一种半导体设备节能控制系统技术方案

本发明专利技术提供一种半导体设备节能控制系统，涉及半导体设备节能控制技术领域。该系统包括数据采集模块，采集芯片生产设备的主机台所使用的特定气体，并传输到主控制器；主控制器根据主机台是否使用特定气体来控制真空泵及主尾气处理设备、备用尾气处理设备的工作状态；报警模块，在主尾气处理设备发生故障时报警；显示模块，显示主机台和真空泵及主尾气处理设备、备用尾气处理设备的运行情况；历史数据查询与导出模块，实现真空泵、主尾气处理设备和备用尾气处理设备历史运行数据的查询及导出。该系统通过判断主机台的状态来控制真空泵及尾气处理设备的运行状态，减少用水量，减少压缩空气的用量，来减少热量消耗从而降低能耗。来减少热量消耗从而降低能耗。来减少热量消耗从而降低能耗。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体设备节能控制系统


[0001]本专利技术涉及半导体设备节能控制
，尤其涉及一种半导体设备节能控制系统。

技术介绍

[0002]在半导体工业生产中，需要用到许多的化学气体，如氯气、氨气、硅烷及硼烷等有毒有害气体，这些气体在未经处理前是不允许直接排放到大气中，所以在工艺设备后必须添加残余尾气处理的装置。针对产生的未完全反应的如氯气、三氟甲烷、硅烷等尾气，通常采用燃烧及水洗式尾气处理机，制程废气通过管道连接到尾气处理机的进气口，通过高温燃烧室通入压缩空气使其充分燃烧后再通过由水泵加压喷嘴形成的水帘后再通过湿润的拉西环，最后通过出气口排放到厂务端进行最终处理。
[0003]由于芯片生产设备的主机台的工作状况并未反馈到尾气处理设备(scrubber)与真空泵(Pump)，scrubber与pump需全天保持全功率满载运行来保证机台正常运转。Pump、Main scrubber(主尾气处理设备)和Backup Scrubber(备用尾气处理设备)全天处于满载(保持最大CDA流量、最大氮气N2流量和最大水流量)运行状态，消耗不必要的电能，氮气N2和工艺冷却水PCW的最大量使用增加半导体工厂的运营成本。

技术实现思路

[0004]本专利技术要解决的技术问题是针对上述现有技术的不足，提供一种半导体设备节能控制系统，实现对半导体设备的节能控制。
[0005]为解决上述技术问题，本专利技术所采取的技术方案是：一种半导体设备节能控制系统，包括与芯片生产设备的主机台连接的主控制器、数据采集模块、报警模块、显示模块、历史数据查询与导出模块；所述数据采集模块通过在与主机台连接的气柜内各进气口处设置传感器来采集芯片生产设备的主机台所使用的特定气体，并将采集的数据传输到主控制器；所述主控制器与主机台对应的真空泵及主尾气处理设备、备用尾气处理设备连接，主控制器根据主机台是否使用特定气体来控制真空泵及主尾气处理设备、备用尾气处理设备的工作状态，使主机台在待机状态下对应的真空泵及主尾气处理设备、备用尾气处理设备进入到低功率模式；所述报警模块与主控制器连接，在主尾气处理设备发生故障时报警，主控制器控制备用尾气处理设备由待机状态切换为运行状态，在保证芯片正常生产的情况下做到最大化节能效果；所述显示模块与主控制器连接，通过UI界面显示主机台和真空泵及主尾气处理设备、备用尾气处理设备的运行情况，实时监测真空泵、主尾气处理设备和备用尾气处理设备的状态；所述历史数据查询与导出模块实现真空泵、主尾气处理设备和备用尾气处理设备历史运行数据的查询及导出，并支持指定时间段的数据查询。
[0006]优选地，所述主控制器控制真空泵及主尾气处理设备、备用尾气处理设备工作状态的具体方法为：
[0007]主控制器根据主机台是否使用特定气体来判断主机台的状态，并根据主机台状态
执行以下操作：
[0008]a.当主机台为Run或Clean状态时，主控制器向主机台对应的真空泵及主尾气处理设备发送正常运行指令，真空泵及主尾气处理设备保持正常运转；
[0009]b.当主机台为Idle状态时，主控制器向主机台对应的真空泵及主尾气处理设备、备用尾气处理设备发送Idle指令，真空泵及主尾气处理设备进入节能模式，减少氮气N2流量及加热功率；
[0010]c.当主机台为Run或Clean状态时，如果主尾气处理设备发生报警Alarm，主控制器接收到报警信号后会发送Run信号给备用尾气处理设备，确保不会影响芯片生产；
[0011]主控制器处于关闭状态时，真空泵及主尾气处理设备、备用尾气处理设备均不进入节能模式，不会影响芯片生产。
[0012]优选地，所述主控制器控制真空泵及主尾气处理设备、备用尾气处理设备具有一定时间的待机延时，防止特定气体燃烧不彻底而污染环境。
[0013]优选地，所述主控制器以芯片生产设备的主机台是否使用特定气体为控制条件，控制真空泵及主尾气处理设备、备用尾气处理设备的运行状态。
[0014]优选地，所述备用尾气处理设备可使用单独的尾气处理设备或选择另一芯片生产设备的主机台连接的尾气处理设备作为备用尾气处理设备，即两个芯片生产设备的主机台连接的尾气处理设备互为备用尾气处理设备。
[0015]采用上述技术方案所产生的有益效果在于：本专利技术提供的一种半导体设备节能控制系统，通过在与主机台连接的气柜内各进气口处设置传感器来采集芯片生产设备的主机台所使用的特定气体，并将采集的数据传输到主控制器；主控制器根据主机台是否使用特定气体来判断主机台的状态，并根据主机台状态来控制真空泵及主尾气处理设备、备用尾气处理设备的运行状态，进而通过减少用水量，减少压缩空气的用量，来减少热量消耗从而降低能耗，这样的好处就是尾气处理机能随时恢复到满载运行状态，而传统尾气处理设备通过降温的方式需要一定的时间才能恢复满载运行状态。
附图说明
[0016]图1为本专利技术实施例提供的一种半导体设备节能控制系统结构框图；
[0017]图2为本专利技术实施例提供的半导体设备节能控制系统与其他设备的连接关系图；
[0018]图3为本专利技术实施例提供的尾气处理设备选择连接模式A时的半导体设备节能控制系统UI界面示意图；
[0019]图4为本专利技术实施例提供的尾气处理设备选择连接模式B时的半导体设备节能控制系统UI界面示意图。
具体实施方式
[0020]下面结合附图和实施例，对本专利技术的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本专利技术，但不用来限制本专利技术的范围。
[0021]本实施例中，一种半导体设备节能控制系统，如图1所示，包括与芯片生产设备的主机台连接的主控制器、数据采集模块、报警模块、显示模块、历史数据查询与导出模块；所述数据采集模块通过在与主机台连接的气柜内各进气口处设置传感器来采集芯片生产设
备的主机台所使用的特定气体，并将采集的数据传输到主控制器；所述主控制器与主机台对应的真空泵及主尾气处理设备、备用尾气处理设备连接，主控制器根据主机台是否使用特定气体来控制真空泵及主尾气处理设备、备用尾气处理设备的工作状态，使主机台在待机状态下对应的真空泵及主尾气处理设备、备用尾气处理设备进入到低功率模式；所述报警模块与主控制器连接，在主尾气处理设备发生故障时报警，主控制器控制备用尾气处理设备由待机状态切换为运行状态，在保证芯片正常生产的情况下做到最大化节能效果；所述显示模块与主控制器连接，通过UI界面显示主机台和真空泵及主尾气处理设备、备用尾气处理设备的运行情况，实时监测真空泵、主尾气处理设备和备用尾气处理设备的状态；所述历史数据查询与导出模块实现真空泵、主尾气处理设备和备用尾气处理设备历史运行数据的查询及导出，并支持指定时间段的数据查询。
[0022]在半导体工业生产中，根据客户不同机台配置，尾气处理设备可选择两种不同的模式：模式A(如图3所示)：备用尾气处理设备可使用单独的尾气处理设备(一台主机台+Main Scrubber&backup scrubber)；本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体设备节能控制系统，其特征在于：包括与芯片生产设备的主机台连接的主控制器、数据采集模块、报警模块、显示模块、历史数据查询与导出模块；所述数据采集模块通过在与主机台连接的气柜内各进气口处设置传感器来采集芯片生产设备的主机台所使用的特定气体，并将采集的数据传输到主控制器；所述主控制器与主机台对应的真空泵及主尾气处理设备、备用尾气处理设备连接，主控制器根据主机台是否使用特定气体来控制真空泵及主尾气处理设备、备用尾气处理设备的工作状态，使主机台在待机状态下对应的真空泵及主尾气处理设备、备用尾气处理设备进入到低功率模式；所述报警模块与主控制器连接，在主尾气处理设备发生故障时报警，主控制器控制备用尾气处理设备由待机状态切换为运行状态，在保证芯片正常生产的情况下做到最大化节能效果；所述显示模块与主控制器连接，通过UI界面显示主机台和真空泵及主尾气处理设备、备用尾气处理设备的运行情况，实时监测真空泵、主尾气处理设备和备用尾气处理设备的状态；所述历史数据查询与导出模块实现真空泵、主尾气处理设备和备用尾气处理设备历史运行数据的查询及导出，并支持指定时间段的数据查询。2.根据权利要求1所述的一种半导体设备节能控制系统，其特征在于：所述主控制器控制真空泵及主尾气处理设备、备用尾气处理设备工作状态的具体方法为：主控制器根据主机台是否使用特定气体来判断主机台的状态，并根据主机台状态执行以下操...

【专利技术属性】
技术研发人员：纪海瑞，曲红杰，白晓磊，
申请(专利权)人：大连诺豪联恒电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：