一种用于银饰品表面处理的原子层沉积装置外壳制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种用于银饰品表面处理的原子层沉积装置外壳，包括外筒，连接在外筒下端的底盖，连接在底盖下端的底座，以及盖设在外筒上端的上盖，所述外筒内设置有内筒，内筒的上端盖设有筒盖，内筒的内底壁上设置有沉槽，且沉槽上盖设有匀气盘，沉槽的下端贯通连接有支撑管，支撑管连接在底盖上，且收集管穿过底盖并与支撑管贯通连接。本实用新型专利技术克服了现有技术的不足，设计合理，结构紧凑，通过采用一系列的结构设计，能够对多余的前驱体源废气进行收集，防止在内筒中堆积，采用内外筒的结构设计，能够提高很好的保温效果，同时也能提高密封效果。提高密封效果。提高密封效果。

【技术实现步骤摘要】
一种用于银饰品表面处理的原子层沉积装置外壳


[0001]本技术涉及金属表面处理设备
，具体涉及一种用于银饰品表面处理的原子层沉积装置外壳。

技术介绍

[0002]银饰品是一种以金属银打造的饰品，质地光滑，富有色泽。但银饰品在保存中容易氧化导致变色甚至发黑。而用电镀、无机钝化膜、有机钝化膜等常规处理方法会破坏银饰品的色泽，也存在污染问题。原子层沉积是一种可以实现将物质以单原子膜形式一层一层的镀在基底表面的方法。
[0003]传统的原子层沉积设备前驱体源气流不均匀，影响对产品的沉积效果，而且一般不具备前驱体源废气收集的系统，另外保密及保温的措施也不够理想，使得在整个产品的沉积过程造成资源浪费。
[0004]为此，我们提出一种用于银饰品表面处理的原子层沉积装置外壳。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于解决或者至少缓解现有技术中存在的问题。
[0006]为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：
[0007]一种用于银饰品表面处理的原子层沉积装置外壳，包括外筒，连接在外筒下端的底盖，连接在本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于银饰品表面处理的原子层沉积装置外壳，包括外筒，连接在外筒下端的底盖，连接在底盖下端的底座，以及盖设在外筒上端的上盖，其特征在于：所述外筒内设置有内筒，内筒的上端盖设有筒盖，内筒的内底壁上设置有沉槽，且沉槽上盖设有匀气盘，沉槽的下端贯通连接有支撑管，支撑管连接在底盖上，且收集管穿过底盖并与支撑管贯通连接。2.如权利要求1所述的一种用于银饰品表面处理的原子层沉积装置外壳，其特征在于：所述筒盖卡合在内筒的内壁上，且筒盖和内筒之间还设有密封圈。3.如权利要求1所述的一种用于...

【专利技术属性】
技术研发人员：ꢀ七四专利代理机构，
申请(专利权)人：江苏迈纳德微纳技术有限公司，
类型：新型
国别省市：