一种立式气相沉积炉用的加料小车制造技术

一种立式气相沉积炉用的加料小车，包括轨道小车及升降平台，轨道小车的两端均设置有两个举升气缸，升降平台固定连接于举升气缸的活塞杆上，升降平台上焊接有一个与沉积炉相适配的底盖，底盖的上端面上设置有一个料罐放置平台，料罐放置平台沿其周向均匀开设有数个料罐放置槽，料罐放置平台的上端面上均匀设置有数个限位柱，两个料罐放置槽之间设置有一根限位柱，料罐放置平台的上端可拆卸的安装有一块限位板，限位板与料罐放置平台的形状及大小完全相同，限位板上均与设置有数个与料罐放置槽对齐的限位过孔，限位板的下端面上均匀开设有数个与限位柱相适配的限位槽。本实用新型专利技术可方便沉积炉内料罐的放取，防止料罐进入沉积炉后发生倾倒。生倾倒。生倾倒。

【技术实现步骤摘要】
一种立式气相沉积炉用的加料小车


[0001]本技术涉及气相沉积炉
，具体为一种立式气相沉积炉用的加料小车。

技术介绍

[0002]化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。气相沉积炉的工作原理是将沉积源引入沉积炉内，然后加热到一定工艺温度，在真空泵抽气系统产生的引力作用下，将沉积源引至沉积室，然后加热到一定工艺温度，使沉积源沉积在沉积室内的工件上，从而在工件上产生一层沉积源膜。由于气相沉积炉一般体积较大，一般采用大型的支撑结构安装于厂房内，因此在对气相沉积炉进行填料时一般需要大型的器械辅助完成，操作复杂且成本较高，同时一般物料在沉积炉内，由于其重心较高，在将物料运输至沉积炉内时容易发生倾倒，从而使得料罐倾倒的部分贴合于炉壁上，影响物料的沉积效果。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种立式气相沉积炉用的加料小车，解决了现有技术中的化学气相沉积进行填料时一般需要大型的器械辅助完成，操作复杂且成本较高，以及由于料本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种立式气相沉积炉用的加料小车，包括轨道小车（1）及升降平台（2），其特征在于，所述轨道小车（1）的两端均设置有两个举升气缸（3），所述升降平台（2）固定连接于所述举升气缸（3）的活塞杆上，所述升降平台（2）上焊接有一个与沉积炉相适配的底盖（4），所述底盖（4）的上端面上设置有一个料罐放置平台（5），所述料罐放置平台（5）沿其周向均匀开设有数个料罐放置槽（6），所述料罐放置平台（5）的上端面上均匀设置有数个限位柱（7），两个所述料罐放置槽（6）之间设置有一根限位柱（7），所述料罐放置平台（5）的上端可拆卸的安装有一块限位板（8），所述限位板（8）上均与设置有数个与所述料罐放置槽（6）对齐的限位过孔（9），所述限位板（8）...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘昊亮，郭勇，张振清，陈浩纯，
申请(专利权)人：江西昊军智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：