【技术实现步骤摘要】
一种模板遮光装置的翻转机构
[0001]本技术涉及纳米压印
,具体涉及一种模板遮光装置的翻转机构。
技术介绍
[0002]在纳米压印技术工艺中,当采用光照固化压印材料时,需要通过模板遮光装置来精确地控制光照射区域。
[0003]现有模板遮光装置中,遮光装置的翻转门板在翻转时,其翻转速度快、无法较好地控制翻转角度与力度,从而导致翻转冲击力大、无法精准控制,或造成翻转噪音大、扰动周围空气带来灰尘等不良影响。
技术实现思路
[0004]为解决上述技术问题,本技术的目的在于提供一种模板遮光装置的翻转机构,来解决目前模板遮光装置中无法准确控制翻转门板的翻转角度和力度而带来的翻转冲击大、翻转控制效果差的问题。
[0005]为了实现上述技术目的之一,本技术一实施方式提供一种模板遮光装置的翻转机构,包括依次设置的驱动机构、齿排、齿轮以及旋转轴;所述驱动机构与所述齿排连接,用于驱动所述齿排在预设距离范围内直线往返运动;所述齿轮与所述齿排啮合连接;所述旋转轴的第一端与所述齿轮固定连接、而第二端与所述底座转动连接 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种模板遮光装置的翻转机构,其特征在于,包括依次设置的驱动机构、齿排、齿轮以及旋转轴;所述驱动机构与所述齿排连接,用于驱动所述齿排在预设距离范围内直线往返运动;所述齿轮与所述齿排啮合连接;所述旋转轴的第一端与所述齿轮固定连接、而第二端与底座转动连接;所述模板遮光装置包括底座和翻转门板,所述翻转门板位于所述底座的上方、且连接于所述旋转轴上;当所述驱动机构带动所述齿排往返运动时,所述齿排带动所述齿轮顺时针或逆时针转动、所述齿轮通过所述旋转轴带动所述翻转门板顺时针或逆时针翻转。2.根据权利要求1所述的模板遮光装置的翻转机构,其特征在于,所述翻转机构还包括限位机构,用于阻挡限位所述齿排的位移运动。3.根据权利要求2所述的模板遮光装置的翻转机构,其特征在于,所述翻转机构还包括辅助轴承,设于所述齿排下方,用于支撑所述齿排;所述限位机构设于所述辅助轴承远离所述驱动机构的一侧,用于阻挡限位所述辅助轴承。4.根据权利要求3所述的模板...
【专利技术属性】
技术研发人员:宋摇摇,史晓华,
申请(专利权)人:南昌光澜半导体有限公司,
类型:新型
国别省市:
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