基于金属纳米柱结构的高分辨率显示器制作方法技术

本发明专利技术公开了基于金属纳米柱结构的高分辨率显示器制作方法，所述方法包括步骤：在平整光滑的玻璃表面旋涂光刻胶，采用电子束曝光法制作周期有序的圆环结构；对圆环结构进行反应离子刻蚀，得到环形腔结构,并在环形腔结构内加入NOA之后揭下，得到周期圆柱；在周期圆柱上涂压印胶，待纳米压印胶固化后撕下得到压印胶上的周期环形腔结构；对周期环形腔结构进行加热，加热后会改变环形腔结构上边缘的弧度以及圆柱的弧度，通过加热不同的时间使边缘产生不同的形变，再在周期环形腔结构镀铝膜；激发周期环形腔结构表面等离激元，从而在不同程度形变处显示出不同颜色。本发明专利技术基于金属环形腔结构的高分辨率显示器提高了像素分辨率，解决了颜色染料的污染问题，染色像素的大小问题。染色像素的大小问题。染色像素的大小问题。

【技术实现步骤摘要】
基于金属纳米柱结构的高分辨率显示器制作方法
[0001]

[0002]本专利技术涉及一种基于金属纳米柱结构的高分辨率显示器制作方法，属于光学显示器


技术介绍

[0003]自然界中的昆虫和蝴蝶等就是主要通过薄片或多层结构的干涉、光栅衍射、光子晶体、光的散射等效应产生颜色，这种产生颜色的方法催生了结构色显示器领域。但结构色要进一步发展，面临的一个重要挑战是光衍射极限的限制。微纳金属结构制备技术的发展为突破衍射极限实现高分辨率提供了一个新的途径。金属微纳结构与光相互作用可产生表面等离激元共振（SPRs），SPRs可操纵光的偏振性、相位和强度，而且其次级衍射局域效应可以突破衍射限制，这使得金属微纳结构结构具备产生超高分辨颜色的能力。
[0004]传统的结构色显示器有几方面的限制：只能实现静态的结构色、缺乏大面积制备纳米结构的工艺、只能实现单一像素且颜色范围窄、分辨率低等。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种基于金属纳米柱结构的高分辨率显示器制作方法，以解决现有技术缺陷。
[0006]基于金属纳本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.基于金属纳米柱结构的高分辨率显示器制作方法，其特征在于，所述方法包括步骤：在平整光滑的玻璃表面旋涂光刻胶，采用电子束曝光法制作周期有序的圆环结构；对圆环结构进行反应离子刻蚀，得到环形腔结构,并在环形腔结构内加入NOA之后揭下，得到周期圆柱；在周期圆柱上涂纳米压印胶，待纳米压印胶固化后撕下得到压印胶上的周期环形腔结构；对周期环形腔结构进行加热，再在周期环形腔结构镀铝膜；激发周期环形腔结构表面等离激元，显示出不同颜色。2.根据权利要求1所述的基于金属纳米柱结构的高分辨率显示器制作方法，其特征在于，对周期环形腔结构进行加热的方法包括：在周期环形腔结构边缘使用二氧化碳激光器加热。3.根据权利要求1所述的基于金属纳米柱结构的高分辨率显示器制作方法，其特征在于，周期环形腔...

【专利技术属性】
技术研发人员：倪海彬，赵悦，倪波，刘慧研，张思嘉，常建华，
申请(专利权)人：南京信息工程大学，
类型：发明
国别省市：