管理衬底加工设备的设备信息的衬底加工系统技术方案

一种衬底加工设备和一种信息存储服务器，经网络互连。衬底加工设备的存储部分存储设置信息和控制程序，根据设置信息和控制程序控制衬底加工设备的操作。衬底加工设备根据进程发送备份指令命令。响应该指令命令，衬底加工设备产生存储在上述存储部分中的指定信息的副本并将复制信息经网络发送到信息存储服务器。信息存储服务器将收到的复制信息存储在硬盘中作为备份数据。信息存储服务器也可以只存储复制信息的差异数据。因此，可以有效备份用于控制衬底加工设备操作的信息。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种网络通信技术，经网络将半导体衬底上执行预定加工的衬底加工设备、用于液晶显示器的玻璃衬底、用于光掩模的玻璃衬底或用于光盘的衬底(下文中间称为“衬底”)与计算机互相连接。
技术介绍
通过执行一系列诸如清洗、保护层涂覆、曝光、显影、腐蚀、形成层间绝缘膜和衬底上的热加工的加工制造诸如半导体器件或液晶显示器的产品。通常，有内置保护层涂覆加工、内置显影加工单元等的衬底加工设备执行这种加工。设在衬底加工设备上的传送机器人连续地将衬底传送到各加工单元，从而在沉底上执行一系列加工。自动控制这种衬底加工，衬底加工设备存储应用程序数据、设置信息等用于自动控制。换句话说，根据设置信息的内容用应用程序来控制衬底加工设备。存储在衬底加工设备中的设置信息包括衬底加工设备常用的基本信息和衬底加工设备所固有的信息。当衬底加工设备主要由缺省的基本信息控制时，由于设置环境或衬底加工设备的制造错误，不能用相同的设置内容来执行最佳控制。因而，必须校正基本信息来执行控制，每个衬底加工设备都累积这种校正信息作为固有信息。因而，固有信息是每个用户和每个衬底加工设备所固有的信息。因而，为了将导致了一些诸如硬件故障和丢失累积信息的故障的衬底加工设备返回到出故障以前的状态，就必须周期性地备份设置信息。而且，当用户以自定义方式改变设置信息时，可以要求过去的设置信息。而且，在这种情况下，为了用过去的设置信息操作衬底加工设备，必须周期性地备份设置信息。通常，用户在每个衬底加工设备中在活动盘等中备份设置信息。然而，在活动盘等中备份衬底加工设备的设置信息很耗时，造成了用户的负担。尤其是当设置了大量衬底加工设备时，备份操作显著造成了等待改进的用户的负担。另外，必须使备份处理间隔最小化，以便备份数据有效。然而，备份处理的负担太重，以至于要求用户频繁执行周期备份处理是不实际的。上述基本信息(以初始阶段设在衬底加工设备中)包括很大量的设置项。用户或支持人员先在衬底加工设备中设置基本信息，从而根据基本信息操作衬底加工设备。用户还响应各衬底加工设备设置固有信息。换句话说，用户根据基本信息用固有信息校正衬底加工设备的操作，从而执行最佳控制。如上所述，设在衬底加工设备中的基本信息包括很大量的设置项。如果设置信息对于一些大量的项是错误的，衬底加工设备就不能执行计划的操作。当设有多个衬底加工设备的工厂中多个人员分别在不同的衬底加工设备中设置基本信息时，例如，可以因人为误差而使衬底加工设备的基本信息的设置内容不同。这种情况下，即使衬底加工设备执行相同的加工也不能生产出相同的产品。而且，当证明设在各衬底加工设备中的基本信息包括衬底加工设备操作导致的设置误差时，很难从大量设置项中发现错误设置内容。形成上述衬底加工设备的元件也包括耗材。例如，设在清洗加工单元中用于清洗衬底的清洗刷和设在灯退火设备中用于用光辐照快速退火衬底的灯通常是耗材。另外，用于驱动传送机器人等的形成驱动机构的皮带、滚筒和电动机等也是耗材。这种因使用而消耗和损坏的耗材显著耗损后就不能用了，因此，必须周期性订购新的元件以替换耗材。然而，通常，在耗材耗损或损坏之后才订购和采购新的元件，因此新的元件到达需一段时间，降低了设备的工作效率。因而，最好管理衬底加工设备中耗材的寿命，在一个衬底加工工厂中装有多个衬底加工设备，要求管理所有衬底加工设备中的耗材是个很大的工作。而且，通常，大量这种衬底加工设备设在制造半导体器件等的一个衬底加工工厂中并由大量操作员来操作。因而必须为操纵设备的方法而适当地培训无经验不熟练的操作员。当改变了设备的说明书等时，也需对熟练操作员讲授新的操作方法。通常，操作员必须分组参加关于设备的讲授，为各组重复讲授，或集合在一个衬底加工设备周围统一讲解。然而，这种情况下，必须重复讲授相同内容，否则就不能充分训练所有的操作员，其不利之处使衬底加工设备的用户和销售者都丧失效率。专利技术概述本专利技术涉及一种管理衬底加工设备的衬底加工设备管理系统，能经网络通信。根据本专利技术的一个方面，能经网络通信的管理衬底加工设备的衬底加工设备管理系统包括第一存储部件，存储控制信息，用于控制衬底加工设备的操作；复制信息获取部件，获取存储在第一存储部件中的控制信息的复制信息；和存储部件，在第二存储部件中存储用复制信息获取部件获取的复制信息，第二存储部件包括在经网络连接到衬底加工设备的信息存储计算机中。经网络连接到信息存储计算机的存储部件存储用于衬底加工设备的控制信息，从而不必对记录媒体备份操作。因此，用户与备份操作有关的负担显著减轻。根据本专利技术的另一方面，经网络使衬底加工设备和支持计算机互相连接的衬底加工设备管理系统中，支持计算机包括第一存储部件，存储衬底加工设备初始所需的基本信息；和基本信息发送部件，将基本信息经网络发送给衬底加工设备。衬底加工设备包括第二存储部件，存储从支持计算机收到的基本信息，衬底加工设备初始状态装有存储在第二存储部件中的基本信息。可以正确和容易地在衬底加工设备的导入和重置中执行初始化。在有衬底加工设备的衬底加工设备管理系统和管理衬底加工设备的计算机(都连接到网络)中，本专利技术的又一方面中，衬底加工设备包括耗损测量部件，测量衬底加工设备的元件耗损。衬底加工设备管理系统包括耗损信息累积部件，累积耗损测量部件测量的耗损，耗损信息公开部件使耗损信息累积部件中累积的耗损可经网络从计算机读取。可以有效管理衬底加工设备的元件耗损。根据本专利技术的再一方面，经网络使多个衬底加工设备和计算机互相连接的衬底加工设备管理系统中，计算机包括教育信息发布部件，经网络发布与多个衬底加工设备操作有关的教育信息，多个衬底加工设备中的每一个都包括接收部件，接收从计算机发布的教育信息；和显示部件，显示用接收部件收到的教育信息。计算机经网络发布与多个衬底加工设备操作有关的教育信息，从而可以有效给予操作员操作教育。本专利技术也涉及一种衬底加工设备管理方法，用于管理衬底加工设备。本专利技术也涉及一种衬底加工设备，经网络连接到预定计算机。因此，本专利技术的一个目的是提供一种简便备份存储在衬底加工设备中的信息的技术，同时减轻用户工作负担。本专利技术的另一方面是提供一种网络系统，用于简便而可靠地设置衬底加工设备的初始操作，同时减轻用户或支持人员的工作负担。本专利技术的又一方面是提供一种技术，能有效管理衬底加工设备部件的耗损。本专利技术的还一方面是提供一种衬底加工系统，能有效而可操作地教育操作员。结合附图，从下面对本专利技术的详细描述，本专利技术的上述和其它目的、方面和优点将更明显。 附图说明图1是根据本专利技术第一实施例的衬底加工系统的示意性框图；图2是衬底加工设备的示意性平面图；图3是显示用于衬底加工设备的控制系统结构的框图；图4说明了信息存储服务器或支持计算机的基本结构；图5说明了设置信息的示例内容；图6说明了处方(recipe)数据的示例内容；图7是显示根据第一实施例的衬底加工系统的功能结构的框图；图8是根据本专利技术包括进度控制部分的本地指令(local instruction)部分的框图；图9是显示根据本专利技术第二实施例的衬底加工系统的功能结构的框图；图10说明了根据第二实施例的支持计算机中管理的版本的设备基本数据；图11示意性说明了根据本专利技术第三实施例的衬底加工系统的结构；图12本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种管理衬底加工设备的衬底加工设备管理系统，能经网络通信，包括：ａ）第一存储部件，存储控制信息，用于控制衬底加工设备的操作；ｂ）复制信息获取部件，获取存储在所述第一存储部件中的所述控制信息的复制信息；和ｃ）存储部件，在第二存储部 件中存储用所述复制信息获取部件获取的所述复制信息，第二存储部件包括在经所述网络连接到所述衬底加工设备的信息存储计算机中。

【技术特征摘要】
JP 2001-9-6 270584/01;JP 2001-9-6 270699/01;JP 2001.一种管理衬底加工设备的衬底加工设备管理系统，能经网络通信，包括a)第一存储部件，存储控制信息，用于控制衬底加工设备的操作；b)复制信息获取部件，获取存储在所述第一存储部件中的所述控制信息的复制信息；和c)存储部件，在第二存储部件中存储用所述复制信息获取部件获取的所述复制信息，第二存储部件包括在经所述网络连接到所述衬底加工设备的信息存储计算机中。2.根据权利要求1的衬底加工设备管理系统，其中所述控制信息包括用于控制所述衬底加工设备的控制程序。3.根据权利要求2的衬底加工设备管理系统，其中所述控制信息包括定义所述衬底加工设备所述操作的设置信息。4.根据权利要求3的衬底加工设备管理系统，其中所述设置信息包括基本信息，用于定义所述衬底加工设备的所述操作，和校正信息，添加到所述基本信息，用于优化所述衬底加工设备的控制。5.根据权利要求4的衬底加工设备管理系统，还包括d)进程控制部分，让所述复制信息获取部件周期性执行获取所述复制信息的处理。6.根据权利要求5的衬底加工设备，其中所述存储部件包括c-1)提取所述复制信息获取部件获取的所述控制信息的所述复制信息和已存储在所述第二存储部件中的复制信息之间的差异信息，和c-2)在所述第二存储部件中存储所述差异信息的部件。7.根据权利要求6的衬底加工设备管理系统，还包括e)遥控计算机，经广域网与所述衬底加工设备连接，包括发送获取所述复制信息的指令命令到所述复制信息获取部件的远程指令部件。8.一种经网络连接到预定计算机的衬底加工设备，包括a)第一存储部件，存储控制信息，用于控制所述衬底加工设备的操作；b)复制信息获取部件，获取存储在所述第一存储部件中的所述控制信息的复制信息；和c)发送部件，将所述复制信息获取部件获取的所述复制信息发送到所述计算机。9.根据权利要求8的衬底加工设备，其中所述控制信息包括控制程序，用于控制所述衬底加工设备。10.根据权利要求9的衬底加工设备，其中所述控制信息包括设置信息，定义所述衬底加工设备的所述操作。11.根据权利要求10的衬底加工设备，其中所述设置信息包括基本信息，用于定义所述衬底加工设备的所述操作，和校正信息，添加到所述基本信息，用于优化所述衬底加工设备的控制。12.根据权利要求11的衬底加工设备，还包括d)进程控制部件，让所述复制信息获取部件周期性执行获取所述复制信息的处理。13.一种衬底加工设备管理方法，用于管理衬底加工设备，包括步骤a)获取控制信息的复制信息(存储在包括在所述衬底加工设备中的第一存储部件里)，用于控制所述衬底加工设备的操作；和b)将所述步骤a)获取的所述复制信息存储在包括在信息存储计算机中的第二存储部件里，信息存储计算机经网络连接到所述衬底加工设备。14.一种衬底加工设备管理系统，经网络使衬底加工设备和支持计算机互连，其中所述支持计算机包括a-1)第一存储部件存储所述衬底加工设备初始化所必须的基本信息，和a-2)基本信息发送部件将所述基本信息经所述网络发送到所述衬底加工设备，所述衬底加工设备包括b-1)第二存储部件存储从所述支持计算机收到的所述基本信息，和所述衬底加工设备的初始化状态安装有存储在所述第二存储部件中的所述基本信息。15.根据权利要求14的衬底加工设备管理系统，其中所述基本信息是对相同类型的衬底加工设备共有设置的信息。16.根据权利要求15的衬底加工设备管理系统，其中所述基本信息是随控制所述衬底加工设备的控制程序版本改变的信息，所述衬底加工设备还包括b-2)公布部件将安装在所述衬底加工设备中的所述控制程序版本公布给所述支持计算机，和所述基本信息发送部件包括a-2-1)将相应于所述衬底加工设备公布的所述控制程序版本的基本信息公布给所述衬底加工设备。17.根据权利要求16的衬底加工设备管理系统，其中所述衬底加工设备还包括b-3)指令所述支持计算机对所述基本信息的发送请求的部件。18.根据权利要求17的衬底加工设备管理系统，其中所述支持计算机还包括a-3)指令所述衬底加工设备发送所述基本信息的部件。19.一种衬底加工设备，用作为初始化信息存储在存储部件中的基本信息控制，包括a)接收部件，经网络从连接到所述衬底加工设备的计算机接收所述基本信息；和b)存储部件，将收到的所述基本信息存储在所述存储部件中。20.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：北本彻，龟井谦治，井上秀和，滨田哲也，
申请(专利权)人：大日本屏影象制造株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]