通过各色彩印刷机的网版影象生成印刷影象（Ｉ－［ｔ４］），而同时避免了所谓星状波纹及相对于原始影象的色彩偏移，网版点（Ｈ－［ｍ４］、Ｉ－［ｃ４］、Ｉ－［ｋ４］）呈直线形状并沿各自的规定方向延伸，从而构成了具有各自间距（ｄ－［ｍ４］、ｄ－［...

一种衬底处理系统，具有衬底处理转置和信息存储服务器和支持计算机，分别连接于网络。衬底处理装置中产生故障时，警报处理器提取必要的关联日志（ｌｏｇ）文件并存储在信息存储服务器的固定盘上。另外，通过故障信息生成部生成故障信息，最终作为故障信息...

一种衬底处理系统，具有衬底处理装置和信息存储服务器和支持计算机，分别连接于网络。衬底处理装置中产生故障时，警报处理部提取必要的关联日志（ｌｏｇ）文件并存储在信息存储服务器的固定盘上。另外，通过故障信息生成部生成故障信息，最终作为故障信息...

一种衬底加工设备和一种信息存储服务器，经网络互连。衬底加工设备的存储部分存储设置信息和控制程序，根据设置信息和控制程序控制衬底加工设备的操作。衬底加工设备根据进程发送备份指令命令。响应该指令命令，衬底加工设备产生存储在上述存储部分中的指...

本发明公开了一种基板处理装置，能够降低处理液的使用量，减少废液量，维持高的处理效率，将液体循环路径中部件的污染抑制在最小限度。将基板（１）以在与传送方向垂直的方向上相对于水平面倾斜的姿势传送，在水洗处理槽（１０）的内底面上的、基板的较低...

提供这样一种装置，即，在处理槽内边传送基板边向基板供给处理液而对基板进行处理的场合，能够防止含有固化成分的处理液对传送辊和处理槽的内壁面等造成污染。在与基板（１）的下表面接触而对基板进行支持并传送的传送辊（１０）的正下方，配置有储液桶（...

执行基片旋转步骤以便使基片以１００ｒｐｍ至５００ｒｐｍ的第一旋转速度在平行于其主平面的平面中旋转。然后，执行第一施用步骤以便通过在从喷嘴输送处理溶液的同时使喷嘴从与旋转中的基片的一个边缘相对的位置移至与基片的旋转中心相对的位置而向基片表...

一种基板处理装置，其特征在于具有：含有至少１个在相向的侧面上具有第１开口部和第２开口部的第１收容容器的第１收容容器部；收容前述第１收容容器部且在相向的侧面上具有第３开口部和第４开口部的第２收容容器；将基板从前述第３开口部送入前述第２收容...

一种用保持衬底的衬底保持装置，包括：　　　　保持元件，其具有用来保持所述衬底的大气流通道；　　　　吸气管，用来通过所述大气流通道抽吸大气；　　　　供气管，用来通过所述大气流通道供给预定气体；　　　　其中通过所述供气管供给所述预定气体，同...

本发明的目的在于提供一种喷嘴清扫装置以及具备该喷嘴清扫装置的基板处理装置，可降低擦拭部件的消耗量，并可靠地对处理液供应喷嘴进行清扫。喷嘴清扫装置（１８）包括：擦拭部（４５）和使擦拭部（４５）在处理液供应喷嘴（１４）上的排出口长度方向往复...

一种基板处理装置，其特征在于，包括：　　　　（ａ）处理室；　　　　（ｂ）配设在上述处理室内并从存在于上述处理室内的基板的上方相对于上述基板喷出处理流体的喷出机构；　　　　（ｃ）使上述基板沿规定的搬运路径移动的移动机构；　　　　（ｄ）设于...

提供一种在把冲洗液供给到基板的表面而处理基板的场合，可以减少冲洗液（纯水）的使用量的方法。在基板（Ｗ）被向水洗处理部（１０）的处理腔（１２）内搬入的当初，从入口喷嘴（２０）与上部喷雾嘴（２２）向基板供给冲洗液，然后，在基板被从处理腔（１...

当将前敞口单元化箱（８０ａ，８０ｂ）分别安装到格架（１１１ｄ，１２１ｃ）上时，格架（１２１ａ，１２１ｂ，１２１ｃ）即分别由气缸（１２７ａ，１２７ｂ，１２７ｃ）驱动而沿垂向运动。前敞口单元化箱（８０ｂ）由此移动到前敞口单元化箱（８０ａ）上...

根据本发明的基板处理装置被气密性部件包围，其内部空间进一步用气密性部件分割成水洗干燥处理室，第一药液处理室，第二药液处理室，基板搬运室。向各室运入运出基板用的开口部能够用备有密闭机构的开闭机构打开和关闭。因此，能够在与包含氧的外部气体隔...

一种衬底加工设备和一种信息存储服务器，经网络互连。衬底加工设备的存储部分存储设置信息和控制程序，根据设置信息和控制程序控制衬底加工设备的操作。衬底加工设备根据进程发送备份指令命令。响应该指令命令，衬底加工设备产生存储在上述存储部分中的指...

一种衬底加工设备和一种信息存储服务器，经网络互连。衬底加工设备的存储部分存储设置信息和控制程序，根据设置信息和控制程序控制衬底加工设备的操作。衬底加工设备根据进程发送备份指令命令。响应该指令命令，衬底加工设备产生存储在上述存储部分中的指...

一种衬底处理系统，具有衬底处理装置和信息存储服务器和支持计算机，分别连接于网络。衬底处理装置中产生故障时，警报处理部提取必要的关联日志（ｌｏｇ）文件并存储在信息存储服务器的固定盘上。另外，通过故障信息生成部生成故障信息，最终作为故障信息...

工作流程生成装置预先将工作流程生成用的规则（３１１）和与构成工作流程的各处理的执行有关的环境信息（３１２）存入辅助存储装置中，通过用户操作，指定由作为最终成果的胶片、印刷版、印刷物等图象记录媒体的属性值组成的输出要件（３１０）后，通过对...

一种缺陷探测装置，它包含： （ａ）图象拍摄部分，用来拍摄衬底的图象； （ｂ）参考掩模产生元件，用来根据所述图象拍摄部分所拍摄的无缺陷衬底的图象而产生参考掩模图象； （ｃ）检查掩模产生元件，用来根据所述图象拍摄部分所拍摄...

在打印系统中，控制器为每个进纸盒确定用于识别在打印机中提供的多个进纸盒的识别信息。当操作者指定进纸盒以用来输送用于打印由打印数据描绘的图像的纸张时，控制器存储在打印数据和已指定的进纸盒之间的对应关系。基于该对应关系，控制器将识别信息与由...