薄膜元件制造方法、薄膜晶体管电路板、有源矩阵型显示装置制造方法及图纸

一种薄膜元件的制造方法、薄膜晶体管电路基板、有源矩阵型显示装置，通过使所述芯片（１４）为矩形、元件芯片（１４）的短边与第二基板（２１）弯曲的方向一致，在以可弯曲的材料形成第二基板（２１）和布线，获得可弯曲的电子电路、薄膜晶体管电路、有源矩阵型显示装置时，不使元件芯片（１４）从第二基板（２１）剥离或元件芯片（１４）断裂。所述电子电路是在第一基板上形成功能元件，在第二基板上形成布线，从第一基板剥离包含一个以上功能元件的元件芯片（１４），复制到第二基板（２１）上，把第二基板（２１）弯曲使用的电子电路，所述薄膜晶体管电路是在所述电子电路中，功能元件为薄膜晶体管的薄膜晶体管。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及应用了功能元件等薄膜元件的基板间复制技术的薄膜元件的制造方法、薄膜晶体管电路板、具有它的有源矩阵型显示装置、电光装置和电子仪器。
技术介绍
在具有功能元件例如薄膜晶体管或有机场致发光元件、该功能元件间的布线或支撑基板的电子电路中，常常功能元件是全体的一部分，此外是布线或支撑基板。当把与功能元件和布线或支撑基板作为一体，经过同一制造工艺制造该电子电路时，需要用于制造高功能的功能元件的高度复杂的制造工艺，所以一般制造成本变为高额。可是，只为了制造布线或支撑基板，不需要高度复杂的制造工艺，制造成本是廉价的。若能够做到分别制造功能元件、布线或支撑基板后只在必要的部分配置功能元件，则作为全体来平均，可减少该电子电路的制造成本。因此，开发了在第一基板上形成功能元件，在第二基板上形成布线，从第一基板剥离包含一个以上功能元件的元件芯片，复制到第二基板上的电子电路；在该电子电路中，功能元件为薄膜晶体管的薄膜晶体管电路；在该薄膜晶体管电路中，把薄膜晶体管作为有源矩阵元件使用的有源矩阵型显示装置。根据该方法，能够只在必要的部分配置功能元件，所以如果作为全体平均，能减少该电子电路或薄膜晶体本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种薄膜元件的制造方法，包含把具有形成在第一基板上的多个功能元件中的至少一个的元件芯片复制到具有可弯曲性的第二基板上的工序，其特征在于：所述元件芯片的外形是矩形；所述元件芯片的短边和所述第二基板弯曲的方向一致。

【技术特征摘要】
JP 2003-1-28 2003-0191261.一种薄膜元件的制造方法，包含把具有形成在第一基板上的多个功能元件中的至少一个的元件芯片复制到具有可弯曲性的第二基板上的工序，其特征在于所述元件芯片的外形是矩形；所述元件芯片的短边和所述第二基板弯曲的方向一致。2.根据权利要求1所述的薄膜元...

【专利技术属性】
技术研发人员：木村睦，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]