用于衬底和离子束照射装置的充电电压测量装置制造方法及图纸

一种充电电压测量设备，用于测量在衬底保持单元中的衬底的表面上的充电电压Ｖｓ，包括：　　　　测量电极，用于与所述衬底形成静电电容Ｃｓ，并且设置在所述衬底保持单元上，以与所述所保持的衬底的背面相接触或接近，并且所述测量电极与所述衬底保持单元电绝缘。　　　　连接在所述测量电极和地电位部分之间的测量电容器，所述测量电容器具有静电电容Ｃｍ；　　　　测量在所述测量电容器的两端之间的测量电压Ｖｍ的电压测量单元；和　　　　计算单元，用于基于通过所述静电电容器Ｃｓ和Ｃｍ的关系所确定的分压比的倒数Ｋ和所述测量电压Ｖｍ，根据下面的数值表达式１或它在数学上等效的数值表达式，计算所述充电电压Ｖｓ，　　　　［数值表达式１］　　　　Ｖｓ＝Ｋ×Ｖｍ　　　　其中Ｋ＝（Ｃｓ＋Ｃｍ）／Ｃｓ或Ｋ＝Ｃｍ／Ｃｓ（如果Ｃｍ＞＞Ｃｓ）。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种用于充电电压测量装置和具有充电电压测量装置的离子束照射装置，在衬底上进行离子注入、离子掺杂或等离子处理的过程或设备中或在传送或干燥衬底的过程或设备中使用这种离子束照射装置，在这些过程或设备中人们担心衬底的表面起电。
技术介绍
在人们担心在衬底的表面上起电的过程或设备中，重要的是测量在衬底表面上的充电电压以防止在充电表面上的电介质击穿。在保持衬底的衬底保持单元上使用静电夹盘的专用设备中，在相关技术中已经提出了从流经静电夹盘的电极的吸收电流中获取在衬底表面上的电位的技术(参考JP-A-9-54130(第0010-0014段，附图1)和JP-A-10-27566(第0010-0015段，附图1))，但是在不使用静电夹盘时这种技术不适用。参考附图1和2，下文通过举例的方式描述在典型的相关技术中不使用静电夹盘的充电电压测量方法。首先，在处理衬底6时，不提供测量电极8，保持要处理的衬底6并通过夹持器(未示出)固定在衬底保持单元4上，并以离子束2照射它。这样，通过离子注入和离子掺杂处理衬底6。衬底保持单元4例如是金属板。衬底6是例如用于液晶显示器的玻璃衬底，但它也可以是半导体本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种充电电压测量设备，用于测量在衬底保持单元中的衬底的表面上的充电电压Vs，包括测量电极，用于与所述衬底形成静电电容Cs，并且设置在所述衬底保持单元上，以与所述所保持的衬底的背面相接触或接近，并且所述测量电极与所述衬底保持单元电绝缘。连接在所述测量电极和地电位部分之间的测量电容器，所述测量电容器具有静电电容Cm；测量在所述测量电容器的两端之间的测量电压Vm的电压测量单元；和计算单元，用于基于通过所述静电电容器Cs和Cm的关系所确定的分压比的倒数K和所述测量电压Vm，根据下面的数值表达式1或它在数学上等效的数值表达式，计算所述充电电压Vs，[数值表达式1]Vs＝K×Vm其中K＝(Cs+Cm)/Cs或K＝Cm/Cs(如果Cm＞＞Cs)。2.一种充电电压测量设备，用于测量在衬底保持单元中的衬底的表面上的充电电压Vs，包括测量电极，用于与所述衬底形成静电电容Cs，并且设置在所述衬底保持单元上，以与所述所保持的衬底的背面接触或接近，并且所述测量电极与所述衬底保持单元电绝缘；连接在所述测量电极和地电位部分之间的测量电容器，所述测量电容器具有静电电容Cm；测量在所述测量电容器的两端之间的测量电压Vm的电压测量单元；和计算单元，用于基于通过所述静电电容器Cs和Cm之间的关系所确定的分压比的倒数K、在时间t1时的所述测量电压Vm(t1)，和包括所述电压表的内阻并与所述测量电容器并联设置的电阻的电阻值Rm，根据下面的数值表达式2或它的在数学上等效的数值表达式，在时间是t、测量开始时间是t＝0以及测量时间是t1时，计算在时间t1时所述充电电压Vs，[数值表达式2]Vs=K[Vm(t1)+{1/(Cm×Rm)}∫0t1Vm(t)dt]...

【专利技术属性】
技术研发人员：前野修一，
申请(专利权)人：日新意旺机械股份公司，
类型：发明
国别省市：