一种化学气相沉积炉的进气结构制造技术

一种化学气相沉积炉的进气结构，包括沉积炉本体及混合进气腔，混合进气腔设置于沉积炉本体的一侧，混合进气腔的一端连通有数根进气管，进气管均可向混合进气腔内通入不同的气体，混合进气腔的顶部安装有一个旋转电机，旋转电机朝下设置有一个旋转轴，旋转轴上均匀设置有数个旋转叶片，混合进气腔的底部设置有一根混合气体管，混合气体管的另一端通入沉积炉本体内，混合气体管伸入沉积炉本体的一端均匀开设有数个排气腔，每个排腔的侧面上沿其周向均匀开设有一圈排气孔，排气孔均可将排气腔内的混合气体排入沉积炉本体内，沉积炉本体的顶部开设有一个排气口。本实用新型专利技术结构合理，可保证沉积炉本体的进气的均匀，改善了沉积效果，提高了沉积效率。提高了沉积效率。提高了沉积效率。

【技术实现步骤摘要】
一种化学气相沉积炉的进气结构


[0001]本技术涉及化学沉积炉
，具体为一种化学气相沉积炉的进气结构。

技术介绍

[0002]化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。现有的化学气相沉积炉工作时在对气相沉积炉加入气体时一般是直接将各种气体的进气管直接通入气相沉积炉的炉体内。但这种进气方式存在以下问题：1）通入的各种气体再通入炉体后难以保证各种气体是否混合均匀，影响沉积炉内的反应效果；2）通入的各种气体由于受通入位置的影响，使得炉体内的每个位置的气体的浓度也不够均匀，也会影响炉体内的反应效率及反应效果。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种化学气相沉积炉的进气结构，解决了现有技术中在对气相沉积炉加入气体时一般是直接将各种气体的进气管直接通入气相沉积炉的炉体内，但这种进气方式，难以保证通入的各种气体是否混合均匀，也难以保证炉体内的每个位置的气体的浓度的均匀，影响炉体内的反应效率及反应效果。<br/>[0004]本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种化学气相沉积炉的进气结构，包括沉积炉本体（1）及混合进气腔（2），所述混合进气腔（2）设置于所述沉积炉本体（1）的一侧，所述混合进气腔（2）的一端连通有数根进气管（3），每个所述进气管（3）均可向所述混合进气腔（2）内通入不同的气体，所述混合进气腔（2）的顶部安装有一个旋转电机（4），所述旋转电机（4）朝下设置有一个旋转轴（5），所述旋转电机（4）可驱动所述旋转轴（5）转动，所述旋转轴（5）上均匀设置有数个旋转叶片（6），其特征在于，所述混合进气腔（2）的底部设置有一根混合气体管（7），所述混合气体管（7）的另一端通入所述沉积炉本体（1）内，所述混合气体管（7）伸入所述沉积炉本体（1）的一端均匀开设有数个排气腔（8），每个所述排气腔（8）的侧面沿其周向...

【专利技术属性】
技术研发人员：武晓军，刘昊亮，李春辉，张振清，陈浩纯，
申请(专利权)人：江西昊军智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：