本实用新型专利技术公开了一种PECVD方式制备碳硬掩模的腔体装置，所述主体内部设有所述操作平台，所述操作平台上设有所述支撑基板，所述支撑基板两端上设有所述底座，两个所述底座之间设有所述硬掩模装置，所述硬掩模装置上设有若干个所述基片腔体，所述主体两侧分别设有所述支架，所述支架顶部设有所述吹风机，两个所述支架之间设有所述静电吸附装置，所述静电吸附装置电性连接所述电动机，所述电动机固定连接在所述支架上，本实用新型专利技术通过静电吸附原理将腔体内部的化学颗粒吸附到静电吸附装置上，同时利用吹风机加快，静电吸附化学颗粒的效率，有利地使硬掩模上的颗粒产生最小化或基本上消除，这防止了与硬掩模接触的基板和处理腔室的污染。的污染。的污染。
【技术实现步骤摘要】
一种PECVD方式制备碳硬掩模的腔体装置
[0001]本技术涉及工业
，具体而言，是一种PECVD方式制备碳硬掩模的腔体装置。
技术介绍
[0002]掩模(例如，硬掩模)通常用PECVD方式制备碳基选择性沉积材料，掩模将具有穿过掩模形成的预定开口图案，以允许材料仅在对应于开口的位置处沉积在掩模下方的基板上，然而，此类掩模的放置和移除通常在大气中进行。本专利技术人已经发现，在使用掩模处理基板之后，已沉积在掩模上的材料经常在离开处理腔室或群集工具的真空环境时形成颗粒，因此，常常需要人工清理掩模腔体内部，浪费人力，影响工作效率，同时人工清理还容易污染真空腔室。
技术实现思路
[0003]为了解决现有技术中的例如上述技术问题，本技术公开了一种PECVD方式制备碳硬掩模的腔体装置，包括：主体、操作平台、支撑基板、底座、硬掩模装置、基片腔体、支架、吹风机、静电吸附装置、电动机、限位装置、纤维层、防腐蚀层；
[0004]所述主体内部设有所述操作平台，所述操作平台上设有所述支撑基板，所述支撑基板两端上设有所述底座，两个所述底座之间设有所述硬掩模装置，所述硬掩模装置上设有若干个所述基片腔体，所述主体两侧分别设有所述支架，所述支架顶部设有所述吹风机，两个所述支架之间设有所述静电吸附装置，所述静电吸附装置电性连接所述电动机，所述电动机固定连接在所述支架上。
[0005]优选的，所述基片腔体上设有所述限位装置。
[0006]优选的，所述静电吸附装置表面设有所述纤维层。
[0007]优选的，所述支撑基板上设有所述防腐蚀层。
[0008]本技术通过静电吸附原理将腔体内部的化学颗粒吸附到静电吸附装置上，同时利用吹风机加快，静电吸附化学颗粒的效率，有利地使硬掩模上的颗粒产生最小化或基本上消除，这防止了与硬掩模接触的基板和处理腔室的污染。
附图说明
[0009]图1是本技术所述一种PECVD方式制备碳硬掩模的腔体装置主视结构示意图。
[0010]附图标识：
[0011]1、主体；2、操作平台；3、支撑基板；4、底座；5、硬掩模装置；6、基片腔体；7、支架；8、吹风机；9、静电吸附装置；10、电动机；11、限位装置；12、纤维层；13、防腐蚀层。
具体实施方式
[0012]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行
清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0013]实施例：
[0014]根据附图1所示，本技术的实施例提供一种PECVD方式制备碳硬掩模的腔体装置，包括：主体1、操作平台2、支撑基板3、底座4、硬掩模装置5、基片腔体6、支架7、吹风机8、静电吸附装置9、电动机10、限位装置11、纤维层12、防腐蚀层13；
[0015]所述主体1内部设有所述操作平台2，所述操作平台2上设有所述支撑基板3，所述支撑基板3两端上设有所述底座4，两个所述底座4之间设有所述硬掩模装置5，所述硬掩模装置5上设有若干个所述基片腔体6，所述主体1两侧分别设有所述支架7，所述支架7顶部设有所述吹风机8，两个所述支架7之间设有所述静电吸附装置9，所述静电吸附装置9电性连接所述电动机10，所述电动机10固定连接在所述支架7上。
[0016]作为优选方案，更进一步的，所述基片腔体6上设有所述限位装置11。
[0017]作为优选方案，更进一步的，所述静电吸附装置9表面设有所述纤维层12。
[0018]作为优选方案，更进一步的，所述支撑基板3上设有所述防腐蚀层13。
[0019]由以上技术方案可知，本技术实施例提供的一种PECVD方式制备碳硬掩模的腔体装置，首先通过所述操作平台启动所述吹风机，所述吹风机将腔体内部的化学颗粒吹起，同时启动所述电动机，所述电动机带动所述静电吸附装置吸附腔体内部的化学颗粒，所述静电吸附装置上的所述纤维层可以有效地防止化学颗粒掉落到所述腔体内部。
[0020]需要说明的是，在本文中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下。由语句“包括一个......限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素”。
[0021]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种PECVD方式制备碳硬掩模的腔体装置，其特征在于，包括：主体(1)、操作平台(2)、支撑基板(3)、底座(4)、硬掩模装置(5)、基片腔体(6)、支架(7)、吹风机(8)、静电吸附装置(9)、电动机(10)、限位装置(11)、纤维层(12)、防腐蚀层(13)；所述主体(1)内部设有所述操作平台(2)，所述操作平台(2)上设有所述支撑基板(3)，所述支撑基板(3)两端上设有所述底座(4)，两个所述底座(4)之间设有所述硬掩模装置(5)，所述硬掩模装置(5)上设有若干个所述基片腔体(6)，所述主体(1)两侧分别设有所述支架(7)，所述支架(7)顶部...
【专利技术属性】
技术研发人员：姜兴辉，
申请(专利权)人：大连诺豪联恒电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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