【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及;更详细地讲,涉及使用一张掩膜和进行一次曝光工序聚焦形成凹凸,能同时形成接触孔和凹凸形状的微透镜的。
技术介绍
通常通过各种方式区分液晶显示器,特别地根据光源的位置区分成反射型液晶显示器和透过型液晶显示器。再有,反射型液晶显示器本体没有光源而利用外部入射光作为光源显示图像,因此,使用反射效率高的金属作为反射板或者像素电极。与此相反,透过型液晶显示器在面板后面设置后照光,利用光源显示图像;为了提高后照光的透过率使用透过度高的ITO(Indium Tin Oxide)或者IZO(Indium Zinc Oxide)等透明氧化物作为像素电极。另外,也有同时具有反射型和透过型功能的反射透过型液晶显示器,与所述透过型液晶显示器相比,反射型或者反射透过型液晶显示器具有以下优点以低电力驱动,不需要后照光装置(反射透过型时需要),不仅薄型轻量而且在室外显示图像清晰,利于用在移动式设备上。但是所述反射型或者反射透过型液晶显示器,尽管有液晶面板技术市场的要求但几乎还不能实现实用化,原因是其在亮度、对比度、响应速度等方面还不能满足市场的要求。一般地,在反射透过型液晶显 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种反射和透过复合型薄膜晶体管液晶显示器的制造方法,其特征在于,包括形成栅绝缘膜工序,其在绝缘基板上形成栅极之后,再在包括所述栅极的绝缘基板上形成栅绝缘膜;形成源/漏极电极工序,其在所述栅绝缘膜的上部形成有源层和电阻接触层之后,再在包括所述有源层和电阻接触层的绝缘基板上与所述电阻接触层重叠地形成源/漏电极;形成树脂层工序,其在包括所述源/漏电极的绝缘基板上形成保护膜之后,再在所述保护膜上形成树脂层;形成接触孔和凹凸部的工序,其在所述树脂层上用一张掩膜以相同曝光量进行一次曝光,在所述树脂层的一侧上形成接触孔,而在所述树脂层的另一侧上形成具有预定角度的凹凸的凹凸部;形成反射板工序,其在包括所述接触孔和凹凸部的形成物的整个上部形成反射板。2.如权利要求1所述的反射和透过复合型薄膜晶体管液晶显示器的制造方法,其特征在于,还包括除去残留的树脂层工序,其在所述曝光工序后进行后面曝光而除去在所述接触孔内残留的树脂层;3.如权利要求1所述的反射和透过复合型薄膜晶体管液晶显示器的制造方法,其特征在于,还包括形成透明电极的工序,其在所述树脂层形成前,在除去一部分所述保护膜之后露出的所述漏电极和绝缘基板上形成透明电极。4.如权利要求1所述的反射和透过复合型薄膜晶体管液晶显示器的制造方法,其特征在于,形成的所述树脂层的厚度是1~4μm或者2.5~3μm。5.如权利要求1所述的反射和透过复合型薄膜晶体管液晶显示器的制造方法,其特征在于,所述凹凸角度具有最高值4°~6°的高斯特性分布。6.如权利要求2所述的反射和透过复合型薄膜晶体管液晶显示器的制造方法,其特征在于,用350~3500mJ的曝光量进行所述后面曝光。7.如权利要求1所述的反射和透过复合型薄膜晶体管液晶显示器的制造方法,其特征在于,所述接触孔部分具有高于凹凸部的台阶。8.如权利要求7所述的反射和透过复合型薄膜晶体管液晶显示器的制造方法,其特征在于,在所述接触孔部分的下部形成三重层的源电极和栅电极的构造,在所述凹凸部的下部形成单层的构造。9.如权利要求7所述的反射和透过复合型薄膜晶体管液晶显示器的制造方法,其特征在于,所述台阶高度最大是1μm。10.如权利要求7所述的反射和透过复合型薄膜晶体管液晶显示器的制造方法,...
【专利技术属性】
技术研发人员:赵珍熙,林承武,金贤镇,孙暻锡,
申请(专利权)人:京东方显示器科技公司,
类型:发明
国别省市:
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