组合产品的制造系统和制造方法技术方案

提供一种用形成生产线的多个制造机组构成的制造系统，其中，加工工件用多个工艺制成产品，通过防止在组合产品制造阶段因污染造成产品缺陷或故障，以防止组合产品开发中出危险。第一和第二生产线是在物理上或几何结构上相互不同，或者，所隶属的团体彼此不同，而且它们彼此远离地分开安装。在第一生产线中，用第一工艺加工第一衬底以在分割每个第一衬底形成的多个区域中的每个衬底中形成第一器件组，由此制成半成品。在第二生产线中每个第一衬底分成多个第二衬底，用第二工艺加工第二衬底，以形成第二元件组。每个第二衬底中的各个部分是分开的，并与另一构件组合以便形成组件。制成包括该组件的组合产品。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及，其中，工件经过多个工艺步骤加工后制成产品，本专利技术特别涉及诸如其中有多个元件构成的多个元件组的电子设备的。
技术介绍
用诸如公知的甚大规模(VLSI)集成电路的半导体集成电路构成的产品是用多个工艺步骤加工的结果。作为制造这种产品的系统是叫做作业系统的制造系统，一种制造设备安置在工厂中的一个地方，按相同方式设置其它设备，以形成多个机组，加工中的工件从一个机组到另一机组而制成产品。这种制造系统的特征是能制造多种不同类型的产品，为提高合格率，稳定质量，和提高功能而频繁改变制造工艺。执行光刻工艺，结合形成氧化膜或氮化膜，离子注入，热处理，淀积金属膜或半导体膜，形成层间绝缘膜等工艺，制成半导体集成电路。要制成VLIS使用的这种工艺需要几百个工艺步骤。术语“设计尺度”是关于最小工艺尺寸的制造工艺技术的通用名，通常设计尺度确定晶体管的栅极长度和沟道长度。更小的设计尺度表示更精细的工艺。例如，64M位的动态随机存储器(DRAM)，用0.25至0.18μm的工艺。膜形成设备构成的生产线形成涂膜，刻蚀设备刻蚀膜，曝光设备用光掩模形成掩模图形，退火设备进行热处理，工业机器人输送衬底本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种组合产品的制造系统，设有构成生产线的多个机组，其中产品是用多个工艺制成的，包括：多个机组构成的第一生产线，和多个机组构成的第二生产线，第一和第二生产线相互远离地隔开安装，其中，第一生产线设有多个制造设备构成的第一制造设备组，和执 行产品控制或程序控制用的第一产品控制装置，第一产品控制装置有第一存储装置，它存储第一制造设备组中第一衬底上形成的第一元件组的第一质量信息或特征信息；第二生产线设有多个制造设备构成的第二制造设备组，和执行产品控制或程序控制的第二产品控制装 置，第一衬底分成多个第二衬底，第二产品控制装置有第二存储装置，它存储第二制造设备组中每个第二衬底上形成的第二...

【技术特征摘要】
JP 2001-10-1 304763/011.一种组合产品的制造系统，设有构成生产线的多个机组，其中产品是用多个工艺制成的，包括多个机组构成的第一生产线，和多个机组构成的第二生产线，第一和第二生产线相互远离地隔开安装，其中，第一生产线设有多个制造设备构成的第一制造设备组，和执行产品控制或程序控制用的第一产品控制装置，第一产品控制装置有第一存储装置，它存储第一制造设备组中第一衬底上形成的第一元件组的第一质量信息或特征信息；第二生产线设有多个制造设备构成的第二制造设备组，和执行产品控制或程序控制的第二产品控制装置，第一衬底分成多个第二衬底，第二产品控制装置有第二存储装置，它存储第二制造设备组中每个第二衬底上形成的第二元件组的第二质量信息或特征信息，或存储关于第一元件组和第二元件组组合的状态的第三质量信息或产品信息；第一和第二产品控制装置或第一和第二存储装置均能相互交流信息；和提供了使具有第一质量信息或特征信息和第二质量信息或特征信息或第三质量信息或特征信息可以互相对比、以确定第二衬底中被识别为无缺陷的部分地址的功能。2.一种组合产品的制造系统，设有构成生产线的多个机组，其中产品是用多个工艺制成的，包括第一生产线，它是在专利持有人允许的制造方法基础上构成的，它由多个制造机组构成，其中，可设定多个处理条件；和利用专利持有人允许的产品的第二生产线，第一和第二生产线相互远离地隔开安装；其中，第一生产线设有由多个制造设备构成的第一制造设备组，第一产品控制装置执行产品控制或程序控制，第一产品控制装置有第一存储装置，它存储第一制造设备组中第一衬底上形成的第一元件组的第一质量信息或特征信息；第二生产线设有由多个制造设备构成的第二制造设备组，和第二产品控制装置，它执行产品控制或程序控制，第一衬底分成多个第二衬底，第二产品控制装置有第二存储装置，它存储第二制造设备组中每个第二衬底上形成的第二元件组的第二质量信息或特征信息，或存储关于第一元件组和第二元件组组合的状态的第三质量信息或产品信息；第一和第二产品控制装置或第一和第二存储装置均能相互交流信息；和提供了使具有第一质量信息或特征信息和第二质量信息或特征信息或第三质量信息或特征信息可以互对比、以确定第二衬底中被识别为无缺陷部分的地址的功能。3.一种制造方法，包括在第一生产线中，第一衬底组作为第一批按第一工艺进行处理，以便在每个第一衬底分成的多个区域中的每一个区域内形成第一元件组，其中，所述第一生产线设有多个生产机组；收集第一工艺中各个特定工艺步骤之间每个第一衬底上形成的第一元件组的至少一个第一信息；在第二生产线中，将每个第一衬底分成多个第二衬底，其中，所述第二生产线设有多个生产机组，第一和第二生产线相互远离地隔开安装；第二衬底组作为第二批按第二工艺进行处理，以在每第二衬底被分成的多个区域中的各个相应的区域中形成第二元件组；收集第二工艺中各个特定工艺步骤之间有关第二元件组的第二信息，或有关在第一元件组和第二元件组组合的情况下的第一元件组和第二元件组的状态的第三信息；把第一信息和第二信息或第三信息相互对比，以形成指示第二衬底中被识别为无缺陷部分的地址的指示信息；将每个相应部分与第二衬底隔开，以形成多个单元功能件；在指示地址的信息的基础上只选择被识别为无缺陷的功能件；组合每个选出的功能件和至少一个不是功能件的其它构件，以组成模块；制成其中包含该模块的组合产品。4.一种制造方法，包括在第一生产线中，第一衬底组作为第一批按第一工艺进行处理，以在每个第一衬底分成的多个区域中的一个区域内形成第一元件组，其中，所述第一生产线设有多个生产机组；收集第一工艺中各个特定工艺步骤之间每个第一衬底上形成的第一元件组的至少一个第一信息；在第一衬底上形成保护膜，以防止由环境污染或静电引起第一元件组击穿；把第一衬底从第一生产线输送到第二生产线，其中，所述的第二生产线设有多个生产机组，第一和第二生产线相互远离地隔开安装；把第二生产线中每个第一衬底分成多个第二衬底；把第二衬底组作为第二批按第二工艺进行处理，以在每个第二衬底分成的多个区域中的每个相应的区域中形成第二元件组收集第二工艺中各个特定工艺步骤之间有关第二元件组的第二信息，或有关在第一元件组和第二元件组组合的情况下的第一元件组和第二元件组的状态的第三信息；把第一信息和第二信息或第三信息相互对比，以形成指示第二衬底中被识别为无缺陷的部分的地址的指示信息；把每个相应部分与第二衬底隔开以形成多个单元功能件；在指示地址信息的基础上只选择被识别为无缺陷的功能件；组合每个选出的功能件和至少一个不是功能件的其它构件以组成模块；制造其中包含该模块的组合产品。5.一种制造方法，包括在第一生产线中，把第一标识符加到每个第一衬底上，其中，所述的第一生产线设有多个生产机组；把第一衬底组装入载体中；把识别第一衬底组的第二标识符加到载体上；在每个第一衬底分成的多个区域中的每个区域中，按第一和第二标识符编程的处理条件加工形成第一元件组；收集第一工艺中各个特定工艺步骤之间每个第一衬底上形成的第一元件组与第一标识符对应的第一信息；把第二生产线中每个第一衬底分成多个第二衬底，其中，所述的第二生产线设有多个生产机组，第一和第二生产线相互远离地隔开安装；把第二衬底组作为第二批按第二工艺进行处理，以在每第二衬底分成的多个区域中的每个相应的区域中形成第二元件组收集第二工艺中各个特定工艺步骤之间有关第二元件组的第二信息，或有关在第一元件组和第二元件组组合的情况下的第一元件组和第二元件组的状态的第三信息；把第一信息和第二信息或第三信息相互对比，以形成指示第二衬底中被识别为无缺陷部分的地址的指示信息；把每个相应部分与第二衬底隔开，以形成多个功能件；在指示地址信息的基础上只选择被识别为无缺陷的功能件；组合每个选出的功能件和至少一个不是功能件的其它构件以组成模块；制造其中包含该模块的组合产品。6.一种制造方法，包括在第一生产线中，把第一标识符加到每个第一衬底上；把第一衬底组装入载体中，其中，所述的第一生产线设有多个生产机组；把识别第一衬底组的第二标识符加到载体上；在第一衬底分成的多个区域中的每个区域中按第一和第二标识符编程的工艺条件加工形成第一元件组；通过与第一标识符相联系，收集第一工艺中各个特定工艺步骤之间每个第一衬底上形成的第一元件组的第一质量信息或特征信息；在第一衬底上形成保护膜，以防止由环境污染或静电引起第一元件组击穿；把第一衬底从第一生产线输送到第二生产线，其中，所述的第二生产线设有多个生产机组，第一和第二生产线相互远离地隔开安装；把第二生产线中每个第一衬底分成多个第二衬底；在去除保护膜后，把第二衬底组作为第二批按第二工艺进行处理，以在每第二衬底分成的多个区域中的每个相应的区域中形成第二元件组；收集第二工艺中各个特定工艺步骤之间有关第二元件组的第二信息，或关于第一元件组和第二元件组组合的情况下的第一元件组和第二元件组的状态的第三信息；把第一信息和第二信息和第三信息相互对比，以形成指示第二衬底中被识别为无缺陷的部分的地址的指示信息；把每个相应的部分与第二衬底隔开以形成多个功能件；在指示地址信息的基础上只选择被识别为无缺陷的功能件；组合每个选出的功能件和至少一个不是功能件的其它构件以组成模块；制成其中包含该模块的组合产品。7.一种制造方法，包括在第一生产线中，把第一标识符加到每个第一衬底上；其中，所述的第一生产线设有多个生产机组；按第一标识符分配与每个第一衬底相关的工艺处理条件；把处理条件信息存储在存储装置中；把第一衬底组装入载体中；把识别第一衬底组的第二标识符加到载体上；按第一标识符把作为一组工艺处理条件的控制信息存储在存储装置中；利用信息处理器管理来自第二标识符的工艺程序信息和来自第一标识符的工艺处理信息；在第一衬底分成的多个区域中的每个区域中形成第一元件组；通过与存储在存储器中的第一标识符相联系，收集第一工艺中各个特定工艺步骤之间每个第一衬底上形成的第一元件组的信息；把第二生产线中每个第一衬底分成多个第二衬底，其中，所述的第二生产线设有多个生产机组，第一和第二生产线相互远离地隔开安装；把第二衬底组作为第二批按第二工艺进行处理，以在每第二衬底分成的多个区域中的每个相应的区域中形成第二元件组收集第二工艺中各个特定工艺步骤之间有关第二元件组的第二信息，或关于第一元件组和第二元件组组合的情况下的第一元件组和第二元件组的状态的第三信息；把第一信息和第二信息或第三信息相互对比，以形成指示第二衬底中被识别为无缺陷的部分的地址的指示信息；把每个相应部分与第二衬底隔开以形成多个功能件；在指示地址信息的基础上只选择被识别为无缺陷的功能件；组合每个选出的功能件和至少一个不是功能件的其它构件以组成模块；制成其中包含该模块的组合产品。8.一种制造方法，包括在第一生产线中，把第一标识符加到每个第一衬底上；其中，所述的第一生产线设有多个生产机组；分配相应第一标识符的、与每个第一衬底相关的工艺处理条件；把处理条件信息存储在存储装置中；把第一衬底组装入载体中；把识别第一衬底组的第二标识符加到载体上；按第一标识符把作为一组工艺处理条件的控制信息存储在存储装置中；利用信息处理器管理来自第二标识符的工艺程序信息和来自第一标识符的工艺处理信息；在第一衬底分成的多个区域中的每个区域中形成第一元件组；通过与存储在存储装置中的第一标识符相联系，收集第一艺中各个特定工艺步骤之间每个第一衬底上形成的第一元件组的信息；在第二生产线中，把每个第一衬底分成多个第二衬底，其中，所述的第二生产线设有多个生产机组，第一和第二生产线相互远离地隔开安装；把第二衬底组作为第二批按第二工艺进行处理，以在每第二衬底分成的多个区域中的每个相应的区域中形成第二元件组；收集第二工艺中各个特定工艺步骤之间，有关第二元件组的第二信息，或关于在第一元件组和第二元件组组合的情况下的第一元件组和第二元件组的状态的第三信息；把第一信息和第二信息或第三信息相互对比，以形成指示第二衬底中被识别为无缺陷的部分的地址的指示信息；把每个相应部分与第二衬底隔开以形成多个功能件；在指示地址信息的基础上只选择被识别为无缺陷的功能件；组合每个选出的功能件和至少一个不是功能件的其它构件以组成模块；制成其中包含该模块的组合产品。9.一种制造方法，包括使用第一生产线，它是在专利持有人允许的制造方法基础上构成的，它由多个生产机组构成，并且可对第一生产线应用作为第一处理线中的处理的多个处理条件，其中该第一生产线设有多个生产机构；把第一衬底组作为第一批按第一工艺进行处理，以在每个第一衬底分成的多个区域中的一个区域内形成第一元件组；收集第一工艺中各个特定工艺步骤之间每个第一衬底上形成的第一元件组的第一信息；在第二生产线中使用由应用多个工艺条件的多个工艺制造的、被专利持有人允许的产品；在第二生产线把每个第一衬底分成多个第二衬底；把第二衬底组作为第二批按第二工艺进行...

【专利技术属性】
技术研发人员：山崎舜平，
申请(专利权)人：株式会社半导体能源研究所，
类型：发明
国别省市：JP[日本]