一种ALD料车覆层设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种ALD料车覆层设备，包括设备主体，设备主体的正面设置有操作台，设备主体的底端设置有轮毂，设备主体的顶端设置有盖板，盖板的顶端设置有提手，设备主体的一侧设置有连接件，连接件的顶端设置有覆层测厚仪，覆层测厚仪的顶端设置有连接孔，连接件的底端设置有探头，连接件的底部设置有覆层室，设备主体的背面设置有挡板，设备主体的内部设置有加热仓，加热仓的一侧设置有加热管道，加热管道的外侧设置有调节阀，调节阀的一侧设置有输送室，输送室的内部设置有压力表；该一种ALD料车覆层设备，通过设置的轮毂、显示屏，可以方便整个设备的移动，也方便直观的看到内部数据的变化。到内部数据的变化。到内部数据的变化。

【技术实现步骤摘要】
一种ALD料车覆层设备


[0001]本技术涉及ALD覆层
，具体为一种ALD料车覆层设备。

技术介绍

[0002]原子层沉积是一种可以将物质以单原子膜形式一层一层的镀在基底表面的方法，原子层沉积与普通的化学沉积有相似之处；但在原子层沉积过程中，新一层原子膜的化学反应是直接与之前一层相关联的，这种方式使每次反应只沉积一层原子；单原子层沉积，又称原子层沉积或原子层外延，由于这一工艺涉及复杂的表面化学过程和低的沉积速度，直至上世纪80年代中后期该技术并没有取得实质性的突破；但是到了20世纪90年代中期，人们对这一技术的兴趣在不断加强，这主要是由于微电子和深亚微米芯片技术的发展要求器件和材料的尺寸不断降低，而器件中的高宽比不断增加，这样所使用材料的厚度降低至几个纳米数量级；因此原子层沉积技术的优势就体现出来，如单原子层逐次沉积，沉积层极均匀的厚度和优异的一致性等就体现出来，而沉积速度慢的问题就不重要了。
[0003]现有技术存在以下缺陷或问题：
[0004]1、现有技术覆层设备，移动并不便，物体太过庞大，体积重，也不能直观的看到内部数据的变化；
[0005]2、现有技术覆层设备，气体在输送中可能会附着管道内部。

技术实现思路

[0006]本技术的目的在于针对现有技术的不足之处，提供一种ALD料车覆层设备，可以有效解决
技术介绍
中提出的问题。
[0007]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种ALD料车覆层设备，包括设备主体，所述设备主体的正面设置有操作台，所述设备主体的底端设置有轮毂，所述设备主体的顶端设置有盖板，所述盖板的顶端设置有提手，所述设备主体的一侧设置有连接件，所述连接件的顶端设置有覆层测厚仪，所述覆层测厚仪的顶端设置有连接孔，所述连接件的底端设置有探头，所述连接件的底部设置有覆层室，所述设备主体的背面设置有挡板，所述设备主体的内部设置有加热仓，所述加热仓的一侧设置有加热管道，所述加热管道的外侧设置有调节阀，所述调节阀的一侧设置有输送室，所述输送室的内部设置有压力表，所述加热仓的内部设置有原料仓。
[0008]作为本技术的优选技术方案，所述操作台与设备主体固定连接，所述轮毂与设备主体固定连接，所述盖板与设备主体活动连接，所述操作台设置有四组。
[0009]作为本技术的优选技术方案，所述提手与盖板固定连接，所述连接件与设备主体固定连接，所述覆层测厚仪与连接件固定连接。
[0010]作为本技术的优选技术方案，所述连接孔与覆层测厚仪固定连接，所述探头与连接件固定连接，所述覆层室与设备主体固定连接。
[0011]作为本技术的优选技术方案，所述挡板与设备主体固定连接，所述加热仓与
设备主体固定连接，所述原料仓与加热仓固定连接。
[0012]作为本技术的优选技术方案，所述加热仓的内部设置有原料仓，所述加热管道与加热仓固定连接，所述调节阀与加热管道固定连接，所述输送室与加热管道固定连接，所述压力表与加热管道固定连接。
[0013]作为本技术的优选技术方案，所述压力表的一侧设置有多通阀，所述多通阀的一侧设置有处理室，所述处理室的底端设置有收集室，所述收集室的底端设置有真空泵，所述覆层测厚仪的正面设置有显示屏，所述多通阀与加热管道固定连接，所述处理室与加热管道固定连接，所述收集室与加热管道固定连接，所述真空泵与加热管道固定连接，所述显示屏与覆层测厚仪固定连接。
[0014]与现有技术相比，本技术提供了一种ALD料车覆层设备，具备以下有益效果：
[0015]1、该一种ALD料车覆层设备，通过设置的轮毂、显示屏，可以方便整个设备的移动，也方便直观的看到内部数据的变化；
[0016]2、该一种ALD料车覆层设备，通过设置的加热管道、加热仓，防止气体在输送途中附着在管道内部。
附图说明
[0017]图1为本技术一种ALD料车覆层设备整体结构示意图；
[0018]图2为本技术一种ALD料车覆层设备后视结构示意图；
[0019]图3为本技术一种ALD料车覆层设备内部结构示意图；
[0020]图4为本技术一种ALD料车覆层设备覆层测厚仪结构示意图。
[0021]图中：1、设备主体；2、操作台；3、轮毂；4、盖板；5、提手；6、连接件；7、覆层测厚仪；8、连接孔；9、探头；10、覆层室；11、挡板；12、加热仓；13、原料仓；14、加热管道；15、调节阀；16、输送室；17、压力表；18、多通阀；19、处理室；20、收集室；21、真空泵；22、显示屏。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0023]请参阅图1
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4，本实施方案中：一种ALD料车覆层设备，包括设备主体1，设备主体1的正面设置有操作台2，设备主体1的底端设置有轮毂3，设备主体1的顶端设置有盖板4，盖板4的顶端设置有提手5，设备主体1的一侧设置有连接件6，连接件6的顶端设置有覆层测厚仪7，型号为tt210，覆层测厚仪7的顶端设置有连接孔8，连接件6的底端设置有探头9，连接件6的底部设置有覆层室10，设备主体1的背面设置有挡板11，设备主体1的内部设置有加热仓12，加热仓12的一侧设置有加热管道14，加热管道14的外侧设置有调节阀15，调节阀15的一侧设置有输送室16，输送室16的内部设置有压力表17，型号为YE150，加热仓12的内部设置有原料仓13。
[0024]本实施例中，操作台2与设备主体1固定连接，轮毂3与设备主体1固定连接，盖板4与设备主体1活动连接，操作台2设置有四组，实现了设备主体1的移动；提手5与盖板4固定
连接，连接件6与设备主体1固定连接，覆层测厚仪7与连接件6固定连接，实现了盖板4的打开；连接孔8与覆层测厚仪7固定连接，探头9与连接件6固定连接，覆层室10与设备主体1固定连接，实现了覆层室10的连接；挡板11与设备主体1固定连接，加热仓12与设备主体1固定连接，原料仓13与加热仓12固定连接，实现了内部气体的加热；加热仓12的内部设置有原料仓13，加热管道14与加热仓12固定连接，调节阀15与加热管道14固定连接，输送室16与加热管道14固定连接，压力表17与加热管道14固定连接，实现了管道的加热；压力表17的一侧设置有多通阀18，多通阀18的一侧设置有处理室19，处理室19的底端设置有收集室20，收集室20的底端设置有真空泵21，覆层测厚仪7的正面设置有显示屏22，多通阀18与加热管道14固定连接，处理室19与加热管道14固定连接，收集室20与加热管道14固定连接，真空泵21与加热管道14固定连接，显示屏22与覆层测厚仪7固定连本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种ALD料车覆层设备，其特征在于：包括设备主体（1），所述设备主体（1）的正面设置有操作台（2），所述设备主体（1）的底端设置有轮毂（3），所述设备主体（1）的顶端设置有盖板（4），所述盖板（4）的顶端设置有提手（5），所述设备主体（1）的一侧设置有连接件（6），所述连接件（6）的顶端设置有覆层测厚仪（7），所述覆层测厚仪（7）的顶端设置有连接孔（8），所述连接件（6）的底端设置有探头（9），所述连接件（6）的底部设置有覆层室（10），所述设备主体（1）的背面设置有挡板（11），所述设备主体（1）的内部设置有加热仓（12），所述加热仓（12）的一侧设置有加热管道（14），所述加热管道（14）的外侧设置有调节阀（15），所述调节阀（15）的一侧设置有输送室（16），所述输送室（16）的内部设置有压力表（17），所述加热仓（12）的内部设置有原料仓（13）。2.根据权利要求1所述的一种ALD料车覆层设备，其特征在于：所述操作台（2）与设备主体（1）固定连接，所述轮毂（3）与设备主体（1）固定连接，所述盖板（4）与设备主体（1）活动连接，所述操作台（2）设置有四组。3.根据权利要求1所述的一种ALD料车覆层设备，其特征在于：所述提手（5）与盖板（4）固定连接，所述连接件（6）与设备主体（1）固定连接，所述覆层测厚仪（7）与连接件（6）固定连接。4.根据权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈涛顺，
申请(专利权)人：布格提尔天津科技发展有限公司，
类型：新型
国别省市：