一种感应加热外延炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种感应加热外延炉，包括感应加热炉本体，所述感应加热炉本体上安装有进气管且所述进气管的内腔螺栓安装有风机，所述进气管的左右端呈对称设有两组支管且两组支管的进气端竖直朝下，所两组所述支管的内腔均安装有过滤组件、空气流量传感器和电动阀门，两组所述支管的外壁均安装有定位组件且两组所述定位组件分别与相对应的过滤组件插接。本实用新型专利技术所述的一种感应加热外延炉，在进气管上设置有两组支管，且支管内部设置有过滤网、空气流量传感器和电动阀门，工作人员可根据流量数值判断过滤网的堵塞情况，从而更换另一组洁净的过滤网进行空气过滤作业，两组支管内的过滤网交替工作，保证了良好地通风性的同时也保证了工作的连续性。时也保证了工作的连续性。时也保证了工作的连续性。

【技术实现步骤摘要】
一种感应加热外延炉


[0001]本技术涉及外延炉设备领域，特别涉及一种感应加热外延炉。

技术介绍

[0002]现有的感应加热延炉(即是利用高频加热线圈进行感应加热)在工作时，当外延炉长时间使用后，进气口上的过滤网会堵塞，导致外延炉进气不足，进而降低了外延炉的工作效率，故此，我们提出一种感应加热外延炉来解决此问题。

技术实现思路

[0003]本技术的主要目的在于提供一种感应加热外延炉，可以有效解决
技术介绍
中的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：
[0005]一种感应加热外延炉，包括感应加热炉本体，所述感应加热炉本体上安装有进气管且所述进气管的内腔螺栓安装有风机，所述进气管的左右端呈对称设有两组支管且两组支管的进气端竖直朝下，所两组所述支管的内腔均安装有过滤组件、空气流量传感器和电动阀门，两组所述支管的外壁均安装有定位组件且两组所述定位组件分别与相对应的过滤组件插接。
[0006]优选的，所述过滤组件包括半圆板，所述半圆板的内腔安装有过滤网，所述半圆板的外壁上安装有插接板且所述插接板上开设有通孔。
[0007]优选的，所述定位组件包括圆筒，所述圆筒安装在支管的外壁上，所述圆筒被插杆贯穿，所述插杆位于圆筒的内部位上安装有挡环，所述圆筒的内腔设置有复位弹簧且所述复位弹簧套接在插杆上，所述复位弹簧的上下端分别与圆筒和挡环相抵触。
[0008]优选的，所述插杆的上端安装有拉环且所述拉环的外表面包裹一层弹性缓冲垫。
[0009]优选的，所述感应加热炉本体的外壁上安装有控制器且所述控制器上设有显示屏，所述控制器分别与两组电动阀门和两组空气流量传感器电性连接。
[0010]优选的,所述进气管的上端和两组支管的下端均螺纹密封安装有密封盖。
[0011]与现有技术相比，本技术具有如下有益效果：
[0012]1、在进气管上设置有两组支管，且支管内部设置有过滤网、空气流量传感器和电动阀门，工作人员可根据流量数值判断过滤网的堵塞情况，从而更换另一组洁净的过滤网进行空气过滤作业，两组支管内的过滤网交替工作，保证了良好地通风性的同时也保证了工作的连续性，可大大提高工作效率。
[0013]2、进气管的上端和两组支管的下端均螺纹密封安装有密封盖，便于对进气管内的风机进行拆卸和安装，且在不使用时可避免过滤网上灰尘的堆积。
附图说明
[0014]图1为本技术一种感应加热外延炉的整体结构图；
[0015]图2为本技术一种感应加热外延炉的A处结构放大图；
[0016]图3为本技术一种感应加热外延炉的B处结构放大图；
[0017]图4为本技术一种感应加热外延炉的过滤组件俯视图。
[0018]图中：1、感应加热炉本体；2、进气管；3、支管；4、风机；5、密封盖；6、过滤组件；61、半圆板；62、插接板；63、过滤网；64、通孔；7、定位组件；71、圆筒；72、复位弹簧；73、挡环；74、插杆；75、拉环；8、空气流量传感器；9、电动阀门；10、控制器。
具体实施方式
[0019]为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。
[0020]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0021]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0022]如图1
‑
4所示，一种感应加热外延炉，包括感应加热炉本体1，感应加热炉本体1上安装有进气管2且进气管2的内腔螺栓安装有风机4，进气管2的左右端呈对称设有两组支管3且两组支管3的进气端竖直朝下，所两组支管3的内腔均安装有过滤组件6、空气流量传感器8和电动阀门9，两组支管3的外壁均安装有定位组件7且两组定位组件7分别与相对应的过滤组件6插接。
[0023]过滤组件6包括半圆板61，半圆板61的内腔安装有过滤网63，半圆板61的外壁上安装有插接板62且插接板62上开设有通孔64，定位组件7包括圆筒71，圆筒71安装在支管3的外壁上，圆筒71被插杆74贯穿，插杆74位于圆筒71的内部位上安装有挡环73，圆筒71的内腔设置有复位弹簧72且复位弹簧72套接在插杆74上，复位弹簧72的上下端分别与圆筒71和挡环73相抵触，其过滤组件6与支管3插接，再通过插杆74下端穿过插接板62上设有的通孔64，可实现过滤组件6与支管3的插接固定，向上拉动插杆74便可解除过滤组件6与支管3的插接固定，便于过滤组件6与支管3的拆装操作。
[0024]插杆74的上端安装有拉环75且拉环75的外表面包裹一层弹性缓冲垫，可将手指伸入拉环75中向上拉动插杆74，便于拉动插杆74，通过其上设有的弹性缓冲垫缓冲与手指之间的压力作用，提高使用舒适度。
[0025]感应加热炉本体1的外壁上安装有控制器10且控制器10上设有显示屏，控制器10分别与两组电动阀门9和两组空气流量传感器8电性连接，空气流量传感器8将检测处的数据值显示在控制器10的显示屏上，工作人员可根据数值判断过滤网63的堵塞情况，从而更换另一组洁净的过滤网63进行空气过滤作业，保证了良好地通风性。
[0026]进气管2的上端和两组支管3的下端均螺纹密封安装有密封盖5，可通过旋下进气管2的上端的密封盖5，便于对进气管2内的风机4进行拆卸和安装，其支管3下端设置的密封盖5可将过滤网63密封支管3中，在不使用时可避免其上灰尘的堆积。
[0027]需要说明的是，本技术为一种感应加热外延炉，本感应加热外延炉设置有两组支管3，在工作时，可关闭一组电动阀门9，另一电动阀门9打开并旋下其支管3上安装有的密封盖5，通过风机4将风通过此打开电动阀门9的支管3内设有的过滤网63过滤后送入炉体内，通过空气流量传感器8检测空气流量，工作人员可根据流量数值判断过滤网63的堵塞情况，从而更换另一组洁净的过滤网63进行空气过滤作业，保证了良好地通风性的同时也保证了工作的连续性，且设有定位组件7，可通过定位组件7实现过滤网63与支管3的安装固定，便于过滤组件6与支管3的拆装作业。
[0028]以上显示和描述了本技术的基本原理和主要本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种感应加热外延炉，包括感应加热炉本体(1)，所述感应加热炉本体(1)上安装有进气管(2)且所述进气管(2)的内腔螺栓安装有风机(4)，其特征在于：所述进气管(2)的左右端呈对称设有两组支管(3)且两组支管(3)的进气端竖直朝下，所两组所述支管(3)的内腔均安装有过滤组件(6)、空气流量传感器(8)和电动阀门(9)，两组所述支管(3)的外壁均安装有定位组件(7)且两组所述定位组件(7)分别与相对应的过滤组件(6)插接。2.根据权利要求1所述的一种感应加热外延炉，其特征在于：所述过滤组件(6)包括半圆板(61)，所述半圆板(61)的内腔安装有过滤网(63)，所述半圆板(61)的外壁上安装有插接板(62)且所述插接板(62)上开设有通孔(64)。3.根据权利要求1所述的一种感应加热外延炉，其特征在于：所述定位组件(7)包括圆筒(71)，所述圆筒(71)安装在支管(...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋宇飞，蒋焰云，朱建国，程宣林，
申请(专利权)人：无锡赛默可科技有限公司，
类型：新型
国别省市：