温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种充电电压测量设备，用于测量在衬底保持单元中的衬底的表面上的充电电压Ｖｓ，包括：　　　　测量电极，用于与所述衬底形成静电电容Ｃｓ，并且设置在所述衬底保持单元上，以与所述所保持的衬底的背面相接触或接近，并且所述测量电极与所述衬底保持单元电绝...
该专利属于日新意旺机械股份公司所有，仅供学习研究参考，未经过日新意旺机械股份公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。