本实用新型专利技术公开了一种半导体芯片加工的显影机用显影液运输装置，包括底座、龙门架、升降组件、气缸和套筒，所述底座的表面开设有置物槽，且底座的底部设置有滚轮，所述龙门架的一侧固定有滑块，且滑块套接在导向杆的表面，用于带动龙门架调整高度位置的所述升降组件设置在底座的表面另一侧，所述气缸固定在龙门架的顶部，且气缸的底部固定有固定块，所述套筒套接在横杆的两端，且横杆固定在龙门架的内侧。该半导体芯片加工的显影机用显影液运输装置设置有气缸和套筒，通过气缸带动固定块上升，使固定块通过其两端的连接杆带动套筒在横杆表面相向运动，使得能够带动套筒底部的夹块对储罐的两侧进行夹持固定，从而提高在运输过程中储罐的稳定性。程中储罐的稳定性。程中储罐的稳定性。
【技术实现步骤摘要】
一种半导体芯片加工的显影机用显影液运输装置
[0001]本技术涉及半导体芯片加工相关
，具体为一种半导体芯片加工的显影机用显影液运输装置。
技术介绍
[0002]显影液是一种溶解由曝光造成的光刻胶的可溶解区域的一种化学溶剂，显影液是一种用水稀释的强碱溶液，早期的是氢氧化钾与水的混合物，但这两种都包含了可动离子玷污，最普通的是四甲基氢氧化铵，在显影液加工过程中，需要用到运输装置来对装有显影液的储罐进行运输，而现有的运输装置通常为人工手扶储罐来进行运输，储罐在运输过程中的稳定性较差，容易出现侧翻和泄露的现象。
技术实现思路
[0003]本技术的目的在于提供一种半导体芯片加工的显影机用显影液运输装置，以解决上述
技术介绍
中提出的现有的运输装置容易出现侧翻和泄露的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种半导体芯片加工的显影机用显影液运输装置，包括底座、龙门架、升降组件、气缸和套筒，
[0005]所述底座的表面开设有置物槽，且底座的底部设置有滚轮，同时底座的一侧固定有固定管；
[0006]所述龙门架的一侧固定有滑块，且滑块套接在导向杆的表面，同时导向杆固定在底座的表面一侧；
[0007]用于带动龙门架调整高度位置的所述升降组件设置在底座的表面另一侧；
[0008]所述气缸固定在龙门架的顶部，且气缸的底部固定有固定块；
[0009]所述套筒套接在横杆的两端，且横杆固定在龙门架的内侧，同时套筒的底部固定有夹块。
[0010]优选的，所述升降组件包括L形固定架、手轮、丝杆和活动块，所述L形固定架固定在底座的表面另一侧，且L形固定架的顶部转动连接有手轮，所述手轮与丝杆相连接，且丝杆转动连接在L形固定架的内侧下方，所述丝杆的表面螺纹连接有活动块，且活动块与龙门架的另一侧相连接。
[0011]通过采用上述技术方案，在L形固定架、手轮、丝杆和活动块之间的相互配合下可以对龙门架的高度位置进行调节。
[0012]优选的，所述固定管的内部滑动连接有活动杆，且活动杆的外侧固定有把手，同时固定管的外侧设置有锁紧螺栓。
[0013]通过采用上述技术方案，可以对把手的高度进行调节。
[0014]优选的，所述固定块的两端转动连接有连接杆，且连接杆与套筒相连接。
[0015]通过采用上述技术方案，在气缸、固定块和连接杆之间的相互配合下可以方便对储罐进行夹持固定。
[0016]优选的，所述套筒的内壁表面设置有滚珠，且滚珠设置有多组。
[0017]通过采用上述技术方案，可以降低套筒与横杆之间的摩擦力。
[0018]优选的，所述套筒和夹块均设置有两组，且夹块的表面开设有弧形槽。
[0019]通过采用上述技术方案，可以提高对储罐的固定效果。
[0020]与现有技术相比，本技术的有益效果是：该半导体芯片加工的显影机用显影液运输装置，
[0021](1)设置有气缸和套筒，通过气缸带动固定块上升，使固定块通过其两端的连接杆带动套筒在横杆表面相向运动，使得能够带动套筒底部的夹块对储罐的两侧进行夹持固定，从而提高在运输过程中储罐的稳定性；
[0022](2)设置有丝杆和活动块，通过转动L形固定架顶部的手轮使其带动丝杆转动，使丝杆能够通过活动块以及滑块带动龙门架提升高度，使得能够根据不同储罐的尺寸来进行调节，提高其适用范围；
[0023](3)设置有活动杆和锁紧螺栓，通过拉动活动杆即可调节把手的高度位置，之后转动锁紧螺栓即可对活动杆以及把手的位置进行限位固定，使得能够根据不同身高的工作人员来进行调节，提高其功能性。
附图说明
[0024]图1为本技术正视结构示意图；
[0025]图2为本技术龙门架侧视结构示意图；
[0026]图3为本技术套筒结构示意图。
[0027]图中：1、底座，2、置物槽，3、滚轮，4、固定管，5、活动杆，6、把手，7、锁紧螺栓，8、龙门架，9、滑块，10、导向杆，11、升降组件，1101、L形固定架，1102、手轮，1103、丝杆，1104、活动块，12、气缸，13、固定块，14、连接杆，15、套筒，16、横杆，17、夹块，18、滚珠。
具体实施方式
[0028]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0029]请参阅图1
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3，本技术提供一种技术方案：一种半导体芯片加工的显影机用显影液运输装置，如图1和图2所示，底座1的表面开设有置物槽2，且底座1的底部设置有滚轮3，同时底座1的一侧固定有固定管4，龙门架8的一侧固定有滑块9，且滑块9套接在导向杆10的表面，同时导向杆10固定在底座1的表面一侧，固定管4的内部滑动连接有活动杆5，且活动杆5的外侧固定有把手6，同时固定管4的外侧设置有锁紧螺栓7，通过在固定管4内部设置有可滑动的活动杆5，使得能够根据工作人员的身高来对把手6的高度位置进行调节，之后可以通过转动固定管4外侧的锁紧螺栓7来对活动杆5进行固定，提高其功能性，方便使用。
[0030]如图1所示，用于带动龙门架8调整高度位置的升降组件11设置在底座1的表面另一侧，升降组件11包括L形固定架1101、手轮1102、丝杆1103和活动块1104，L形固定架1101固定在底座1的表面另一侧，且L形固定架1101的顶部转动连接有手轮1102，手轮1102与丝
杆1103相连接，且丝杆1103转动连接在L形固定架1101的内侧下方，丝杆1103的表面螺纹连接有活动块1104，且活动块1104与龙门架8的另一侧相连接，通过转动L形固定架1101顶部的手轮1102，使其带动丝杆1103转动，以便使丝杆1103通过与其螺纹连接的活动块1104来带动龙门架8调整高度位置，以便对不同尺寸的储罐进行夹持固定。
[0031]如图1和图2所示，气缸12固定在龙门架8的顶部，且气缸12的底部固定有固定块13，固定块13的两端转动连接有连接杆14，且连接杆14与套筒15相连接，通过龙门架8顶部的气缸12带动固定块13上升，使得能够通过固定块13两端的连接杆14带动套筒15在横杆16两端向靠近横杆16中轴线的一端滑动，以便带动套筒15底部的夹块17对储罐的两侧进行夹持固定，从而提高运输过程中的稳定性。
[0032]如图2和图3所示，套筒15套接在横杆16的两端，且横杆16固定在龙门架8的内侧，同时套筒15的底部固定有夹块17，套筒15的内壁表面设置有滚珠18，且滚珠18设置有多组，通过套筒15内壁表面的滚珠18可以在滑动时降低与横杆16之间的摩擦力，降低磨损，提高其使用寿命，套筒15和夹块17均设置有两组，且夹块17的表面开设本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种半导体芯片加工的显影机用显影液运输装置，包括底座(1)、龙门架(8)、升降组件(11)、气缸(12)和套筒(15)，其特征在于：所述底座(1)的表面开设有置物槽(2)，且底座(1)的底部设置有滚轮(3)，同时底座(1)的一侧固定有固定管(4)；所述龙门架(8)的一侧固定有滑块(9)，且滑块(9)套接在导向杆(10)的表面，同时导向杆(10)固定在底座(1)的表面一侧；用于带动龙门架(8)调整高度位置的所述升降组件(11)设置在底座(1)的表面另一侧；所述气缸(12)固定在龙门架(8)的顶部，且气缸(12)的底部固定有固定块(13)；所述套筒(15)套接在横杆(16)的两端，且横杆(16)固定在龙门架(8)的内侧，同时套筒(15)的底部固定有夹块(17)。2.根据权利要求1所述的一种半导体芯片加工的显影机用显影液运输装置，其特征在于：所述升降组件(11)包括L形固定架(1101)、手轮(1102)、丝杆(1103)和活动块(1104)，所述L形固定架(1101)固定在底座(1)的表面另一侧，且L形固定架(1101)的顶部...
【专利技术属性】
技术研发人员：傅仁宏，李波，王军，
申请(专利权)人：江苏应材微机电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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