蚀刻与清洗衬底的系统和方法技术方案

一个实施例提供了一种处理衬底的方法。该方法包括将一种溶液施加到衬底的表面。通过将能量（如光）作用于该溶液而由该溶液的离解产生至少一种反应组分。使衬底上的第一材料发生反应，并除去反应后的该第一材料。也描述了用于处理衬底的系统。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种处理衬底的方法，包括：将溶液施加到衬底的表面，其中，通过将光作用于所述溶液而由所述溶液的离解产生至少一种反应组分；使所述衬底上的第一材料发生反应；以及从所述衬底上除去所述反应后的第一材料。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：M克罗立克，JM柏依，K蜜可海丽，M瑞夫肯，FC瑞德克，JM德赖瑞厄斯，
申请(专利权)人：兰姆研究有限公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]