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提供一种用形成生产线的多个制造机组构成的制造系统，其中，加工工件用多个工艺制成产品，通过防止在组合产品制造阶段因污染造成产品缺陷或故障，以防止组合产品开发中出危险。第一和第二生产线是在物理上或几何结构上相互不同，或者，所隶属的团体彼此不同，...
该专利属于株式会社半导体能源研究所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社半导体能源研究所授权不得商用。

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