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一种化学气相沉积炉的进气结构，包括沉积炉本体及混合进气腔，混合进气腔设置于沉积炉本体的一侧，混合进气腔的一端连通有数根进气管，进气管均可向混合进气腔内通入不同的气体，混合进气腔的顶部安装有一个旋转电机，旋转电机朝下设置有一个旋转轴，旋转轴上...
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