【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及在半导体工厂自动化系统中,能够提高制造效率和成品率。半导体器件通常通过多种单元工艺在半导体晶片上制造出来,例如光刻工艺、腐蚀工艺、薄膜工艺和扩散工艺。在每个单元工艺中使用多个工艺设备。一般来说,每个单元工艺通常在预定数量的半导体晶片上进行,称做一个批次。然而在半导体器件的制造中,会产生异常制造的批次,所具有的工艺结果数据超出或低于批技术要求中要求的预定级别。产生异常制造的批次是由于批次自身的问题、设备条件的问题、制造步骤的问题等。在Yi于1996年10月5日申请的美国专利No.5,923,553中公开了一种通过故障分析反馈控制半导体制造工艺的方法。该方法包括以下步骤a)用异常工艺条件数据建立监测数据库,通过成品率降低或半导体设备发生故障时每个制造批的成品率和半导体设备的相应工艺条件之间的对应关系得到异常的工艺条件数据;b)通过得到联机半导体设备的实时工艺条件建立设备数据库c)将联机半导体设备的实时工艺条件与监测数据库的异常工艺条件进行比较;以及d)当实时和异常工艺条件之间的差异低于预定的级别时,停止联机半导体设备的操作。此时,Ti的专利揭示了异常制造批次的原因是设备或工艺条件故障。为了解决问题,要停止相应设备的操作。然而产生异常制造批次主要是由于处理的批次自身。然而从上面可以看出,即使批次在批工艺的中间异常制造,但仍继续随后的工艺不考虑异常制造批次,直到整个批工艺结束。因此,降低了制造效率。因此,本专利技术的一个目的是提供一种在半导体工厂自动化系统中,能够提高半导体器件制造中的效率。根据本专利技术的一个方案,提供一种在半导体工厂自动化系 ...
【技术保护点】
一种在半导体工厂自动化系统中自动地控制半导体制造工艺的装置,包括: 一条公用通信线; 多个工艺设备,连接到公用通信线,每个设备处理一个批次; 多个设备控制装置,每个装置根据来自外部的命令控制工艺设备; 多个测试设备,每个测试已处理的批次产生批次工艺数据; 多个测试设备控制装置,每个接收批次工艺数据以传送批次工艺数据; 存储装置,分别存储批次工艺数据,其中存储装置已预先存储了批次的技术要求数据; 比较装置,连接到公用通信线,比较批次工艺数据和批次技术要求数据,以确定处理的批次数据和批次技术要求数据之间的差异是否超出或低于预定的范围,其中如果差异超出或低于预定的范围,那么比较装置产生表示发生异常制造批次的第一信息; 事项产生装置,连接到公用通信线,响应于第一信息产生第一事项,第一事项表示批次为异常制造, 其中避免对异常制造批次进行下一批次工艺。
【技术特征摘要】
KR 1999-5-20 18263/991.一种在半导体工厂自动化系统中自动地控制半导体制造工艺的装置,包括一条公用通信线;多个工艺设备,连接到公用通信线,每个设备处理一个批次;多个设备控制装置,每个装置根据来自外部的命令控制工艺设备;多个测试设备,每个测试已处理的批次产生批次工艺数据;多个测试设备控制装置,每个接收批次工艺数据以传送批次工艺数据;存储装置,分别存储批次工艺数据,其中存储装置已预先存储了批次的技术要求数据;比较装置,连接到公用通信线,比较批次工艺数据和批次技术要求数据,以确定处理的批次数据和批次技术要求数据之间的差异是否超出或低于预定的范围,其中如果差异超出或低于预定的范围,那么比较装置产生表示发生异常制造批次的第一信息;事项产生装置,连接到公用通信线,响应于第一信息产生第一事项,第一事项表示批次为异常制造,其中避免对异常制造批次进行下一批次工艺。2.根据权利要求1的装置,还包括管理批次历史记录的历史记录管理装置。3.根据权利要求2的装置,其中第一事项传送到历史记录管理装置,其中事项产生装置产生第二信息,通知第一信息传送到历史记录管理装置。4.根据权利要求3的装置,其中历史记录管理装置包括临时存储装置,以临时文件的形式存储由事项产生装置传送的第一事项;历史记录接口装置,对应于第二信息,读出存储在临时存储装置中的第一事项,并将第一事项输出到外部;以及历史记录存储装置,存储由历史记录接口装置输出的第一事项。5.根据权利要求2的装置,还包括操作者接口装置,用于接收与对异常制造批次采取的措施有关的数据。6.根据权利要求5的装置,其中事项产生装置接收来自操作者接口装置的数据并将它传送到存储装置。7.根据权利要求6的装置,其中事项产生装置产生第二事项允许处理异常制造批次。8.根据权利要求7的装置,其中第二事项通过设备接口装置传送到设备控制装置,由此继续异常制造批次的下一工艺。9.根据权利要求7的装置,其中事项产生装置产生第三信息,其中临时存储装置以临时文件形式存储由事项产生装置传送的第二事项,其中历史记录接口装置,响应于第三信息,读出存储在临时存储装置中的第二事项,并输...
【专利技术属性】
技术研发人员:曹援秀,张镇浩,金秉云,
申请(专利权)人:现代电子产业株式会社,
类型:发明
国别省市:KR[韩国]
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