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一种立式气相沉积炉用的加料小车，包括轨道小车及升降平台，轨道小车的两端均设置有两个举升气缸，升降平台固定连接于举升气缸的活塞杆上，升降平台上焊接有一个与沉积炉相适配的底盖，底盖的上端面上设置有一个料罐放置平台，料罐放置平台沿其周向均匀开设有...
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