一种气相沉积炉盖的密封结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种气相沉积炉盖的密封结构，包括沉积炉盖本体，其特征在于，所述沉积炉盖本体包括盖板，所述盖板的底部还设有安装结构，所述安装结构上卡接有密封结构，所述密封结构包括密封基体，所述密封基体内设有隔音层，所述隔音层内填充有隔音棉，所述密封基体内还设有缓冲层，所述缓冲层内固定连接有缓冲弹簧，所述缓冲弹簧的两端分别固定在密封基体上。本实用新型专利技术解决了目前密封结构长时间使用后密封垫片发生不可恢复的形变，使用寿命短，同时隔音效果差的问题。同时隔音效果差的问题。同时隔音效果差的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种气相沉积炉盖的密封结构


[0001]本技术涉及密封结构
，具体为一种气相沉积炉盖的密封结构。

技术介绍

[0002]化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术。化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。目前，化学气相淀积已成为无机合成化学的一个新领域。
[0003]现有的化学气相沉积炉由于炉体内的压力基本与外界大气压基本相同，密封装置采用常见的密封垫对炉体进出口处进行密封，长时间使用后密封垫片发生不可恢复的形变，使用寿命短，同时隔音效果差。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种气相沉积炉盖的密封结构，解决了目前密封结构长时间使用后密封垫片发生不可恢复的形变，使用寿命短，同时隔音效果差的问题。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用的技术方案为：
[0006]一种气相沉积炉盖的密封结本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气相沉积炉盖的密封结构，包括沉积炉盖本体（1），其特征在于，所述沉积炉盖本体（1）包括盖板（2），所述盖板（2）的底部还设有安装结构（3），所述安装结构（3）上卡接有密封结构（4），所述密封结构（4）包括密封基体（5），所述密封基体（5）内设有隔音层（6），所述隔音层（6）内填充有隔音棉（7），所述密封基体（5）内还设有缓冲层（8），所述缓冲层（8）内固定连接有缓冲弹簧（9），所述缓冲弹簧（9）的两端分别固定在密封基体（5）上。2.根据权利要求1所述的一种气相...

【专利技术属性】
技术研发人员：武晓军，刘昊亮，李春辉，张振清，陈浩纯，
申请(专利权)人：江西昊军智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：