下载一种半导体芯片加工的显影机用显影液运输装置的技术资料

文档序号:32055689

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种半导体芯片加工的显影机用显影液运输装置,包括底座、龙门架、升降组件、气缸和套筒,所述底座的表面开设有置物槽,且底座的底部设置有滚轮,所述龙门架的一侧固定有滑块,且滑块套接在导向杆的表面,用于带动龙门架调整高度位置的所述升...
该专利属于江苏应材微机电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏应材微机电科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。