【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种芯片制造
，尤其是一种可以同时控制多路显影液的多路显影液控制系统。
技术介绍
显影机是对曝光后的硅片进行显影以做出微米级图形的设备。显影液控制系统是显影机中重要的装置，其装载在显影机上，可以对显影液的供给、喷涂等工艺过程进行控制。一般的显影控制系统包括PLC电路，其上连接有输入端口及输出端口，其中输入端口与上位主机及传感器相连，输出端口与伺服机构及一个外接继电器接口相连，外接继电器接口将DEV供给信号与显影液供给系统进行传递，通过上述系统可以进行显影液的控制。然而，现有的显影设备中的供给控制系统一般只是对单路的显影供给系统进行控制，如果需要同时控制多个显影供给系统则无法完成。此时，只能对各个显影供给系统的供给要求分别处理，这样就会延误很多时间，且有时候会有不能处理的现象发生。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种多路显影液控制系统，可能够同时对多路显影液进行控制。本专利技术的目的是这样实现的一种多路显影液控制系统，用于对曝光后的硅片进行显影，包括PLC电路，其上连接有输入端口及输出端口，其中输入端口与上位主机及传感器相连，而输出端口与伺服机构及多个外接继电器接口相连，每一个外接继电器接口与显影液供给系统相连，且PLC内对应每一个显影液供给系统设置一组地址。与现有技术相比，本专利技术的有益效果是多路显影液控制系统可以同时修理多路显影液的供给，所以能够大幅提高设备利用率。附图说明附图为本专利技术多路显影液控制系统的结构及其与显影液供给系统的电连接框图。具体实施例方式下面结合附图和实施例对本专利技术作进一步描述。请参阅附图所示，本专...
【技术保护点】
一种多路显影液控制系统，用于对曝光后的硅片进行显影，包括ＰＬＣ电路，其上连接有输入端口及输出端口，其中输入端口与上位主机及传感器相连，其特征在于：输出端口与伺服机构及多个外接继电器接口相连，每一个外接继电器接口与显影液供给系统相连，且ＰＬＣ内对应每一个显影液供给系统设置一组地址。
【技术特征摘要】
1.一种多路显影液控制系统，用于对曝光后的硅片进行显影，包括PLC电路，其上连接有输入端口及输出端口，其中输入端口与上位主机及传感器相连，其特征在于输出端口与伺服机构及多个外接继电器接口相连，每一个外接继电器接口与显影液供给系统相连，且PLC内对应每一个显影液供给系统设置一组地址。2.如权利要求1所述的多路显影液控制系统，其特征在于所述显影液供给系统为集中化学药品供给系统...
【专利技术属性】
技术研发人员：张鹏，谢华，孙珉，徐哲峰，
申请(专利权)人：上海华虹NEC电子有限公司，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]
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