一种晶圆纳米压印设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆纳米压印设备，包括：物料转移机构，所述物料转移机构包括多个料叉及驱动料叉移动的水平驱动模组，通过料叉带动晶圆在各工位之间流动；匀胶装置，所述匀胶装置包括滴胶机构、抓取机构和匀胶机，压印装置，所述压印装置包括铰接在所述主基板上的上模板、安装在升降机构的下模板，升降机构驱动下模板向上移动并穿过主基板中部的镂空空间，将下模板与上模板对应合膜，物料存放架，物料存放架的数量至少包括两个，两个物料存放架平行对应且分别用于存放原料和成品；本实用新型专利技术是一套完整的晶圆纳米压印设备，生产连续性好，生产效率高，且晶圆是在真空腔内压印，相比常压下压印，压印过程不会产生气泡，产品的质量更好。质量更好。质量更好。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆纳米压印设备


[0001]本技术涉及纳米压印设备的
，具体涉及一种晶圆纳米压印设备。

技术介绍

[0002]纳米压印的基本原理就是将制作好的模板压在一层薄的聚合物薄膜上，这层薄膜通过加热的或者化学的方法固化，从而在聚合物上可形成与模板具有1:1大小的图案。该工艺过程主要包含两个步骤:图形复制和图形转移，即在一块基片上(通常为硅片)涂上一层聚合物(通常为光刻胶)，再用已刻有特定图形的模板在一定的温度(须高于聚合物“软化”温度)和压力下去压印聚合物涂层，从而实现图形复制，然后脱模，即将模板从压印的聚合物上移除，就能够在基片形成纳米图案。原理上来看，纳米压印技术在图案制作上没有任何限制，因此它能通过电子束刻蚀和其他技术制作的模板来压印任意的图形。近十年的发展，纳米压印技术发展出很多种不同的方法，但是可以大概归纳为以下几种:热纳米压印、紫外固化纳米压印、软压印。但是，在现有的纳米压印的技术中，普遍存在着压力分布不均的问题，且在压印的过程中容易产生气泡，影响了产品的质量，同时，现有技术中没有成熟的成套压印设备，各个工序比较分散，生产连续性差，生产效率低下，不利于高效可持续发展。

技术实现思路

[0003]本技术要解决的技术问题是提供一种
[0004]为了解决上述技术问题，本技术提供了一种晶圆纳米压印设备，其特征在于，包括：
[0005]物料转移机构，所述物料转移机构包括多个料叉及驱动料叉移动的水平驱动模组，所述水平驱动模组安装在主机箱的上表面，所述料叉通过连接架安装在水平驱动模组的驱动块上，通过料叉带动晶圆在各工位之间流动；
[0006]匀胶装置，所述匀胶装置包括滴胶机构、抓取机构和匀胶机，所述滴胶机构包括滴胶枪及驱动滴胶枪摆动的第一电机，所述第一电机通过第一支架安装在所述主机箱的上表面，所述抓取机构包括双出头气缸、带动双出头气缸竖向移动的竖直驱动模组，所述双出头气缸通过连接体安装在竖直驱动模组的驱动块上，所述竖直驱动模组安装在与所述主机箱固定的主基板上，所述主基板通过多根立柱固定在主机箱的上表面，所述双出头气缸的两伸缩杆上均安装有相对称的且用于抓取晶圆的夹头，所述匀胶机安装在所述主机箱的上表面，且该匀胶机上设有位于双出头气缸正下方的匀胶转盘；
[0007]压印装置，所述压印装置包括铰接在所述主基板上的上模板、安装在升降机构的下模板，所述主基板上安装有将上模板夹紧在主基板上的夹紧机构，所述升降机构安装在所述主基板上，且通过该升降机构驱动下模板上下移动，所述上模板的中部设有上模腔，所述上模腔的顶部设有密封镶嵌在上模板内的密封透光板，所述上模板上设有用于连通上模腔与外界空气的上进气孔和上排气孔，所述下模板的中部设有与所述上模腔对应的下模腔，所述下模腔的底部设有用于安放晶圆的安装槽，所述下模板上设有用于连通下模腔与
外界空气的下进气孔和下排气孔；所述升降机构驱动下模板向上移动并穿过主基板中部的镂空空间，将下模板与上模板对应合膜后，所述上模腔和所述下模腔对应扣合形成密封的压印腔室；
[0008]物料存放架，所述物料存放架的数量至少包括两个，两个物料存放架平行对应且分别用于存放原料和成品，所述物料存放架安装在驱动其竖向移动的丝杆螺母升降组件上，所述丝杆螺母升降组件通过第二支架安装在所述主机箱的上表面，所述物料存放架上设有多层用于放置晶圆的支撑切缝，所述匀胶装置和所述压印装置均设置在两个物料存放架之间。
[0009]作为本技术的进一步改进，所述水平驱动模组水平固定在所述主机箱的上表面，所述连接架固定在水平驱动模组的驱动块上，所述连接架上固定有三个水平的且沿直线分布的料叉，三个料叉分别为取料叉、送料叉和备用料叉，所述取料叉与送料叉两者的朝向相反，所述送料叉和备用料叉两者的朝向相同，每个料叉的工作平面上均设有多个用于吸附晶圆的负压孔。
[0010]作为本技术的进一步改进，所述第一支架固定在所述主机箱的上表面，所述第一电机竖直固定在所述第一支架上，所述滴胶枪水平设置且其一端固定在所述第一电机的输出轴上，所述竖直驱动模组竖直固定在所述主基板上，所述双出头气缸水平设置并通过连接体固定在竖直驱动模组的驱动块上，所述夹头包括连接块和定位轮，所述连接块固定在双出头气缸对应的伸缩杆上，所述连接块上转动安装有至少两个等高且水平转动的定位轮，所述定位轮的圆周面上设有一周环状的且用于夹持晶圆的定位槽。
[0011]作为本技术的进一步改进，所述丝杆螺母升降组件包括竖直固定在第二支架上的导轨和丝杆、匹配滑动安装在导轨上的滑块、螺纹连接在丝杆上并形成丝杆螺母传动的螺母，所述螺母与所述滑块相固定，所述物料存放架固定在所述螺母上，所述丝杆的下端与第二电机的输出轴同轴固定，所述第二电机固定在所述第二支架上，所述第二支架固定在所述主机箱上且第二电机伸入主箱体的内部。
[0012]作为本技术的进一步改进，所述上模板的后端铰接在所述主基板的上表面并形成上下翻转结构，所述上模板的前端固定有翻转把手，所述上模板的两侧均设有将其夹紧在主基板上表面的夹紧机构，所述夹紧机构包括底板、夹紧气缸和摆动块，所述底板固定在主基板的上表面，所述摆动块的下端铰接在底板上，所述摆动块上固定有用于夹持在上模板上表面的夹紧部，所述摆动块的上端与第一连杆的一端铰接，所述第一连杆的另一端与第二连杆的一端铰接，所述第二连杆的另一端铰接在所述底板上，所述第一连杆与第二连杆之间的铰接轴转动连接在夹紧气缸的伸缩杆上，所述夹紧气缸的缸体的尾部铰接在与底板固定的臂板上。
[0013]作为本技术的进一步改进，还包括两个相同的夹紧环体，两个所述夹紧环体对应叠放固定在一起且其两者之间夹紧有压印模板，所述夹紧环体放置在主基板上表面对应的定位台阶上，所述上模板和所述下模板合模后，所述夹紧环体被夹紧在上模板的上槽体和主基板的定位台阶之间，且所述夹紧环体中部的压印模板被夹紧在上模板和下模板之间且将上模腔和下模腔密封隔开。
[0014]作为本技术的进一步改进，所述下模腔设置在所述下模板的上表面，所述下模板的上表面设有多圈环绕在所述下模腔外部的下密封圈，所述上模板中上模腔所在的表
面设有多圈环绕在所述上模腔外部的上密封圈，所述上模板和所述下模板合模后，所述上密封圈和下密封圈对应密封接触并夹紧在上模板和下模板之间，所述上模腔和所述下模腔对应扣合形成密封的压印腔室。
[0015]作为本技术的进一步改进，所述下进气孔和下排气孔均与所述下模板内设置的气室连通，所述下模板的上表面设有多个与下模腔连通的导气槽，所述下模板上设有多个对应连通所述导气槽与气室的分压孔。
[0016]作为本技术的进一步改进，所述升降机构包括电缸、导杆、驱动座和固定座，所述电缸竖直固定在水平的第一支撑板上，所述第一支撑板通过多块第一连接板固定在水平的连接环体上，所述连接环体通过多块第二连接板固定在所述主基板上，所述电缸的伸缩驱动体竖直移动且该伸缩驱动体的上端固定有驱动座，所述驱动座通过多块第三连接板固定在固定座上，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆纳米压印设备，其特征在于，包括：物料转移机构，所述物料转移机构包括多个料叉及驱动料叉移动的水平驱动模组，所述水平驱动模组安装在主机箱的上表面，所述料叉通过连接架安装在水平驱动模组的驱动块上，通过料叉带动晶圆在各工位之间流动；匀胶装置，所述匀胶装置包括滴胶机构、抓取机构和匀胶机，所述滴胶机构包括滴胶枪及驱动滴胶枪摆动的第一电机，所述第一电机通过第一支架安装在所述主机箱的上表面，所述抓取机构包括双出头气缸、带动双出头气缸竖向移动的竖直驱动模组，所述双出头气缸通过连接体安装在竖直驱动模组的驱动块上，所述竖直驱动模组安装在与所述主机箱固定的主基板上，所述主基板通过多根立柱固定在主机箱的上表面，所述双出头气缸的两伸缩杆上均安装有相对称的且用于抓取晶圆的夹头，所述匀胶机安装在所述主机箱的上表面，且该匀胶机上设有位于双出头气缸正下方的匀胶转盘；压印装置，所述压印装置包括铰接在所述主基板上的上模板、安装在升降机构的下模板，所述主基板上安装有将上模板夹紧在主基板上的夹紧机构，所述升降机构安装在所述主基板上，且通过该升降机构驱动下模板上下移动，所述上模板的中部设有上模腔，所述上模腔的顶部设有密封镶嵌在上模板内的密封透光板，所述上模板上设有用于连通上模腔与外界空气的上进气孔和上排气孔，所述下模板的中部设有与所述上模腔对应的下模腔，所述下模腔的底部设有用于安放晶圆的安装槽，所述下模板上设有用于连通下模腔与外界空气的下进气孔和下排气孔；所述升降机构驱动下模板向上移动并穿过主基板中部的镂空空间，将下模板与上模板对应合膜后，所述上模腔和所述下模腔对应扣合形成密封的压印腔室；物料存放架，所述物料存放架的数量至少包括两个，两个物料存放架平行对应且分别用于存放原料和成品，所述物料存放架安装在驱动其竖向移动的丝杆螺母升降组件上，所述丝杆螺母升降组件通过第二支架安装在所述主机箱的上表面，所述物料存放架上设有多层用于放置晶圆的支撑切缝，所述匀胶装置和所述压印装置均设置在两个物料存放架之间。2.如权利要求1所述的一种晶圆纳米压印设备，其特征在于，所述水平驱动模组水平固定在所述主机箱的上表面，所述连接架固定在水平驱动模组的驱动块上，所述连接架上固定有三个水平的且沿直线分布的料叉，三个料叉分别为取料叉、送料叉和备用料叉，所述取料叉与送料叉两者的朝向相反，所述送料叉和备用料叉两者的朝向相同，每个料叉的工作平面上均设有多个用于吸附晶圆的负压孔。3.如权利要求1所述的一种晶圆纳米压印设备，其特征在于，所述第一支架固定在所述主机箱的上表面，所述第一电机竖直固定在所述第一支架上，所述滴胶枪水平设置且其一端固定在所述第一电机的输出轴上，所述竖直驱动模组竖直固定在所述主基板上，所述双出头气缸水平设置并通过连接体固定在竖直驱动模组的驱动块上，所述夹头包括连接块和定位轮，所述连接块固定在双出头气缸对应的伸缩杆上，所述连接块上转动安装有至少两个等高且水平转动的定位轮，所述定位轮的圆周面上设有一周环状的且用于夹持晶圆的定位槽。4.如权利要求1所述的一种晶圆纳米压印设备，其特征在于，所述丝杆螺母升降组件包括竖直固定在第二支架上的导轨和丝杆、匹配滑动安装在导轨上的滑块、螺纹连接在丝杆
上并形成丝杆螺母传动的螺母，所述螺母与所述滑块相固定，所述物料存放架固定在所述螺母上，...

【专利技术属性】
技术研发人员：张浩，张弩，
申请(专利权)人：江苏戴米克自动化科技有限公司，
类型：新型
国别省市：