热丝装置以及HWCVD设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了热丝装置以及HWCVD设备，其中，热丝装置，可设置在HWCVD设备的镀膜腔内，包括：热丝和保持部。所述热丝在所述镀膜腔内水平地延伸。所述保持部保持所述热丝并使所述热丝沿长度方向可延伸。根据本实用新型专利技术的热丝装置，由于能够热丝在镀膜腔内水平地延伸，因此能够在镀膜对象物水平放置的状态下对其进行镀膜。由于镀膜对象物无需通过例如盖板等的固定件固定到托盘上，因此能够减少镀膜对象物被遮蔽的面积，进而能够至少一定程度上扩大镀膜对象物的镀膜面积。大镀膜对象物的镀膜面积。大镀膜对象物的镀膜面积。

【技术实现步骤摘要】
热丝装置以及HWCVD设备


[0001]本技术涉及镀膜
，尤其涉及热丝装置以及HWCVD设备。

技术介绍

[0002]相关技术当中，在一些镀膜工艺例如SHJ太阳能电池的本征非晶硅薄膜及掺杂非晶硅薄膜制作工艺中，通常会使用到热丝化学气相沉积法(Hot wire chemical vapor deposition，HWCVD)。
[0003]HWCVD设备的原理是利用热丝的高温和催化作用，反应气体在热丝表面发生裂解，其生成物沉积在镀膜对象物例如基片的表面，从而得到所需的固态薄膜。由于反应过程中热丝温度高达1700
‑
1800℃，热丝高温下会软化，因此，已知的HWCVD设备通常都是竖直安装，热丝的轴向沿竖直方向延伸。由此，即使热丝软化，由于重力的作用，也能够直线状地延伸。
[0004]然而，热丝竖直安装的HWCVD设备存在的问题是，基片需要通过例如盖板固定到托盘上。这会导致被盖板遮挡部分无法镀膜。

技术实现思路

[0005]本技术为了至少一定程度上解决相关技术当中存在的问题之一，为此，本技术提出了一本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.热丝装置，设置在HWCVD设备的镀膜腔内，用于对水平放置的镀膜对象物进行镀膜，其特征在于，包括：多件热丝，多件所述热丝沿所述镀膜腔的进出口方向间隔分布，各所述热丝在所述镀膜腔内水平地延伸，各所述热丝的至少部分沿与所述镀膜腔的进出口方向的相交的方向延伸，所述热丝的沿与所述镀膜腔的进出口方向的相交的方向延伸的部分的长度涵盖所述镀膜对象物；保持部，保持所述热丝并使所述热丝沿长度方向可延伸，所述保持部包括多件保持件，多件所述保持件沿垂直于所述镀膜腔的进出口方向的方向间隔分布，各所述保持件分别保持各所述热丝，各保持件之间的距离为50mm以上且120mm以下。2.根据权利要求1所述的热丝装置，其特征在于，所述热丝呈直线状、U字状、S字状以及蛇形状中的至少一种形状。3.根据权利要求1所述的热丝装置，其特征在于，所述保持部...

【专利技术属性】
技术研发人员：张勇，李学文，李军阳，刘兵吉，
申请(专利权)人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：