气体控制实验装置制造方法及图纸

技术编号:31874425 阅读:16 留言:0更新日期:2022-01-12 14:28
本实用新型专利技术涉及实验教学仪器技术领域,提供一种气体控制实验装置,包括控制箱,控制箱包括箱体、安装于箱体上的反应容器以及安装于箱体且连通于反应容器的尾气处理装置,尾气处理装置包括连接于抽气装置的输出端及反应装置输出端的过滤装置。通过尾气处理装置对反应容器内排出的尾气及抽气装置排出的尾气进行处理,避免未反应的可燃气体直接排出引起安全事故以及反应产生的有害气体直接排出污染环境空气,危害操作人员的安全。反应结束后,向反应容器中持续冲入氮气,以彻底排出反应容器中残留的有害气体,并通过尾气处理装置,利用过滤装置,完成对尾气的净化处理。完成对尾气的净化处理。完成对尾气的净化处理。

【技术实现步骤摘要】
气体控制实验装置


[0001]本技术涉及实验教学仪器
,尤其提供一种气体控制实验装置。

技术介绍

[0002]化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition,简称CVD)是一种化工技术,该技术主要是指把含有构成薄膜元素的气态反应剂或液态反应剂的蒸气及反应所需其它气体引入反应室,在衬底表面发生化学反应生成薄膜的过程。化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术。化学气相沉积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、沉积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。
[0003]然而,针对于化学气相沉淀法的教学中,传统的利用化学气相沉积技术的设备结构对于反应后的尾气一般是直接排放,对环境空气造成污染,同时也会影响操作人员的身体健康。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是提供一种气体控制实验装置,旨在解决传统的化学气相沉积设备的反应尾气直接排放污染环境、影响操作人员健康的问题。
[0005]为实现上述目的,本技术采用的技术方案是:
[0006]本技术提供了一种气体控制实验装置,包括控制箱,控制箱包括箱体、安装于箱体上的反应容器、安装于箱体且连通于反应容器的抽气装置以及安装于箱体且分别连接于抽气装置和反应容器的尾气处理装置,尾气处理装置包括分别连接于抽气装置的输出端和反应容器的末端的过滤装置。
[0007]本技术的有益效果:本技术提供的气体控制实验装置,通过尾气处理装置对反应容器内排出的尾气进行处理,避免直接排出而污染环境空气以及对保障操作人员的安全。在反应结束后,向反应容器中持续冲入氮气,以彻底排出反应容器中残留的有害气体,并通过尾气处理装置的过滤装置,完成对尾气的净化处理。
[0008]在一个实施例中,箱体的底部具有用于放置抽气装置的镂空部,抽气装置设于箱体内且穿设于镂空部,以减少抽气装置工作时震动对反应的影响。
[0009]通过采用上述的技术方案,在箱体的底部设置镂空部,抽气装置可置于箱体内并穿过镂空部直接放置于箱体外的地面上,从而抽气装置在使用时产生的抖动不会传递到箱体上,以消除对控制箱的震动,保证生产实验教学的正常进行。
[0010]在一个实施例中,气体控制实验装置还包括安装于箱体的供气装置,控制箱还包括安装于箱体内的气体流量控制及预混机构,供气装置连接于气体流量控制及预混机构的输入端,气体流量控制及预混机构的输出端连接于反应容器。
[0011]通过采用上述的技术方案,利用供气装置向控制箱通入气体,气体进入控制箱的箱体内的气体流量控制及预混机构,利用气体流量控制及预混机构对通入的气体流量进行精确的控制,且通过气体流量控制及预混机构对通入的气体进行混合,再将混合后的气体
通入反应容器中进行反应即可,控制箱的结构简单,操作便捷。
[0012]在一个实施例中,供气装置包括若干的供气管,各供气管穿设于箱体且连通于气体流量控制及预混机构的输入端。
[0013]通过采用上述的技术方案,供气装置使用若干供气管,利用不同的供气管来分别供应不同的气体,以便于对不同的气体进行定量控制,便于操作。
[0014]在一个实施例中,箱体的顶部安装有可拆卸的顶板,箱体的底部设有万向轮。
[0015]通过采用上述的技术方案,在箱体的顶部设有可拆卸的顶板,从而可便于随时将顶板进行拆装以观察内部,方便教学或对内部检修工作。在箱体的底部设置万向轮,从而箱体可便于移动。
[0016]在一个实施例中,控制箱还包括滑动安装于箱体顶部的升降支撑设备,升降支撑设备的升降端连接于反应容器。
[0017]通过采用上述的技术方案,通过控制升降支撑设备即可控制反应容器进行上下高度调整操作,以便于对不同的操作人员进行调整高度,便于针对不同人员的教学使用,便于使用及教学观察。同时,升降支撑设备滑动安装于箱体顶部,从而升降支撑设备可在箱体顶部进行滑动以实现横向调整。
[0018]在一个实施例中,升降支撑设备包括间隔设于箱体顶部的至少两个升降装置,各升降装置的输出端连接于反应容器。
[0019]通过采用上述的技术方案,升降支撑设备采用升降装置,利用至少两个升降装置来支撑反应容器,以提高反应容器的稳定性,升降装置的输出端连接于反应容器,利用升降装置将反应容器升降为适应操作人员的高度,有效的提高了使用的便捷性,便于教学使用。
[0020]在一个实施例中,升降装置包括滑动安装于箱体顶部的安装架以及旋接于安装架的升降螺杆,升降螺杆连接于反应容器。
[0021]通过采用上述的技术方案,升降装置采用安装架与升降螺杆的配合,升降螺杆连接于反应容器,通过旋转升降螺杆,升降螺杆在安装架上螺旋上升或螺旋下降,从而对反应容器的高度进行调节。通过旋转升降螺杆进行调节高度,精度更高,更便于精确调节。
[0022]在一个实施例中,升降装置包括滑动安装于箱体顶部的升降杆,升降杆的活塞连接于反应容器。
[0023]通过采用上述的技术方案,利用升降杆作为升降装置,将升降杆的一端滑动安装在箱体的顶部以实现横向调整,升降杆的活塞朝上并连接于反应容器,启动升降杆即可控制其活塞进行上下移动,从而对连接于活塞的反应容器进行上下的高度调节,利用升降杆调节高度的方式更加便捷,仅需使用升降杆的开关控制即可,且响应更加迅速。
[0024]在一个实施例中,升降装置包括滑动安装于箱体顶部的剪叉式升降台,剪叉式升降台的台面连接于反应容器。
[0025]通过采用上述的技术方案,利用剪叉式升降台作为升降装置,剪叉式升降台的升降过程更加平稳,从而在将反应容器连接在剪叉式升降台的台面时,通过控制剪叉式升降台的台面进行升降以实现调整反应容器的高度,且反应容器在调节高度时移动更加平稳。
附图说明
[0026]为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案,下面将对实施例或现有技术
描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0027]图1为本技术实施例提供的气体控制实验装置的结构示意图;
[0028]图2为本技术实施例提供的一种气体控制实验装置的侧视图;
[0029]图3为本技术实施例提供的另一种气体控制实验装置的侧视图;
[0030]图4为本技术实施例提供的另一种气体控制实验装置的侧视图。
[0031]其中,图中各附图标记:
[0032]气体控制实验装置100,控制箱10,万向轮101,箱体11,镂空部111,气体流量控制及预混机构12,供气装置20,供气管21,反应容器30,升降支撑设备31,安装架311,升降螺杆312,升降杆313,剪叉式升降台314,反应容器30,加热设备32,尾气处理装置40,抽气装置41,过滤装置42。
具体实施方式
[0033]下面详细描述本技术的实施例,所本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气体控制实验装置,其特征在于:包括控制箱,所述控制箱包括箱体、安装于所述箱体上的反应容器、安装于所述箱体且连通于所述反应容器的抽气装置以及安装于所述箱体且分别连接于所述抽气装置和所述反应容器的尾气处理装置,所述尾气处理装置包括分别连接于所述抽气装置的输出端和所述反应容器的末端的过滤装置。2.根据权利要求1所述的气体控制实验装置,其特征在于:所述箱体的底部具有用于放置所述抽气装置的镂空部,所述抽气装置设于所述箱体内且穿设于所述镂空部。3.根据权利要求1所述的气体控制实验装置,其特征在于:所述气体控制实验装置还包括安装于所述箱体的供气装置,所述控制箱还包括安装于所述箱体内的气体流量控制及预混机构,所述供气装置连接于所述气体流量控制及预混机构的输入端,所述气体流量控制及预混机构的输出端连接于所述反应容器。4.根据权利要求3所述的气体控制实验装置,其特征在于:所述供气装置包括若干的供气管,各所述供气管穿设于所述箱体且连通于所述气体流量控制及预混机构的输入端。5.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员:况婷柯丁宁宋琳琳
申请(专利权)人:哈尔滨工业大学深圳
类型:新型
国别省市:

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