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本实用新型涉及了一种模板遮光装置的翻转机构，包括依次设置的驱动机构、齿排、齿轮以及旋转轴；驱动机构与齿排连接，用于驱动齿排在预设距离范围内直线往返运动；齿轮与齿排啮合连接；旋转轴的第一端与齿轮固定连接、而第二端与底座转动连接；模板遮光装置包...
该专利属于南昌光澜半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南昌光澜半导体有限公司授权不得商用。

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