通过热氧化作用在硅基底的一个主表面上形成硅氧化物膜，之后，用ＣＶＤ在硅氧化物膜上形成硅氮化物膜。选择性地干式蚀刻硅氧化物膜和硅氮化物膜的叠层，以形成掩模开口２２并留下由叠层被留下的区域所组成的蚀刻掩模。通过利用蚀刻掩模用例如ＴＭＡＨ的碱性蚀刻剂选择性并且各向异性地蚀刻基底，以形成基底开口。通过设定硅氧化物膜的厚度与硅氮化物膜的厚度的比例为１．２５或者更大，优选地是１．６０或者更大，则可能避免开口内壁蚀刻形状的变形和蚀刻掩模中的裂纹。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及使用碱性蚀刻剂选择性并各向异性地蚀刻硅基底的湿式蚀刻。
技术介绍
已知对于这种湿式蚀刻，采用硅氧化物膜和硅氮化物膜的叠层(下文中称为硅氮化物/硅氧化物叠层)作为蚀刻掩模，以防止碱性蚀刻剂的渗透(例如，参见日本专利公告第2000-114248号)。根据本专利技术人的研究，已经发现在某些情况下，当通过形成透过硅氮化物/硅氧化物叠层的矩形掩模开口实施湿式蚀刻的时候，被蚀刻的硅区不是矩形的或者在硅氮化物/硅氧化物叠层中形成裂纹。图9和图10示出与专利技术者的研究相关的硅的湿式蚀刻的主要工艺。在如图9所示的工艺中，在由单晶硅制成的硅基底1的一个主表面上形成蚀刻掩模5。在基底1的另一个主表面上形成蚀刻阻止膜2。在形成蚀刻掩模5时，通过热氧化作用在基底表面形成硅氧化物膜3之后，用化学气相沉积(CVD)在硅氧化物膜3上沉积形成硅氮化物膜4。膜3和4的硅氮化物/硅氧化物叠层选择性地被干式蚀刻、以便形成矩形掩模开口4A、以形成由被留下的硅氮化物/硅氧化物叠层组成的蚀刻掩模5。例如，通过热氧化作用形成由硅氧化物膜组成的蚀刻阻止膜2。如果蚀刻阻止膜用作隔膜或者类似结构，就可以采用各种结构的层，比如通过CVD在硅氧化物膜上沉积硅氮化物层。在如图10所示的工艺中，通过使用具有掩模开口4A的蚀刻掩模5，利用碱蚀刻剂如四甲基氢氧化铵(TMAH)，基底1被选择性并各向异性地蚀刻到蚀刻阻止膜2的表面，从而形成基底开口1A。图11是如图10所示的基底的顶部视图，剖视10是沿着图11所示的X-X′所取得的。由于蚀刻掩模5的膜应力，掩模开口4A的内壁5a以内凸起的形状弯曲，或者由于施加到基底1上的膜应力，基底开口1A的内壁1a以内凸起的形状弯曲，从而引起形状异常B。当膜应力很大的时候，在蚀刻掩模5中形成裂缝(特别是硅氮化物膜4)从而引起裂纹异常A。
技术实现思路
本专利技术的一个目的是提供能够避免上述的异常A和B的新型的湿式蚀刻。根据本专利技术的一个方面，提供了一种湿式蚀刻方法，包括以下步骤在形成在硅基底的一个主表面上的硅氧化物膜上形成硅氮化物膜，硅氧化物膜的厚度TO和硅氮化物膜的厚度TN设定为具有1.25或者更大的膜厚比TO/TN；选择性地蚀刻硅氧化物膜和硅氮化物膜的叠层以形成由叠层被留下的区域组成的蚀刻掩模；以及通过使用蚀刻掩模用碱性蚀刻剂选择性并各向异性地蚀刻硅基底。通过将叠层中硅氧化物膜的厚度TO比上硅氮化物膜的厚度TN的膜厚比TO/TN设定为1.25或者更大，叠层的膜应力平衡变得良好，从而避免形状异常和裂纹异常。特别优选的是膜厚比TO/TN设定在1.60到3.21的范围内。根据本专利技术的另一个方面，提供了一种湿式蚀刻方法，包括步骤在形成在硅基底的一个主表面上的硅氧化物膜上形成硅氮化物膜；选择性地蚀刻硅氧化物膜和硅氮化物膜的叠层从而形成通过部分叠层区域的掩模开口和形成由叠层被留下的区域组成的蚀刻掩模；在形成蚀刻掩模之后或者之前，部分地在硅氮化物膜中形成膜应力释放槽，膜应力释放槽释放施加到掩模开口的膜应力；并且选择性并且各向异性地利用蚀刻掩模用碱性蚀刻剂蚀刻硅基底。当膜应力释放槽在构成蚀刻掩模的硅氮化物/硅氧化物叠层中的硅氮化物膜中部分地形成的时候，能够释放施加到掩模开口和硅基底上的膜应力，从而避免形状异常和裂纹异常。特别优选的是环绕着掩模开口形成一个或者更多个的膜应力释放膜。如上所述，当用碱性蚀刻剂选择性并且各向异性地蚀刻硅基底的时候，通过将叠层中硅氧化物膜的厚度TO比上硅氮化物膜的厚度TN的膜厚比TO/TN设置为1.25或者更大，或者通过在硅氮化物层中部分地形成膜应力释放槽，有可能抑制由于膜应力引起的蚀刻形状的变形或者在蚀刻掩模中的裂纹。附图说明图1为一剖视图，示出根据本专利技术实施例，当实施湿式蚀刻的时候使用的形成蚀刻掩模材料层的工艺；图2为一剖视图，示出紧跟着如图1所示的工艺的膜应力释放槽形成工艺；图3为一剖视图，示出紧跟着如图2所示的工艺的蚀刻掩模形成工艺；图4为一剖视图，示出紧跟着如图3所示的工艺的蚀刻工艺；图5为如图4所示的基底的俯视图；图6为根据第一变型例的膜应力释放槽的俯视图；图7为根据第二变型例的膜应力释放槽的俯视图；图8为根据第三变型例的膜应力释放槽的俯视图；图9为一剖视图，示出了相关于专利技术人的研究的蚀刻掩模形成工艺；图10为一剖视图，示出了紧跟着如图9所示的工艺的蚀刻工艺；图11为如图10所示的基底的俯视图。具体实施例图1到图4为一剖视图，示出了根据本专利技术的实施例湿式蚀刻的主要工艺。图1所示的工艺中，在由单晶硅制成的硅基底10的一个主表面上，形成蚀刻掩模材料层，其是硅氧化物(SiO2)膜14和硅氮化物(SiN)膜16的叠层。在基底10的另一个主表面上，形成由例如SiN构成的蚀刻阻止膜12，并在其两者之间插入缓冲氧化物膜。例如，对于6英寸晶片该硅基底具有450至600微米的厚度，对于8英寸晶片该硅基底具有600至850微米的厚度。在形成蚀刻掩模材料层的时候，形成SiO2膜14之后，通过热氧化作用，利用低压热CVD在SiO2膜14上沉积SiN膜16。用于SiO2膜14的热氧化工艺的条件可以是，例如 气流速率N2/O2＝18/10[以升/分钟为单位]基底温度1025[摄氏度]用于SiN膜16的低压热CVD工艺的条件可以是，例如气流速率SiH2Cl2/NH3(或者NH3+N2)＝0.05到6/0.5到6[升/分钟]反应室压力60[Pa]基底温度700到800[摄氏度]在如图2所示的工艺中，利用抗蚀剂层18作为掩模实施选择性干式蚀刻工艺，从而形成在SiN膜16中具有如图5所示的平面图形的膜应力释放槽16A。如图5所示的槽16A的平面图形示出整个图形的大约一半，整个图形是环绕预定矩形区的网格图形。用于平行板型等离子蚀刻的干式蚀刻工艺的条件可以是，例如气体SF6/He反应室压力大约0.50[托]用于等离子垂直式(down-flow)蚀刻的干式蚀刻工艺的条件可以是，例如气体SF6/He反应室压力大约0.20[托]干式蚀刻工艺之后，用公知的方法移除抗蚀剂层18。在如图3所示的工艺中，通过利用抗蚀剂层20作为掩模，选择性地干式蚀刻SiO2膜14和SiN膜16的叠层(硅氮化物/硅氧化物叠层)，从而形成具有如图5所示的矩形平面图形的掩模开口22，并留下由膜14和16的未蚀刻叠层构成的蚀刻掩模24。掩模开口22具有相应于预期的隔膜形状。例如，掩模开口22具有4边，平行于那些被槽16A环绕的矩形区。用于平行板型等离子蚀刻的干式蚀刻工艺的条件可以是，例如气体CF4/O2反应室压力大约1.0[托]用于磁控反应离子蚀刻(RIE)的干式蚀刻工艺的条件可以是，例如气体CF4/CHF3/N2反应室压力大约0.25[托]用于窄间隙电极RIE的干式蚀刻工艺的条件可以是，例如气体CF4/CHF3/He 反应室压力大约0.15[托]干式蚀刻工艺之后，用公知的方法移除抗蚀剂层20。可以优先于如图2所示的选择性的干式蚀刻工艺施加如图3所示的选择性的干式蚀刻工艺。在如图4所示的工艺中，通过利用蚀刻掩模24，用碱性蚀刻剂选择性并且各向异性地蚀刻基底10，从而形成基底开口10A。基底开口10A可以一直到蚀刻阻止膜12或者可以在蚀刻阻止膜12上留下具有用虚线10S表本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种湿式蚀刻方法，包括以下步骤： 在一硅基底的一主表面上形成一硅氧化物膜，然后在该硅氧化物膜上形成一硅氮化物膜，所述硅氧化物膜的厚度Ｔ↓［Ｏ］和所述硅氮化物膜的厚度Ｔ↓［Ｎ］设定为具有１．２５或更大的膜厚比Ｔ↓［Ｏ］／Ｔ↓［Ｎ］； 选择性地蚀刻所述硅氧化物膜和硅氮化物膜的叠层，以由所述叠层的剩下的区域形成一蚀刻掩模；以及 采用所述蚀刻掩模，以碱性蚀刻剂选择性并各向异性地蚀刻所述硅基底。
【技术特征摘要】
JP 2003-2-10 032196/031.一种湿式蚀刻方法，包括以下步骤在一硅基底的一主表面上形成一硅氧化物膜，然后在该硅氧化物膜上形成一硅氮化物膜，所述硅氧化物膜的厚度TO和所述硅氮化物膜的厚度TN设定为具有1.25或更大的膜厚比TO/TN；选择性地蚀刻所述硅氧化物膜和硅氮化物膜的叠层，以由所述叠层的剩下的区域形成一蚀刻掩模；以及采用所述蚀刻掩模，以碱性蚀刻剂选择性并各向异性地蚀刻所述硅基底。2.如权利要求1所述的湿式蚀刻方法，其中所述膜厚比TO/TN设定在1.60到3.21...
【专利技术属性】
技术研发人员：青岛知保，
申请(专利权)人：雅马哈株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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