本实用新型专利技术涉及晶圆技术领域，且公开了一种晶圆位置精确扫描装置，包括扫描箱、支撑腿，所述扫描箱内部设置有夹持机构，所述夹持机构包括有安装板、电机、螺纹杆、移动板、滑杆一，所述安装板一端与扫描箱一侧固定连接，所述安装板顶部与电机保护罩底部固定连接，所述电机保护罩内壁与电机一端固定连接，所述电机输出端与螺纹杆一端固定连接，所述螺纹杆另一端通过轴承与扫描箱内壁转动连接，所述螺纹杆外壁与移动板内壁螺纹连接，所述移动板内壁与滑杆一外壁滑动连接，实现了能够将晶圆快速的进行夹持固定，避免了影响到晶圆位置的精确扫描，提高了装置的工作能力，并且能够快速带动晶圆进行移动。行移动。行移动。
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆位置精确扫描装置
[0001]本技术涉及晶圆
，具体为一种晶圆位置精确扫描装置。
技术介绍
[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主，但现有的晶圆位置精确扫描装置无法将晶圆快速夹持固定，从而影响到晶圆位置的精确扫描，降低装置的工作能力。
技术实现思路
[0003]本技术的目的在于提供了一种晶圆位置精确扫描装置，解决了上述
技术介绍
中的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种晶圆位置精确扫描装置，包括扫描箱、支撑腿，所述扫描箱内部设置有夹持机构，所述夹持机构包括有安装板、电机、螺纹杆、移动板、滑杆一，所述安装板一端与扫描箱一侧固定连接，所述安装板顶部与电机保护罩底部固定连接，所述电机保护罩内壁与电机一端固定连接，所述电机输出端与螺纹杆一端固定连接，所述螺纹杆另一端通过轴承与扫描箱内壁转动连接，所述螺纹杆外壁与移动板内壁螺纹连接，所述移动板内壁与滑杆一外壁滑动连接，所述滑杆一两端与扫描箱内壁固定连接，所述移动板顶部固定安装有夹持箱，所述夹持箱内壁固定安装有分割板，所述分割板一侧固定安装有滑杆二，所述滑杆二外壁滑动连接有夹持板，所述夹持板一侧固定安装有缓冲垫，所述夹持板另一侧固定安装有拉杆，所述拉杆一端固定安装有拉板，所述夹持板一侧与夹持箱内壁之间固定安装有弹簧一；
[0005]所述扫描箱内部设置有调节机构。
[0006]优选的，所述调节机构包括有滑杆三、承载板、电动伸缩杆，所述滑杆三顶部与扫描箱内壁固定连接，所述滑杆三底部与承载板顶部固定连接，所述承载板顶部与电动伸缩杆底部固定连接，所述电动伸缩杆顶部挤压接触有限位板，所述限位板一端挤压接触有限位块，所述限位块一侧固定安装有缓冲杆，所述缓冲杆一端固定安装有缓冲板，所述缓冲板一侧与缓冲箱内壁之间固定安装有弹簧二，所述缓冲箱一端固定安装有滑块。
[0007]优选的，所述缓冲垫的数量为两个，所述缓冲垫的材质为橡胶材质，能够避免晶圆在夹持过程中出现损伤。
[0008]优选的，所述弹簧一的数量为两个，所述弹簧一分别对称分布夹持箱内壁两侧。
[0009]优选的，所述限位板底部开设有与电动伸缩杆直径大小相同的限位槽一，能够更好的进行调节。
[0010]优选的，所述限位块一侧开设有与限位板直径大小相同的限位槽二，能够更好的进行限位固定。
[0011]优选的，所述扫描箱底部与支撑腿顶部固定连接。
[0012]优选的，所述扫描箱正面安装有活动门。
[0013]本技术提供了一种晶圆位置精确扫描装置。该晶圆位置精确扫描装置具备以下有益效果：
[0014](1)本技术中：该晶圆位置精确扫描装置，通过安装在扫描箱内部的夹持机构实现了能够将晶圆快速的进行夹持固定，避免了影响到晶圆位置的精确扫描，提高了装置的工作能力，并且能够快速带动晶圆进行移动；
[0015](2)本技术中：该晶圆位置精确扫描装置，通过安装在扫描箱内部的调节机构实现了能够调节扫描设备的高度，能够更加便捷的将扫描设备进行更换维修，提高了装置的实用性。
附图说明
[0016]图1为本技术装置的正视结构示意图；
[0017]图2为本技术装置的剖视结构示意图；
[0018]图3为本技术图2中的A处放大结构示意图；
[0019]图4为本技术调节机构的部分放大结构示意图。
[0020]图中：扫描箱1、支撑腿2、夹持机构3、安装板301、电机302、螺纹杆303、移动板304、滑杆一305、夹持箱306、分割板307、滑杆二308、夹持板309、缓冲垫310、拉杆311、拉板312、晶圆本体4、扫描设备5、调节机构6、滑杆三601、承载板602、电动伸缩杆603、限位板604、限位块605、缓冲杆606、缓冲板607、缓冲箱608、滑块609。
具体实施方式
[0021]如图1
‑
4所示，本技术提供一种技术方案：一种晶圆位置精确扫描装置，包括扫描箱1、支撑腿2，扫描箱1内部设置有夹持机构3，夹持机构3包括有安装板301、电机302、螺纹杆303、移动板304、滑杆一305，安装板301一端与扫描箱1一侧固定连接，安装板301顶部与电机保护罩底部固定连接，电机保护罩内壁与电机302一端固定连接，电机302输出端与螺纹杆303一端固定连接，螺纹杆303另一端通过轴承与扫描箱1内壁转动连接，螺纹杆303外壁与移动板304内壁螺纹连接，移动板304内壁与滑杆一305外壁滑动连接，滑杆一305两端与扫描箱1内壁固定连接，移动板304顶部固定安装有夹持箱306，夹持箱306内壁固定安装有分割板307，分割板307一侧固定安装有滑杆二308，滑杆二308外壁滑动连接有夹持板309，夹持板309一侧固定安装有缓冲垫310，夹持板309另一侧固定安装有拉杆311，拉杆311一端固定安装有拉板312，夹持板309一侧与夹持箱306内壁之间固定安装有弹簧一；
[0022]扫描箱1内部设置有调节机构6，调节机构6包括有滑杆三601、承载板602、电动伸缩杆603，滑杆三601顶部与扫描箱1内壁固定连接，滑杆三601底部与承载板602顶部固定连接，承载板602顶部与电动伸缩杆603底部固定连接，电动伸缩杆603顶部挤压接触有限位板604，限位板604一端挤压接触有限位块605，限位块605一侧固定安装有缓冲杆606，缓冲杆606一端固定安装有缓冲板607，缓冲板607一侧与缓冲箱608内壁之间固定安装有弹簧二，缓冲箱608一端固定安装有滑块609，缓冲垫310的数量为两个，缓冲垫310的材质为橡胶材质，弹簧一的数量为两个，弹簧一分别对称分布夹持箱306内壁两侧，限位板604底部开设有
与电动伸缩杆603直径大小相同的限位槽一，限位块605一侧开设有与限位板604直径大小相同的限位槽二，扫描箱1底部与支撑腿2顶部固定连接，扫描箱1正面安装有活动门，实现了能够将晶圆快速的进行夹持固定，避免了影响到晶圆位置的精确扫描，提高了装置的工作能力，并且能够快速带动晶圆进行移动，实现了能够调节扫描设备的高度，能够更加便捷的将扫描设备进行更换维修，提高了装置的实用性。
[0023]该晶圆位置精确扫描装置在使用时，通过打开安装在扫描箱1正面的活动门，此时拉动拉板312移动带动拉杆311移动，通过拉杆311移动带动夹持板309在滑杆二308上滑动，此时通过将晶圆本体4放置到夹持箱306上，松开拉板312即可将晶圆本体4夹持固定，此时通过启动电机302转动带动螺纹杆303转动，通过螺纹杆303转动带动移动板304在滑杆一305上滑动，通过移动板304滑动带动夹持箱306移动，从而能够带动晶圆本体4移动，此时通过启动扫描设备5对晶圆本体4进行扫描，本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆位置精确扫描装置，包括扫描箱(1)、支撑腿(2)，其特征在于：所述扫描箱(1)内部设置有夹持机构(3)，所述夹持机构(3)包括有安装板(301)、电机(302)、螺纹杆(303)、移动板(304)、滑杆一(305)，所述安装板(301)一端与扫描箱(1)一侧固定连接，所述安装板(301)顶部与电机保护罩底部固定连接，所述电机保护罩内壁与电机(302)一端固定连接，所述电机(302)输出端与螺纹杆(303)一端固定连接，所述螺纹杆(303)另一端通过轴承与扫描箱(1)内壁转动连接，所述螺纹杆(303)外壁与移动板(304)内壁螺纹连接，所述移动板(304)内壁与滑杆一(305)外壁滑动连接，所述滑杆一(305)两端与扫描箱(1)内壁固定连接，所述移动板(304)顶部固定安装有夹持箱(306)，所述夹持箱(306)内壁固定安装有分割板(307)，所述分割板(307)一侧固定安装有滑杆二(308)，所述滑杆二(308)外壁滑动连接有夹持板(309)，所述夹持板(309)一侧固定安装有缓冲垫(310)，所述夹持板(309)另一侧固定安装有拉杆(311)，所述拉杆(311)一端固定安装有拉板(312)，所述夹持板(309)一侧与夹持箱(306)内壁之间固定安装有弹簧一；所述扫描箱(1)内部设置有调节机构(6)。2.根据权利要求1所述的一种晶圆位置精确扫描装置，其特征在于：所述调节机构(6)包括有滑杆三(601)、承载板(602)、电动伸缩杆(6...
【专利技术属性】
技术研发人员：蒋宇飞，程宣林，蒋焰云，朱建国，
申请(专利权)人：无锡赛默可科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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