使用后的水通过工作台落入架体中，由于磨料使用后粒径会减小，其中含有粒径过小不符生产需要的磨料，若回收利用，可能会导致磨料管堵塞，所以常见水刀切割机不对磨料进行回收，使用后的水以及磨料会沿架体上的排水口直接排至外界，造成...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种石英舟生产用装置，包括呈池体状的架体（1）以及喷射切割头，所述架体（1）上安装有与架体（1）连通的工作台（11），其特征在于：所述架体（1）中铰接有两个筛板（2），筛板（2）位于工作台（11）下方，两个筛板（2）的铰接轴朝相互远离的方向设置，筛板（2）的铰接轴沿架体（1）的高度方向滑动，筛板（2）上还连接有若干个连接弹簧（22），连接弹簧（22）的上端固定在架体（1）上，两个筛板（2）相互靠近一侧的下方设有一个收集箱（3），收集箱（3）上滑动连接有封堵收集箱（3）的盖板（31），筛板（2）与盖板（31）连接，架体（1）中还设有驱动筛板（2）沿架体（1）高度方向移动从而控制筛板（2）转动以及盖板（31）移动的驱动组件（5）。2.根据权利要求1所述的一种石英舟生产用装置，其特征在于：两个所述筛板（2）相互远离的一侧铰接有一个立板（21），立板（21）滑动连接在架体（1）上，且立板（21）沿架体（1）的高度方向滑动，连接弹簧（22）远离架体（1）的一端固定连接在立板（21）上。3.根据权利要求2所述的一种石英舟生产用装置，其特征在于：所述立板（21）与筛板（2）二者的长度方向一致，所述驱动组件（5）包括架体（1）与立板（21）对应的内侧壁上铰接的驱动杆（51），驱动杆（51）的上端铰接有一个凸块（511），凸块（511）滑动连接在立板（21）上并沿立板（21）的长度方向移动；筛板（2）下方设有与筛板（2）一一对应的集水箱（52），集水箱（52）位于驱动杆（51）上方，且集水箱（52）与驱动杆（51）的下端接触，集水箱（52）上固定连接有多个支撑弹簧（53），支撑弹簧（53）的下端固定连接在架体（1）上，使集水箱（52）下表面与架体（1）内底壁之间存在距离，驱动件还包括控制集水箱（52）沿架体（1）高度方向往复移动的泄水件（54）。4.根据权利要求3所述的一种石英舟生产用装置，其特征在于：所述泄水件（54）包括贯穿集水箱（52）下表面并滑动插接在集水箱（52）上的柱塞（541），柱塞（541）的下端面上固定连接有一个支杆（542），支杆（542）的直径小于柱塞（541）的直径，支杆（542）的下端...
【专利技术属性】
技术研发人员：张忠恕，陈强，张娟，周洁，冯继瑶，于洋，边占宁，王志刚，张连兴，赵晓亮，李翔星，卢亮，
申请(专利权)人：北京凯德石英股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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