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基于金属纳米柱结构的高分辨率显示器制作方法技术
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文档序号:32509559
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本发明公开了基于金属纳米柱结构的高分辨率显示器制作方法,所述方法包括步骤:在平整光滑的玻璃表面旋涂光刻胶,采用电子束曝光法制作周期有序的圆环结构;对圆环结构进行反应离子刻蚀,得到环形腔结构,并在环形腔结构内加入NOA之后揭下,得到周期圆柱;...
该专利属于南京信息工程大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京信息工程大学授权不得商用。
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