薄膜图案形成衬底、器件的制造方法、电光装置、电子机器制造方法及图纸

一种衬底（Ｐ），在衬底表面形成薄膜图案，该衬底（Ｐ）具有能注入功能液（Ｌ）的液体注入部（Ａ２）、功能液（Ｌ）能流动地连接配置的液体流动部（Ａ１）。在液体注入部（Ａ２）和液体流动部（Ａ１）的线宽度上，液体注入部（Ａ２）的宽度（ｄ）以液体流动部（Ａ１）的线宽度（ｂ）的２倍以下形成。提供能以良好的精度稳定形成细线状的微细薄膜图案的薄膜图案形成衬底、器件的制造方法、电光装置、电子机器。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及形成布线或元件等给定形状的薄膜图案的薄膜图案形成衬底、器件的制造方法、电光装置、电子机器。
技术介绍
作为形成电子电路或集成电路等中使用的布线等薄膜图案的方法，使用光刻法。该光刻法需要真空装置等大花费的设备和复杂的步骤，此外材料使用效率也为百分之几，必须废弃大部分，制造成本高。而如专利文献1所述，提出使用从液体喷出头把液体材料按液滴状喷出的液滴喷出法所谓的喷墨法，在衬底上形成薄膜图案的方法(参照专利文献1)。在该方法中，对设置在衬底上的斥液性的围堰(扩散防止图案)内的凹状的区域(液体收藏部)喷出薄膜图案用的液体材料(功能液)，然后进行热处理或激光照射，干燥，形成薄膜图案。根据该方法，具有不需要光刻、工艺大幅度简化，并且原材料的使用量也少的优点。特开昭59-75205号公报可是，近年，构成器件的电路的高密度化进展，关于布线，要求更微细化、细线化。在使用上述的液滴喷出法的薄膜图案形成方法中，落在液体注入部的功能液向线宽度窄的液体流动部浸湿扩散，从而形成比着落(着落液滴)直径还窄的线宽度的布线图案，但是这时，如果能注入液体注入部的功能液量(最大注入量)多，就能使流入液体流动部的功能液量增大，所以能以少的次数(例如1次)的注入(喷出)形成必要的膜厚的布线图案。可是，如果液体注入部的最大注入量小，则必须对同一液体注入部隔开时间多次注入功能液，多次重复注入和浸湿扩散，重复的次数越多，越成为形成布线等薄膜图案的衬底的生产效率下降的原因。而且，在形成更微细的布线图案时，有必要使液滴的扩散均一，膜厚更均一。可是，喷出的液滴在着落后在衬底上扩散时，着落位置的偏差引起的功能液的蒸发速度不均一，从而有可能无法均一地形成膜厚。如上所述，当膜厚不均一时，在形成的膜上形成凹凸，难以稳定形成微细的薄膜图案。而且，由于在形成的膜上形成凹凸，从而在具有层叠膜而取得的层叠构造的器件中，难以一边确保断线和短路等质量的稳定性，一边形成微细的薄膜图案。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供能精度良好地稳定形成细线状的微细薄膜图案的薄膜图案形成衬底、器件的制造方法、电光装置、电子机器。本专利技术的薄膜图案在衬底上凹陷设置的区域形成薄膜图案，其特征在于所述凹陷设置的区域具有宽度相对宽地形成的宽阔部、连接在所述宽阔部上的线状部；所述宽阔部的平均直径设定为所述线状部的线宽度的2倍以下(在本说明书中“以上”、“以下”、“以内”均包括本数)。根据本专利技术，注入宽阔部的功能液注入线状部中，注入宽阔部的功能液的表面张力引起的压力和注入线状部的功能液的表面张力引起的压力在稳定状态下平衡。线宽度为2倍以下，所以宽阔部的接触角比线状部的接触角大，宽阔部的最大液体注入量增加。而且，功能液注入后的宽阔部的液面高度和线状部的液面高度成为2倍以内，干燥成为薄膜时的膜厚差变为允许范围内，能形成凹凸少的薄膜图案，所以能保持膜厚的均一性。因此，能形成断线少的薄膜图案，所以能提供质量稳定的器件。本专利技术的薄膜图案衬底希望所述宽阔部具有在不同的方向直径大致相等的各向同性形状；所述宽阔部的宽度设定为所述线状部的线宽度的2倍以下。根据本专利技术，注入宽阔部的功能液的表面张力引起的压力和注入线状部的功能液的表面张力引起的压力在稳定状态下平衡。线宽度为2倍以下，所以宽阔部的接触角比线状部的接触角大，宽阔部的最大液体注入量增加。而且，功能液注入后的宽阔部的液面高度和线状部的液面高度成为2倍以内，干燥成为薄膜时的膜厚差变为允许范围内，能形成凹凸少的薄膜图案。本专利技术的薄膜图案衬底希望所述宽阔部具有在不同的方向直径不同的各向异性形状；所述宽阔部的平均直径设定为所述线状部的线宽度的2倍以下。根据本专利技术，即使宽阔部成为各向异性形状，注入宽阔部的功能液的表面张力引起的压力和注入线状部的功能液的表面张力引起的压力在稳定状态下平衡。线宽度为2倍以下，所以宽阔部的接触角比线状部的接触角大，宽阔部的最大液体注入量增加。而且，功能液注入后的宽阔部的液面高度和线状部的液面高度成为2倍以内，干燥成为薄膜时的膜厚差变为允许范围内，能形成凹凸少的薄膜图案。本专利技术的薄膜图案衬底希望所述宽阔部的各向同性形状是圆形。根据本专利技术，即使宽阔部的形状为成为圆形，注入宽阔部的功能液的表面张力引起的压力和注入线状部的功能液的表面张力引起的压力在稳定状态下平衡。线宽度为2倍以下，所以宽阔部的接触角比线状部的接触角大，宽阔部的最大液体注入量增加。而且，功能液注入后的宽阔部的液面高度和线状部的液面高度成为2倍以内，干燥成为薄膜时的膜厚差变为允许范围内，能形成凹凸少的薄膜图案。而且，能使功能液接近最大直径，所以能增加功能液的喷出量，所以生产效率提高。本专利技术的薄膜图案衬底希望所述宽阔部的各向异性形状为椭圆形，所述宽阔部的长直径和短直径的调和平均设定为所述线状部的线宽度的2倍以下。根据本专利技术，即使宽阔部成为椭圆形，注入宽阔部的功能液的表面张力引起的压力和注入线状部的功能液的表面张力引起的压力在稳定状态下平衡。线宽度为2倍以下，所以宽阔部的接触角比线状部的接触角大，宽阔部的最大液体注入量增加。而且，功能液注入后的宽阔部的液面高度和线状部的液面高度成为2倍以内，干燥成为薄膜时的膜厚差变为允许范围内，能形成凹凸少的薄膜图案。而且，即使功能液的着落位置稍微偏移，宽阔部为椭圆形，所以功能液能高效着落。本专利技术的薄膜图案衬底希望所述宽阔部是注入所述薄膜图案的干燥前的材料功能液的液体注入部；所述线状部是注入所述液体注入部中的所述功能液可注入地连接在所述液体注入部上的线状的液体流动部。根据本专利技术，注入宽阔部的功能液的表面张力引起的压力和注入线状部的功能液的表面张力引起的压力在稳定状态下平衡。线宽度为2倍以下，所以宽阔部的接触角比线状部的接触角大，宽阔部的最大液体注入量增加。而且，功能液注入后的宽阔部的液面高度和线状部的液面高度成为2倍以内，干燥成为薄膜时的膜厚差变为允许范围内，能形成凹凸少的薄膜图案。而且，与线状的液体流动部连接，所以注入液体注入部的功能液容易流到液体流动部。本专利技术的薄膜图案衬底希望在所述衬底上形成围堰部，在所述凹陷设置的区域形成所述围堰部的内侧。根据本专利技术，围堰部的内侧形成在凹陷设置的区域中，所以功能液更容易流动。本专利技术的薄膜图案衬底希望所述围堰部的内侧的所述凹陷设置的区域是亲液性部。根据本专利技术，注入宽阔部的功能液在由围堰部包围的亲液性部中流动，所以功能液容易流入线状部。因此，能形成凹凸更少的均一的薄膜图案。本专利技术的薄膜图案衬底希望通过喷墨法对所述宽阔部注入功能液。根据本专利技术，能更精细地控制功能液飞翔直到落到衬底上的液滴直径，所以减少喷出的功能液，从而能更微细地形成均一的薄膜图案。本专利技术的薄膜图案衬底希望所述围堰部的内侧的所述凹陷设置的区域是导电性的图案。根据本专利技术，能形成具有导电性的微细的薄膜图案。本专利技术的器件的制造方法在衬底表面形成薄膜图案，制造器件，其特征在于包括形成宽阔部的步骤；在所述宽阔部形成功能液可流动地连接配置的线状部的步骤；对所述宽阔部注入所述功能液的步骤；所述功能液从所述宽阔部流入线状部的步骤；把流入所述线状部的所述功能液干燥，形成薄膜图案的干燥步骤；所述宽阔部的线宽度的平均直径为所述线状部的线宽度的2倍以下。根据本专利技术，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种薄膜图案衬底，是在衬底上凹陷设置的区域形成薄膜图案的薄膜图案衬底，其特征在于：所述凹陷设置的区域，具有宽度相对宽地形成的宽阔部、和连接在所述宽阔部上的线状部；所述宽阔部的平均直径设定为所述线状部的线宽度的２倍以下。

【技术特征摘要】
JP 2004-11-1 2004-3175581.一种薄膜图案衬底，是在衬底上凹陷设置的区域形成薄膜图案的薄膜图案衬底，其特征在于所述凹陷设置的区域，具有宽度相对宽地形成的宽阔部、和连接在所述宽阔部上的线状部；所述宽阔部的平均直径设定为所述线状部的线宽度的2倍以下。2.根据权利要求1所述的薄膜图案衬底，其特征在于所述宽阔部具有在不同的方向上直径大致相等的各向同性形状；所述宽阔部的宽度设定为所述线状部的线宽度的2倍以下。3.根据权利要求1所述的薄膜图案衬底，其特征在于所述宽阔部具有在不同的方向上直径不同的各向异性形状；所述宽阔部的平均直径设定为所述线状部的线宽度的2倍以下。4.根据权利要求1或2所述的薄膜图案衬底，其特征在于所述宽阔部的各向同性形状是大致圆形。5.根据权利要求1或3所述的薄膜图案衬底，其特征在于所述宽阔部的各向异性形状为椭圆形，所述宽阔部的长径与短径的调和平均设定为所述线状部的线宽度的2倍以下。6.根据权利要求1～5中的任意一项所述的薄膜图案衬底，其特征在于所述宽阔部是注入所述薄膜图案的干燥前的材料功能液的液体注入部；所述线状部是流入注入所述液体...

【专利技术属性】
技术研发人员：酒井真理，平井利充，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]