本发明专利技术公开了一种激光诱导热成像（ＬＩＴＩ）装置及使用该ＬＩＴＩ装置制造电子器件的方法。ＬＩＴＩ装置包括腔体、基底支撑件、晒版器件和激光源或振荡器。ＬＩＴＩ装置将可转印层从膜供体器件转印到中间电子器件的表面上。ＬＩＴＩ装置利用磁力来提供可转印层和中间器件表面之间的紧密接触。在ＬＩＴＩ装置的彼此分隔地置于可转印层和中间器件表面之间的两个组件中形成的磁性材料产生磁力。磁体或磁性材料形成在下面的ＬＩＴＩ装置的两个组件中：１）中间器件和膜供体器件；２）中间器件和晒版器件；３）基底支撑件和膜供体器件；４）基底支撑件和晒版器件。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种电子器件的生产，更具体地讲，涉及利用激光诱导热成像(LITI)技术在电子器件中形成有机材料层。
技术介绍
某些电子器件包括有机层。例如，有机发光器件(OLED)包括多个有机层。已经采用各种方法来形成这些有机层。例如，这些方法包括沉积法、喷墨法和激光诱导热成像(LITI)法。在LITI法中，膜供体(film donor)器件用来提供可转印层。膜供体器件放置在已经局部构造好的电子器件(中间器件)上，使得可转印层接触中间器件的将被转印上可转印层的表面(接收表面)。然后，对供体器件的选择的区域施加激光束，这使得在所选择的区域中在供体器件中产生热。这个热量导致可转印层的期望的部分脱层。当移走供体器件时，可转印膜的脱层的部分留在中间器件的表面上。通常的LITI装置利用抽气来使得在这个过程中可转印层接触中间器件的表面并保持这种状态。图1是LITI装置100的剖视图。LITI装置100包括腔体110、基底支撑件120和激光源或振荡器130。基底支撑件120包括中间器件容纳凹槽121，用以在其中容纳中间电子器件140；供体器件容纳凹槽123，用以在其中容纳膜供体器件150。为了以高的精确度和较少的缺陷将有机材料部分转印到中间器件，需要可转印层和接收表面之间紧密接触。LITI装置100包括用于形成这样的紧密接触的抽气机械装置。该抽气机械装置包括管161、163和真空泵P。通过管161的抽气使得放置在凹槽121中的中间器件(未示出)向下并且保持这种状态。通过管163的抽气使得放置在凹槽123中的供体器件(未示出)向下且与中间器件接触，并保持这种状态。为了执行这些抽气过程，在腔体内需要空气或其它气体介质。然而，在LITI工艺之前或之后执行的工艺通常在真空气氛下进行。因此，利用上述抽气的LITI工艺需要打破前面和后续工艺之间的真空。在该部分中的讨论在于提供相关技术的背景信息，而不构成对现有技术的陈述。
技术实现思路
本专利技术的一方面提供了一种用于激光诱导热成像(LITI)的装置，该装置包括基底支撑件，构造成支撑中间电子器件和膜供体器件；激光源；晒版器件，位于所述基底支撑件和所述激光源之间，所述晒版器件在第一位置和第二位置之间相对于所述基底支撑件是可移动的，所述第一位置距离所述基底支撑件第一距离，所述第二位置距离所述基底支撑件第二距离，所述第二距离大于所述第一距离，所述晒版器件被构造成在所述第一位置附近将所述膜供体器件压向所述中间器件，所述晒版器件包含从由永磁体和电磁体组成的组中选择的至少一种磁性材料。所述电磁体可以与外部电源电连接，并可以被构造成被有选择性地励磁。所述至少一种磁性材料可包括从由板、片、块、杆和颗粒组成的组中选择的一个或多个形式。所述晒版器件可包括磁性部分和非磁性部分，所述磁性部分可包含至少一种磁性材料。所述磁性部分可被布置成比所述非磁性部分通常更靠近所述基底支撑件。所述基底支撑件包含从由永磁体、电磁体和磁性可吸引材料组成的组中选择的至少一种磁性材料。该装置还可包括中间器件，包括接收表面，并被放置在所述基底支撑件的上方；膜供体器件，包括可转印膜层，并被放置在所述中间器件的上方。可布置所述中间器件和所述膜供体器件，使得所述接收表面和所述可转印膜层接触。在所述接收表面和所述可转印膜层之间会基本上没有气泡。所述膜供体器件还可包括光热转化层。所述膜供体器件可不包括含有永磁体或电磁体的磁性层。所述中间电子器件可包含从由永磁体、电磁体和磁性可吸引材料组成的组中选择的至少一种磁性材料。本专利技术的另一方面提供了一种利用该装置来制造电子器件的方法，所述方法包括将中间器件放置在所述基底支撑件上，所述中间器件包括第一表面和第二表面，所述第一表面面对所述晒版器件，所述第二表面接触所述基底支撑件；将膜供体器件放置在所述中间器件的第一表面上，所述膜供体器件包括第三表面和第四表面，所述第三表面面对所述晒版器件，所述第四表面面对所述基底支撑件；移动所述晒版器件以使其接触所述膜供体器件的第三表面，使得所述膜供体器件的第四表面接触所述中间器件的第一表面；将所述膜供体器件压向所述中间器件。所述晒版器件可包括开口，所述方法还可包括将激光束通过所述晒版器件的开口照射到所述膜供体器件上。可以在真空气氛下执行所述方法。所述晒版器件可包含电磁体，引发所述磁力包括激励所述电磁体。挤压所述膜供体器件可包括将所述晒版器件的重力施加到所述膜供体器件。挤压所述膜供体器件还可包括使得所述至少一种磁性材料与在所述中间器件的第一表面下面的磁体或磁性可吸引材料相互发生磁力作用。所述中间器件可包含所述磁体或磁性可吸引材料。所述基底支撑件可包含所述磁体或磁性可吸引材料。附图说明从以下结合附图的描述中，本专利技术的方面和优点将变得清楚并更易于理解。图1示出了激光诱导热成像装置的示意性剖视图。图2示出了根据本专利技术一个实施例的激光诱导热成像装置的示意性剖视图。图3示出了根据本专利技术一个实施例的激光诱导热成像装置的示意性分解透视图。图4A和图4B示出了根据本专利技术实施例的局部构造好的电子器件的示意性剖视图。图4C示出了根据本专利技术一个实施例的局部构造好的电子器件的示意性俯视平面图。图5A示出了根据本专利技术一个实施例的基底支撑件的示意性透视图。图5B示出了沿着线I-I’截取的图5A中的基底支撑件的示意性剖视图。图6A-图6C示出了根据本专利技术实施例的供体器件的示意性局部剖视图。图7示出了根据本专利技术一个实施例的晒版器件(contanct frame)的示意性透视图。图8是根据本专利技术一个实施例的激光诱导热成像方法的流程图。图9A-9F示出了根据本专利技术一个实施例的激光诱导热成像方法。图10A-10D示出了根据本专利技术一个实施例的激光诱导热成像方法。图11示出了根据本专利技术一个实施例的激光振荡器的示意性透视图。具体实施例方式将参照附图来详细描述本专利技术的多个实施例。在附图中，相同的标号表示相同或功能相似的部件或元件。激光诱导热成像装置在实施例中，LITI装置利用磁力来提供膜供体器件和中间器件之间的紧密接触。与图1中的LITI装置的抽气不同，磁力不需要腔体内部的空气或流体。在实施例中，利用磁力使膜供体器件和中间器件接触既可以在真空条件下进行也可以在非真空条件下进行。图2示出了根据一个实施例的LITI装置200。示出的LITI装置包括腔体210、基底支撑件260、晒版器件230、激光源或振荡器220。腔体210提供了用膜供体器件241来加工中间(或局部构造的)电子器件250的空间。基底支撑件260被构造成支撑中间器件250和膜供体器件241。晒版器件230可移动地连接到腔体210，用于在膜供体器件241上方提供向下的重力。在一些实施例中，晒版器件230可以省略。膜供体器件241包括可转印层(未示出)。通过激光将可转印层转印到中间器件上。激光振荡器220位于晒版器件230的上方。激光振荡器220被构造成通过晒版器件230来将激光照射到膜供体器件241上。在一个实施例中，LITI装置200的操作如下。首先，将中间器件250引入腔体210中，并放置在基底支撑件260上。然后，将膜供体器件241放置在中间器件250的上方。膜供体器件241至少部分接触中间器件250。利用磁力将膜供体器件241压向中间器件25本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种用于激光诱导热成像的装置，包括：基底支撑件，构造成支撑中间电子器件和膜供体器件；激光源；晒版器件，位于所述基底支撑件和所述激光源之间，所述晒版器件在第一位置和第二位置之间相对于所述基底支撑件是可移动的，所述第一位 置距离所述基底支撑件第一距离，所述第二位置距离所述基底支撑件第二距离，所述第二距离大于所述第一距离，所述晒版器件被构造成在所述第一位置附近将所述膜供体器件压向所述中间器件，所述晒版器件包含从由永磁体和电磁体组成的组中选择的至少一种磁性材料。
【技术特征摘要】
KR 2005-11-16 10-2005-0109814;KR 2005-11-16 10-2001.一种用于激光诱导热成像的装置，包括基底支撑件，构造成支撑中间电子器件和膜供体器件；激光源；晒版器件，位于所述基底支撑件和所述激光源之间，所述晒版器件在第一位置和第二位置之间相对于所述基底支撑件是可移动的，所述第一位置距离所述基底支撑件第一距离，所述第二位置距离所述基底支撑件第二距离，所述第二距离大于所述第一距离，所述晒版器件被构造成在所述第一位置附近将所述膜供体器件压向所述中间器件，所述晒版器件包含从由永磁体和电磁体组成的组中选择的至少一种磁性材料。2.如权利要求1所述的装置，其中，所述电磁体与外部电源电连接，并被构造成被有选择性地励磁。3.如权利要求1所述的装置，其中，所述至少一种磁性材料包括从由板、片、块、杆和颗粒组成的组中选择的一个或多个形式。4.如权利要求1所述的装置，其中，所述晒版器件包括磁性部分和非磁性部分，其中，所述磁性部分包含至少一种磁性材料。5.如权利要求4所述的装置，其中，所述磁性部分通常被布置成比所述非磁性部分更靠近所述基底支撑件。6.如权利要求1所述的装置，其中，所述基底支撑件包含从由永磁体、电磁体和磁性可吸引材料组成的组中选择的至少一种磁性材料。7.如权利要求1所述的装置，还包括中间器件，包括接收表面，并被放置在所述基底支撑件的上方；膜供体器件，包括可转印膜层，并被放置在所述中间器件的上方。8.如权利要求7所述的装置，其中，布置所述中间器件和所述膜供体器件，使得所述接收表面和所述可转印膜层接触。9.如权利要求8所述的装置，其中，在所述接收表面和所述可转...
【专利技术属性】
技术研发人员：鲁硕原，金茂显，成镇旭，李相奉，金善浩，
申请(专利权)人：三星移动显示器株式会社，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]
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