一种复合PET软膜及其制备方法技术

本发明专利技术涉及了一种复合PET软膜及其制备方法，复合PET软膜的制备方法包括：母板涂光刻模具胶，使其覆盖且高于图形结构、形成光刻胶层，图形结构面积小于母板面积五分之三；PET软膜上划分两个以上图形转移区；防紫外线薄膜上开设一个透光区；将图形转移区、透光区、图形结构在竖直方向上依次对齐，PET软膜与光刻胶层相互贴合；竖直对PET软膜曝光，使透光区内光刻胶层固化、形成转移图案结构；将PET软膜、防紫外线薄膜完成脱模；将PET软膜下一个图形转移区对准图形结构，依次重复上述步骤，直至所有图形转移区均完成图形转移。通过上述设置，可解决目前通过母板制备复合软模时图案结构转移效率低而影响最终产量的问题。效率低而影响最终产量的问题。效率低而影响最终产量的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种复合PET软膜及其制备方法


[0001]本专利技术涉及纳米压印
，具体涉及一种复合PET软膜及其制备方法。

技术介绍

[0002]在纳米压印技术中，应用于显示
的纳米压印工艺流程通常包括：先制备出工作模板，然后根据工作膜板制备出大尺寸压印机使用的压印模板，利用压印模板进行显示基板上薄膜的图案化。
[0003]目前，通常一个母板只复制出一个复合软模，然后用此复合软模进行压印样品，从而样品上只有一个图案结构；可见，这种图案复制或转移效率较低，会严重影响产品的产出效率。

技术实现思路

[0004]为解决上述技术问题，本专利技术的目的在于提供一种复合PET软膜及其制备方法，所述复合PET软膜的制备方法用来解决目前通过母板制备复合软模时图案结构转移效率低而影响最终产量的问题。
[0005]为了实现上述专利技术目的之一，本专利技术一实施方式提供一种复合PET软膜的制备方法，包括：
[0006]步骤A：在母板上涂覆光刻模具胶，使其覆盖所述母板上的图形结构、形成光刻胶层；其中，所述光刻胶层的高度高于所述图形结构的高度，所述图形结构的面积小于所述母板面积的五分之三；
[0007]步骤B：在PET软膜上划分两个以上图形转移区，使得所述图形转移区、所述图形结构两者的平面大小形状相匹配；
[0008]步骤C：在防紫外线薄膜上开设一个通透的透光区；其中，所述图形结构、所述透光区两者的平面大小形状相匹配；
[0009]步骤D：将所述防紫外线薄膜、所述PET软膜依次堆叠覆盖于所述光刻胶层上，使得所述图形转移区、所述透光区、所述图形结构三者在竖直方向上依次对齐；同时，在所述透光区位置，所述PET软膜与所述光刻胶层两者相互贴合；
[0010]步骤E：在竖直方向上对所述PET软膜进行曝光，使得位于所述透光区平面范围内的光刻胶层固化、在所述PET软膜的下表面形成转移图案结构；
[0011]步骤F：将贴附有所述转移图案结构的所述PET软膜、所述防紫外线薄膜两者依次从所述母板上分离、完成脱模；
[0012]步骤G：对所述PET软膜进行位移，使得下一个图形转移区对准所述图形结构，依次重复步骤A、步骤C、步骤D、步骤E、步骤F；直至所述PET软膜上所有图形转移区均完成图形转移。
[0013]作为本专利技术一实施方式的进一步改进，所述防紫外线薄膜、所述图形转移区两者的数量相匹配；每个防紫外线薄膜上的透光区与每个图形转移区一一对应。
[0014]作为本专利技术一实施方式的进一步改进，所述图形转移区、所述透光区、所述图形结构三者的平面大小关系为：所述图形转移区＞所述透光区≥所述图形结构。
[0015]作为本专利技术一实施方式的进一步改进，所述透光区、所述图形结构两者的平面大小形状相同；
[0016]步骤D中，所述防紫外线薄膜的边缘挤压所述光刻胶层、且与所述图形结构相接触。
[0017]作为本专利技术一实施方式的进一步改进，步骤D中，“将所述防紫外线薄膜、所述PET软膜依次堆叠覆盖于所述光刻胶层上”具体包括：
[0018]将所述防紫外线薄膜贴附并覆盖于所述光刻胶层上，使得所述透光区、所述图形结构两者在竖直方向上居中对齐；
[0019]将所述PET软膜贴附并覆盖于所述防紫外线薄膜上，使得所述图形转移区、所述透光区两者在竖直方向上居中对齐。
[0020]作为本专利技术一实施方式的进一步改进，步骤E中，通过紫外灯对所述PET软膜进行UV光曝光。
[0021]作为本专利技术一实施方式的进一步改进，所述母板为圆形硅片，所述图形结构的平面形状为矩形。
[0022]作为本专利技术一实施方式的进一步改进，所述防紫外线薄膜、所述母板两者的平面大小形状相匹配。
[0023]本专利技术一实施方式还提供一种复合PET软膜，通过如上任一项所述的复合PET软膜的制备方法生成，所述复合PET软膜包括：
[0024]PET软膜，包括两个以上图形转移区；
[0025]以及与所述转移图案结构数量匹配的转移图案结构，所述转移图案结构分别贴附于所述图形转移区上。
[0026]作为本专利技术一实施方式的进一步改进，所有图形转移区以4*4阵列结构形式排布于所述PET软膜上。
[0027]与现有技术相比，本专利技术的有益效果在于：
[0028]当母板上图形结构面积＜母板面积五分之三时，复合PET软膜的制备方法如下：
[0029]母板涂光刻模具胶、覆盖高过图形结构，形成光刻胶层；
[0030]提供PET软膜，其包括两个以上图形转移区，图形转移区、图形结构的平面大小形状相匹配；
[0031]提供防紫外线薄膜，开设有一个通透的透光区，透光区、图形结构的平面大小形状相匹配；
[0032]在光刻胶层上依次堆叠防紫外线薄膜、PET软膜，保证图形结构、透光区、图形转移区由下至上依次对齐，且PET软膜紧贴光刻胶层；
[0033]竖直向下进行曝光，在通透的透光区内，光刻胶层固化后形成转移图案结构；
[0034]将PET软膜、防紫外线薄膜依次脱模，转移图案结构则贴附于PET软膜下表面；
[0035]将PET软膜的下一个图形转移区对准图形结构，重复上述涂胶、防紫外线薄膜开设一个透光区、堆叠、曝光、依次脱模等步骤，直到PET软膜上的所有图形转移区均加工完成、均贴附有转移图案结构。
[0036]由此，当母板上图形结构为小尺寸结构时，通过一张PET软膜、多张防紫外线薄膜，对PET软膜上的各个图形转移区依次进行团复制或图形转移，使得PET软膜上形成多个转移图案结构，最终形成复合PET软膜；从而，通过复合PET软膜进行压印样品时，可同时压印形成多个图案结构，由此可极大提升图案结构的转移效率、提升产品产量。
附图说明
[0037]为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0038]图1是本专利技术一实施例中母板的结构示意图；
[0039]图2是本专利技术一实施例中母板、光刻胶层的结构示意图；
[0040]图3是本专利技术一实施例中PET软膜、防紫外线薄膜的结构示意图；
[0041]图4是本专利技术一实施例中复合PET软膜曝光工艺的结构示意图；
[0042]图5是本专利技术一实施例中复合PET软膜脱模工艺的结构示意图；
[0043]图6是本专利技术一实施例中母板的实际结构示意图；
[0044]图7是本专利技术一实施例中复合PET软膜的实际结构示意图。
[0045]其中附图中所涉及的标号如下：
[0046]母板1，图形结构11，光刻胶层2，防紫外线薄膜3，透光区31，PET软膜4。
具体实施方式
[0047]为使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术具体本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种复合PET软膜的制备方法，其特征在于，包括：步骤A：在母板上涂覆光刻模具胶，使其覆盖所述母板上的图形结构、形成光刻胶层；其中，所述光刻胶层的高度高于所述图形结构的高度，所述图形结构的面积小于所述母板面积的五分之三；步骤B：在PET软膜上划分两个以上图形转移区，使得所述图形转移区、所述图形结构两者的平面大小形状相匹配；步骤C：在防紫外线薄膜上开设一个通透的透光区；其中，所述图形结构、所述透光区两者的平面大小形状相匹配；步骤D：将所述防紫外线薄膜、所述PET软膜依次堆叠覆盖于所述光刻胶层上，使得所述图形转移区、所述透光区、所述图形结构三者在竖直方向上依次对齐；同时，在所述透光区位置，所述PET软膜与所述光刻胶层两者相互贴合；步骤E：在竖直方向上对所述PET软膜进行曝光，使得位于所述透光区平面范围内的光刻胶层固化、在所述PET软膜的下表面形成转移图案结构；步骤F：将贴附有所述转移图案结构的所述PET软膜、所述防紫外线薄膜两者依次从所述母板上分离、完成脱模；步骤G：对所述PET软膜进行位移，使得下一个图形转移区对准所述图形结构，依次重复步骤A、步骤C、步骤D、步骤E、步骤F；直至所述PET软膜上所有图形转移区均完成图形转移。2.根据权利要求1所述的复合PET软膜的制备方法，其特征在于，所述防紫外线薄膜、所述图形转移区两者的数量相匹配；每个防紫外线薄膜上的透光区与每个图形转移区一一对应。3.根据权利要求2所述的复合PET软膜的制备方法，其特征在于，所述图形转移区、所述透光区、所述图形结构三者的平面大小关系为：所...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋崇顺，史晓华，
申请(专利权)人：南昌光澜半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：