一种外延层厚度均匀性生长的控制装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提出了一种外延层厚度均匀性生长的控制装置，包括主体，所述主体内设置有卤钨灯组加热器和风管，所述风管位于卤钨灯组加热器的上方，所述风管包括竖向设置的第一管道和横向设置的第二管道，所述第二管道垂直且固定设置在第一管道底部，所述第二管道左右之间的长度与卤钨灯组加热器左右之间的长度相同，所述第二管道的左右两端均开放设置，所述第二管道的底部开设有若干均匀分布的开口，相邻的两个所述开口之间间隔设置，每个所述开口均位于卤钨灯组加热器的正上方，借此，本实用新型专利技术具有能对卤钨灯组加热器进行均匀降温的优点。优点。优点。

【技术实现步骤摘要】
一种外延层厚度均匀性生长的控制装置


[0001]本技术属于外延炉设备
，特别涉及一种外延层厚度均匀性生长的控制装置。

技术介绍

[0002]目前，LED芯片以其能耗低、寿命长、污染小等优点得以迅猛发展。而LED 的生产过程一般要经过外延片制作、氮气封装、外延生长、芯片前工艺、研磨切割、点测分选、封装等主要步骤。其中外延生长决定了LED发光颜色及发光亮度，因此外延生长所使用的设备是LED生产中的核心。过去LED外延生长用MOCVD反应室内的加热器、炉体、石墨导流部件等都是相对固定的，而炉体的上端又与炉盖下表面接触。这样机械手无法进入炉室内取出外延片，每炉外延片都得开炉盖取片。过去外延片的取片工序包括：降温到60℃以下—开炉盖—人工取片—清扫取片时产生的颗粒—放片—清扫放片时产生的颗粒—合盖—升温进行下一炉外延生长，做这些工作时炉子就无法进行外延生长，这样就浪费了大量的时间，影响了炉子的产量，因此中国专利CN206494986U中提出了用于制造硅外延片的单片式外延炉的外延生长单元及应用，在主体内设置有风管为卤钨灯组加热器进行降温，但是现有技术中的风管仅能对卤钨灯组加热器的部分进行降温，导致卤钨灯组加热器整体散发的温度不一致，会造成外延生长单元中外延层厚度不均匀的问题。

技术实现思路

[0003]本技术提出一种外延层厚度均匀性生长的控制装置，解决了现有技术中的问题。
[0004]本技术的技术方案是这样实现的：一种外延层厚度均匀性生长的控制装置，包括主体，所述主体内设置有卤钨灯组加热器和风管，所述风管位于卤钨灯组加热器的上方所述风管包括竖向设置的第一管道和横向设置的第二管道，所述第二管道垂直且固定设置在第一管道底部，所述第二管道左右之间的长度与卤钨灯组加热器左右之间的长度相同，所述第二管道的左右两端均开放设置，所述第二管道的底部开设有若干均匀分布的开口，相邻的两个所述开口之间间隔设置，每个所述开口均位于卤钨灯组加热器的正上方。
[0005]在需要对设备内的卤钨灯组加热器进行降温时，风机吹出的风经过风管中的第一管道进入到第二管道中，由于第二管道的长度与卤钨灯组加热器的长度相同，因此经过第二管道吹出的风从第二管道两端吹出到卤钨灯组加热器所在的主体内，对卤钨灯组加热器进行降温，又由于第二管道底部开设有开口，因此风机吹出的气流会经过第二管道从第二管道底部的开口吹出到位于主体内的卤钨灯组加热器处，实现对卤钨灯组加热器的降温，由于第二管道的两端都开放且其底部开设有开口，因此从第二管道内吹出的风能对卤钨灯组加热器表面进行均匀的降温。
[0006]作为一种优选的实施方式，所述第二管道包括可拆卸设置的第一弧形板和第二弧形板，所述第一弧形板和第二弧形板的前后两侧分别固定连接，通过第一弧形板和第二弧
形板的设置，组成与第一管道连通的第二管道。
[0007]作为一种优选的实施方式，所述第二管道内固定设置有若干均匀分布的安装板，所述第一弧形板和第二弧形板内表面开设有与安装板相对应的凹槽，所述安装板位于凹槽内，通过安装板的设置，增强了第二管道的强度。
[0008]作为一种优选的实施方式，所述安装板上固定设置有连杆，所述连杆上转动设置有叶片，每个所述叶片位于相邻的两个所述安装板内，所述叶片的中心固定设置有轴承，所述轴承的内圈与连杆表面固定连接，实现了叶片在第二管道内转动的过程，气流经过第二管道时，叶片随着气流的进入而在第二管道内转动，使得气流流经第二管道的各个出口更加均匀。
[0009]作为一种优选的实施方式，所述叶片包括间隔设置且形状相同的两个，两个所述叶片对称上设置，每个所述叶片的外侧均呈弧形。
[0010]采用了上述技术方案后，本技术的有益效果是：
[0011]在需要对设备内的卤钨灯组加热器进行降温时，风机吹出的风经过风管中的第一管道进入到第二管道中，由于第二管道的长度与卤钨灯组加热器的长度相同，因此经过第二管道吹出的风从第二管道两端吹出到卤钨灯组加热器所在的主体内，对卤钨灯组加热器进行降温，又由于第二管道底部开设有开口，因此风机吹出的气流会经过第二管道从第二管道底部的开口吹出到位于主体内的卤钨灯组加热器处，实现对卤钨灯组加热器的降温，由于第二管道的两端都开放且其底部开设有开口，因此从第二管道内吹出的风能对卤钨灯组加热器表面进行均匀的降温。
附图说明
[0012]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0013]图1为本技术的结构示意图；
[0014]图2为风管的结构示意图；
[0015]图3为第二管道的竖截面示意图；
[0016]图4为第二管道的爆炸图。
[0017]图中，1
‑
主体；2
‑
卤钨灯组加热器；3
‑
风管；4
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第一管道；5
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第二管道； 6
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开口；7
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第一弧形板；8
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第二弧形板；9
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安装板；10
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凹槽；11
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连杆；12
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叶片；13
‑
轴承。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0019]如图1～图4所示，一种外延层厚度均匀性生长的控制装置，包括主体1，所述主体1内设置有卤钨灯组加热器2和风管3，所述风管3位于卤钨灯组加热器2的上方所述风管3包
括竖向设置的第一管道4和横向设置的第二管道5，所述第二管道5垂直且固定设置在第一管道4底部，所述第二管道5左右之间的长度与卤钨灯组加热器2左右之间的长度相同，所述第二管道5的左右两端均开放设置，所述第二管道5的底部开设有若干均匀分布的开口6，相邻的两个所述开口6之间间隔设置，每个所述开口6均位于卤钨灯组加热器2的正上方。
[0020]在需要对设备内的卤钨灯组加热器2进行降温时，风机吹出的风经过风管3 中的第一管道4进入到第二管道5中，由于第二管道5的长度与卤钨灯组加热器2的长度相同，因此经过第二管道5吹出的风从第二管道5两端吹出到卤钨灯组加热器2所在的主体1内，对卤钨灯组加热器2进行降温，又由于第二管道5底部开设有开口6，因此风机吹出的气流会经过第二管道5从第二管道底部 5的开口6吹出到位于主体1内的卤钨灯组加热器2处，实现对卤钨灯组加热器 2的降温，由于第二管道5的两端都开放本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种外延层厚度均匀性生长的控制装置，包括主体，所述主体内设置有卤钨灯组加热器和风管，所述风管位于卤钨灯组加热器的上方，其特征在于，所述风管包括竖向设置的第一管道和横向设置的第二管道，所述第二管道垂直且固定设置在第一管道底部，所述第二管道左右之间的长度与卤钨灯组加热器左右之间的长度相同，所述第二管道的左右两端均开放设置，所述第二管道的底部开设有若干均匀分布的开口，相邻的两个所述开口之间间隔设置，每个所述开口均位于卤钨灯组加热器的正上方。2.根据权利要求1所述的一种外延层厚度均匀性生长的控制装置，其特征在于，所述第二管道包括可拆卸设置的第一弧形板和第二弧形板，所述第一弧形板和第二弧形板的前后两侧分别固定连接。3.根据权利要求2所述的一种外...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋宇飞，蒋焰云，朱建国，程宣林，
申请(专利权)人：无锡赛默可科技有限公司，
类型：新型
国别省市：