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本实用新型公开了一种晶圆纳米压印设备，包括：物料转移机构，所述物料转移机构包括多个料叉及驱动料叉移动的水平驱动模组，通过料叉带动晶圆在各工位之间流动；匀胶装置，所述匀胶装置包括滴胶机构、抓取机构和匀胶机，压印装置，所述压印装置包括铰接在所述...
该专利属于江苏戴米克自动化科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏戴米克自动化科技有限公司授权不得商用。

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