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一种新型气相沉积炉加热场，包括隔热炉体、隔热炉盖及石墨加热器，石墨加热器设置于隔热炉体内，石墨加热器包括上石墨极板、下石墨极板及石墨连接杆，上石墨极板及下石墨极板均为弧形结构，下石墨极板有数个，上石墨极板的个数为下石墨极板的两倍，数个下石墨...
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