【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体工厂自动化(下文称做FA)系统,特别涉及处理至少一个半导体晶片盒的半导体FA系统和方法。通常,常规的半导体FA系统自动地处理半导体晶片。常规的半导体FA系统包括处理设备(下文称做EQ)、储料器以及自动制导运输车(下文称做AGV)。EQ对半导体晶片进行半导体工艺处理。储料器装载容纳将在EQ中处理的半导体晶片的半导体晶片盒。此外,储料器也储存已在EQ中处理过的半导体晶片盒。AGV将半导体晶片盒由EQ运送到另一个EQ。此外,AGV将半导体晶片盒由储料器传送到EQ。进而,AGV将半导体晶片盒由处理设备运送到储料器。常规的半导体FA系统还包括操作员接口服务器(下文称做OIS)和EQ服务器(下文称做EQS)。OIS接收操作员发出的工艺制法(recipe)作为工艺条件数据,工艺条件数据包括工艺温度、工艺压力等。OIS将工艺制法发送到EQS。EQS将工艺制法发送到EQ。EQ根据工艺制法进行半导体工艺。通常,通过AGV将半导体晶片盒装载到EQ之后,EQ接收来自EQS的工艺制法。当通过AGV将半导体晶片盒装载到EQ时,会产生EQ或AGV的失效。此时,EQS不能将工艺制法发送到EQ。EQ失效或AGV修理之后,操作员再次将工艺制法输入到OIS,因此存在处理半导体晶片盒所需要的时间周期增加的问题。因此,本专利技术的一个目的是提供一种能够处理至少一个半导体晶片盒的半导体FA系统和方法,能够减少处理半导体晶片盒所需要的时间周期。因此,本专利技术的另一目的是提供一种存储程序指令的计算机可读介质,程序指令放置在计算机上,执行处理至少一种半导体晶片盒的方法,能够减少 ...
【技术保护点】
一种处理至少一个半导体晶片盒的装置,其中半导体晶片盒含有预定数量的半导体晶片,包括:操作员接口装置,接收操作员输入的对应于半导体晶片盒的半导体晶片盒的工艺进程数据和工艺制法;半导体处理装置,发送工艺制法请求;并根据工艺制法和半导体晶片盒的工艺进程数据处理半导体晶片盒;存储装置,存储半导体晶片盒的工艺进程数据和工艺制法;以及控制装置,在半导体晶片盒装载到所述半导体处理装置之前,将半导体晶片盒的工艺进程数据和工艺制法发送到所述半导体处理装置。
【技术特征摘要】
KR 1999-6-22 23540/99;KR 1999-7-14 28417/99;KR 1991.一种处理至少一个半导体晶片盒的装置,其中半导体晶片盒含有预定数量的半导体晶片,包括操作员接口装置,接收操作员输入的对应于半导体晶片盒的半导体晶片盒的工艺进程数据和工艺制法;半导体处理装置,发送工艺制法请求;并根据工艺制法和半导体晶片金的工艺进程数据处理半导体晶片盒;存储装置,存储半导体晶片盒的工艺进程数据和工艺制法;以及控制装置,在半导体晶片盒装载到所述半导体处理装置之前,将半导体晶片盒的工艺进程数据和工艺制法发送到所述半导体处理装置。2.根据权利要求1的装置,还包括传送装置,将半导体晶片盒传送到所述半导体处理装置。3.根据权利要求2的装置,其中所述操作员接口装置将线路方式转换信息发送到所述控制装置。4.根据权利要求3的装置,其中所述控制装置将对应于线路方式转换信息的线路方式转换命令发送列所述半导体处理装置;将通信方式由脱机方式转换为联机方式;以及在联机方式的基础上与半导体处理装置通信。5.根据权利要求4的装置,其中所述控制装置将日期和时间数据发送到所述半导体处理装置,并将包含在所述半导体处理装置中的日期和时间数据调节为包含在所述控制装置中的日期和时间数据。6.根据权利要求5的装置,其中所述半导体处理装置将所述半导体处理装置的口状态和操作方式状态报告给所述控制装置;并且其中操作方式状态包括全自动方式和半自动方式。7.根据权利要求6的装置,其中所述操作员接口装置和所述控制装置共享Xerox公司提供的EthernetTM。8.根据权利要求7的装置,其中对半导体晶片盒完成半导体工艺之后,所述半导体处理装置将半导体工艺的所得数据发送到所述控制装置。9.一种处理至少一个半导体晶片金的半导体工厂自动化(FA)系统,其中半导体晶片盒含有预定数量的半导体晶片,包括操作员接口装置,接收操作员输入的对应于半导体晶片盒的半导体晶片盒的工艺进程数据和工艺制法;半导体处理装置,根据工艺制法和半导体晶片盒的工艺进程数据处理半导体晶片盒;存储装置,连接在所述操作员接口装置和所述半导体处理装置之间,用于存储半导体晶片盒的工艺进程数据和工艺制法;以及控制装置,在半导体晶片盒装载到所述半导体处理装置之前,将半导体晶片盒的工艺进程数据和工艺制法发送到所述半导体处理装置。10.根据权利要求9的半导体FA系统,还包括传送装置,将半导体晶片盒传送到所述半导体处理装置。11.根据权利要求10的半导体FA系统,还包括储料器,储存半导体晶片。12.根据权利要求11的半导体FA系统,其中所述传送装置将半导体晶片盒由所述储料器传送到所述半导体处理装置。13.根据权利要求12的半导体FA系统,其中所述半导体处理装置、所述储料器以及所述传送装置设置在半导体制造间。14.根据权利要求13的半导体FA系统,其中通过运输车所述半导体晶片盒由一个半导体制造间传送到另一个半导体制造间。15.根据权利要求14的半导体FA系统,其中所述操作员接口装置将线路方式转换信息发送到所述控制装置。16.根据权利要求15的半导体FA系统,其中所述控制装置将对应于线路方式转换信息的线路方式转换命令发送到所述半导体处理装置;其中所述控制装置将通信线方式由脱机方式转换为联机方式;以及在联机方式的基础上所述控制装置与所述半导体处理装置通信。17.根据权利要求16的半导体FA系统,其中所述控制...
【专利技术属性】
技术研发人员:姜荣助,河圣海,朴京锡,
申请(专利权)人:现代电子产业株式会社,
类型:发明
国别省市:KR[韩国]
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