【技术实现步骤摘要】
一种新型气相沉积炉加热场
[0001]本技术涉及气相沉积炉
，具体为一种新型气相沉积炉加热场。
技术介绍
[0002]化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。对于碳碳坩埚而言，即将浸渍后的碳纤维编织体在加热炉中进行高温处理，使其内部组织、结构趋于稳定。然而，现有加热炉内部的加热装置设计不合理，在对加热炉内的物质进行加热时不够均匀，且目前现有的石墨加热器一般是固定安装于加热炉内的，在对加热炉进行保养时，石墨加热器往往难以取出，而进行保养时，又容易损伤石墨加热器上的石墨极板，降低了其使用寿命。
技术实现思路
[0003]本技术的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种新型气相沉积炉加热场，解决了现有技术中的加热炉内部的加热装置设计不合理，在对加热炉内的物质进行加热时不够均匀，且目前现有的石墨加热器一般是固定安装于加热炉内的，在对加热炉进行保养时，石墨加热器往往难以取出，而进行保养时，又容易损伤石墨加热器上的石墨极板，降低了其使
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种新型气相沉积炉加热场，包括隔热炉体（1）、隔热炉盖（2）及石墨加热器（3），其特征在于，所述石墨加热器（3）设置于所述隔热炉体（1）内，所述石墨加热器（3）包括上石墨极板（31）、下石墨极板（32）及石墨连接杆（33），所述上石墨极板（31）及下石墨极板（32）均为弧形结构，所述下石墨极板（32）有数个，所述上石墨极板（31）的个数为下石墨极板（32）的两倍，数个所述下石墨极板（32）可组成一个圆形的加热环，所述下石墨极板（32）上均匀固定设置有数根石墨连接杆（33），所述上石墨极板（31）均匀固定于所述石墨连接杆（33）的另一端，数个所述上石墨极板（31）也可组成一个圆形的加热环，所述上石墨极板（31）的上端面上均开设有一个连接筒（4），所述连接筒（4）内均连接有一根电极杆（5），所述隔热炉体（1）为上端开口的中空圆柱形腔体类结构，所述隔热炉盖（2）可拆卸地密封覆盖于所述隔热炉体（1）的上端开口上，所述隔热炉盖（2）上均匀开设有数个与所述电极杆（5）相适配的避空孔（6），所述电极杆（5）的一端可...
【专利技术属性】
技术研发人员：武晓军，刘昊亮，李春辉，张振清，陈浩纯，
申请(专利权)人：江西昊军智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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