根据包含位于阳极（２３）和阴极（５０）之间的发光层（６０）的有机电致发光装置的制造方法，电子传输层形成材料在液相过程中被引入以形成电子传输层。由指定成分如碱金属、碱土金属及稀土金属的卤化物（如ＬｉＦ）或氧化物构成的第一种材料被引入有机库层（２２１）的开口（２２１ａ）中从而在蓝光发光层上形成电子传输层（６５Ｂ）来实现蓝光的发射；由有机金属络合物（如β－二酮络合物）构成的，一般被表示为具有一中心原子Ｍ（如Ｃａ）和一配体Ａ（如乙酰丙酮（ａｃａｃ））的化学分子式ＭＡ↓［ｎ］的第二种材料被引入有机库层的开口内从而在红光及绿光发光层上形成电子传输层（６５ＲＧ）以实现红光和绿光的发射。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及有机电致发光(EL)装置的制造方法，及使用该有机电致发光装置的电子装置。本申请要求日本专利申请第2003-15102号及日本专利申请第2003-308968号的优先权，其内容结合于此作为参考。
技术介绍
总体来说，适用于有机电致发光装置的有机电致发光(EL)元件具有这样的结构，在其中如叠层排列在阳极和阴极(或者正极和负极)之间的薄膜般设置有机发光材料，其中由两电极注入的电子和空穴在发光层再次结合，因此引起能量激发并发光。该有机电致发光装置在电极与发光层之间具有相对高的电荷注入势垒。因此，他们通常使用包括作为阳极缓冲层的空穴传输层(或空穴注入层)及作为阴极缓冲层的电子传输层(或电子注入层)的层压结构。在这种层压结构中，电子传输层由氟化锂(LiF)或氧化镁(MgO)具体构成，因此有可能形成一种低电压驱动的有机电致发光装置。例如在Applied Physics Letters，Vol.70(1997)的152页上所披露的。目前，用于电致发光装置的有机发光材料主要分为两组，也即，一个低分子组和一个高分子(或聚合物)组。低分子有机发光材料通常用于如真空蒸镀的气相过程以形成之后用掩膜板形成图案的薄膜。例如在Applied Physics Letters，Vol.51(1997)的34页所披露的。聚合物组的有机发光材料可以在溶剂中被溶解，从而可以在涂敷方法(或涂层法)中形成后来采用如喷墨法的液滴释放方法形成图案的薄膜。例如在Applied Physics Letters，Vol.71(1997)的34页所披露的。采用所述液滴释放的方法形成的一种有机电致发光装置的制造方法是已知的，例如日本专利申请公开第1998-12377号中所披露的。在涂敷方法中用来形成薄膜的材料是根据作为阳极缓冲层的空穴传输层进行开发的，从而可以在一气相过程中形成薄膜。这在Nature Vol.357(1992)的477页的文章中有所披露。所述真空蒸镀法通常用于形成作为阴极缓冲层的电子传输层的薄膜。但是，这可能会由于能量消耗和材料供给而引起制造成本的提高。另外，这有可能引起干扰扩大有机电致发光装置衬底尺寸的不需要因素，其将被实际采用并结合到未来的显示器中。当有机电致发光装置通过所述气相过程形成时，有机物质基础层或衬底必须暴露在高温环境下；因此，在指定材料具有很差的热阻的情况下，可能发生很多问题如发光特性的变差和衬底变形。当电子传输层在所述液相过程中形成于发光层上时，作为基础层的发光层必须能够被某些实际所使用的溶剂溶解。有很多在所述液相过程中形成阴极缓冲层(作为电子传输层)的实例。例如，日本专利申请公开第2000-252076披露了该种方法，其中通过湿法并采用可以被溶解或被分散的具有电子传输能力(其中每一个重复单元包括一至五烷基或烷氧基成分)的聚合物形成层。另外，日本专利申请公开第2000-252079中披露了通过湿法采用可以溶解或分散四氢铝酸盐的溶液形成电子注入层的方法。在液相过程中形成电子传输层的传统例子没有能够披露在液相过程中采用可以在传统气相过程中产生好结果的碱金属和碱土金属形成电子传输层以及稀土金属卤化物(如LiF)和氧化物。
技术实现思路
本专利技术的一个目的是提供一种有机电致发光装置的制造方法，其中指定层是在液相过程中采用在传统气相过程中能产生好结果的碱金属和碱土金属以及稀土金属卤化物(如LiF)和氧化物形成的。本专利技术的另一个目的是提供一种使用前述的有机电致发光装置的电子装置。一种有机电致发光装置基本包括设置在彼此相对设置的一阳极和一阴极之间的发光层。根据本专利技术的制造方法，电子传输层形成材料在液相过程被引入从而形成在设置于发光层与阴极之间的电子传输层。特别是，两种电子传输层形成材料通过液滴释放的方法被引入，通过这种方法相应的液滴可以有选择的被定位和释放于设置于像素电极或其以上的有机库层开口内的指定位置。也即，由从碱金属、碱土金属和稀土金属的卤化物(如LiF)和氧化物中选出的指定成分构成的第一种材料被引入有机库层的开口从而在蓝光发光层上形成电子传输层实现蓝光发射；由有机金属络合物(如β-二酮络合物)构成的一般被表示为化学式MAn(其中M代表一中心原子(如Ca)；A代表一配体(如乙酰丙酮(acac)；以及n代表中心原子M的原子价)的第二种材料被引入有机库层的开口从而在红光和绿光的发光层上形成电子传输层实现红光和绿光的发射。前述有机电致发光装置的制造方法包括很多步骤；具体而言，一多晶硅层通过一表面保护层在衬底上形成并且通过形成图案形成被一栅极绝缘层覆盖的硅层，并且在其上形成源极区和漏极区，同时栅极绝缘层的全部表面被一导电层所覆盖；栅电极和阴极电源线一起通过图案形成；离子注入通过采用掩膜来将杂质搀入所述硅层；所述衬底的全部表面被第一绝缘夹层所覆盖，通过光刻对其形成图案从而在指定位置形成对应于源电极和漏电极的接触孔；所述第一绝缘夹层被一导电层所覆盖，之后会使用掩膜对其形成图案以形成源电极和漏电极；所述第一绝缘夹层被一具有通过刻蚀形成的与漏电极相对应的接触孔的第二绝缘夹层所覆盖；所述的衬底的全部表面被一透明的导电层所覆盖，之后对其形成图案以形成像素电极和虚拟图案；所述像素电极和虚拟图案被一层亲液控制层所覆盖；通过在所述亲液控制层的指定位置进行光刻或刻蚀形成有机库层，并且之后对其进行等离子处理；通过进行液滴释放、干燥和加热形成空穴传输层；通过在所述有机库层开口内部进行液滴释放、干燥和加热形成发光层；通过在所述有机库层开口内部进行液滴释放、干燥和加热形成电子传输层；通过采用铝进行蒸镀或溅射形成阴极，且形成一封装衬底从而封装在所述衬底上的元件和成分；并且所述封装衬底与所述衬底之间的空间最终被一位于所述惰性气体环境中的如热硬化树脂和紫外硬化树脂的封装树脂所封装。附图说明本专利技术的这些和其他目的、方面及实施方式将在以下结合附图进行详细介绍，其中图1是显示了根据本专利技术一个优选实施方式的一有机电致发光装置布线结构的电路图；图2是显示了该有机电致发光装置的线路图及结构的平面图；图3是沿图2中线A-B的横截面图；图4是沿图2中线C-D的横截面图； 图5为图3中剖面结构主要部分的放大图；图6A为根据本专利技术优选实施方式的有机电致发光装置制造方法第一步的横截面图，其中一多晶硅层通过一表面保护层形成于衬底之上；图6B为该制造方法第二步的横截面图，其中对所述多晶硅层形成图案以形成一被栅极绝缘层所覆盖的硅层；图6C为该制造方法第三步的横截面图，其中在所述硅层上形成了源极区和漏极区，并且在所述栅极绝缘层全部表面上覆盖了一导电层；图6D为该制造方法第四步的横截面图，其中通过形成图案来形成栅电极同时形成阴极电源线；图6E为该制造方法第五步的横截面图，其中通过采用掩膜进行离子注入将杂质掺入所述硅层；图6F为该制造方法第六步的横截面图，其中形成第一绝缘夹层以覆盖所述衬底的全部表面并通过光刻形成图案，从而在指定位置形成与源电极和漏电极相对应的接触孔；图6G为该制造方法第七步的横截面图，其中形成一导电层以覆盖所述第一绝缘夹层；图6H为该制造方法第八步的横截面图，其中通过采用掩膜对所述导电层形成图案以形成源电极和漏电极；图6I为该制造方法第九步的横截面图，其中形成第二绝缘夹本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种包含位于阳极和阴极之间的发光层的有机电致发光装置的制造方法，包括以下步骤： 在一液相过程中在所述发光层和所述阴极之间引入至少一种电子传输层形成材料；以及 在所述发光层上形成电子传输层。
【技术特征摘要】
JP 2003-1-23 2003-015102;JP 2003-9-1 2003-3089681.一种包含位于阳极和阴极之间的发光层的有机电致发光装置的制造方法，包括以下步骤在一液相过程中在所述发光层和所述阴极之间引入至少一种电子传输层形成材料；以及在所述发光层上形成电子传输层。2.根据权利要求1所述的有机电致发光装置的制造方法，其中，所述电子传输层形成材料包括由碱金属、碱土金属及稀土金属的卤化物或氧化物中选出的一种指定成分。3.根据权利要求1所述的有机电致发光装置的制造方法，其中，所述电子传输层形成材料由一种可以分散LiF微粒的分散溶液构成。4.根据权利要求1所述的有机电致发光装置的制造方法，其中，所述电子传输层形成材料由一种水溶液构成，在该水溶液中由碱金属、碱土金属及稀土金属的卤化物或氧化物中选出的一种指定成分可以被水溶解。5.根据权利要求1至4中任一所述的有机电致发光装置的制造方法，其中，所述发光层实现蓝光发射。6.根据权利要求1所述的有机电致发光装置的制造方法，其中，所述电子传输层形成材料由一种有机金属络合物构成。7.根据权利要求6所述的有机电致发光装置的制造方法，其中，所述有机金属络合物是β-二酮络合物。8.根据权利要求6或7所述的有机电致发光装置的制造方法，其中，所述发光层实现绿光和/或红光的发射。9.根据权利要求1所述的有机电致发光装置的制造方法，其中，所述液相过程对应于一液滴释放的过程。10.根据权利要求1所述的有机电致发光装置的制造方法，其中，所述电子传输层厚度范围从0.1nm到20nm。11.一种有机电致发光装置的制造方法，包括以下步骤形成第一、第二、和第三阳极；在第一阳极上形成蓝光发光层；在第二阳极上形成绿光发光层；在第三阳极上形成红光发光层；在一液相过程中引入包含由碱金属、碱土金属及稀土金属卤化物或氧化物中选出的一种指定成分的第一电子传输层形成材料，从而在所述蓝光发光层上形成第一电子传输层；以及在所述液相过程中引入包含一种有机金属络合物的第二电子传输层形...
【专利技术属性】
技术研发人员：高岛猛，武井周一，森井克行，保刈宏文，牧浦理惠，关俊一，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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