【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种蓝宝石衬底片研磨后的清洗工艺,属于蓝宝石衬底研磨后的清洗加工
技术介绍
蓝宝石(Sapphire)晶体具有优良的光学性能、物理性能和稳定的化学性能,广泛应用于高亮度LED衬底材料。蓝宝石衬底片为了获得优良的平坦度,需要以碳化硼为主要研磨材料对蓝宝石衬底片进行双面研磨加工,研磨后的蓝宝石衬底片表面残留有碳化硼微粉,在高温退火前需要进行清洗。由于碳化硼稳定的化学性能,研磨后的清洗非常困难,碳化硼微粉残留在蓝宝石衬底片表面,高温退火后在蓝宝石衬底片表面形成油亮斑,导致蓝宝石衬底片需要返工处理甚至报废。
技术实现思路
本专利技术的目的是针对现有清洗技术的缺陷,提供一种蓝宝石衬底片研磨后的清洗工艺,具有操作方便,一次成品合格率高,清洗进程无二次化学污染,清洗废液无污染易处理等特点。为解决以上技术问题,本专利技术提供的技术方案是:一种蓝宝石衬底片研磨后的清洗工艺,其特征在于,具体步骤如下:(1)将双面研磨后的蓝宝石衬底片放入RO纯水内,用强度为50W/cm2的超声波清洗15min,清洗完成后取出,并在室温下自然晾干;(2)将晾干后的蓝宝石衬底片放入超声清洗槽内,随后向超声清洗槽内放置氧化铝(AL2O3),氧化铝没过蓝宝石衬底片上表面3~5mm;(3)启动超声清洗槽,使用频率40~60KHZ的超声,设置超声强度为60W/cm2~80W/cm2,超声震洗15min;(4)将步骤(3)中,超声震洗后的蓝宝石衬底片放入RO纯水内,用强度为50W/cm2的超声波清洗15min;(5)将步骤(4)中,清洗后的蓝宝石衬底片放入清洗碱液内,用强度为50W/c ...
【技术保护点】
一种蓝宝石衬底片研磨后的清洗工艺,其特征在于,具体步骤如下:(1)将双面研磨后的蓝宝石衬底片放入RO纯水内,用强度为50W/cm2的超声波清洗15min,清洗完成后取出,并在室温下自然晾干;(2)将晾干后的蓝宝石衬底片放入超声清洗槽内,随后向超声清洗槽内放置氧化铝(AL2O3),氧化铝没过蓝宝石衬底片上表面3~5mm;(3)启动超声清洗槽,使用频率40~60KHZ的超声,设置超声强度为60W/cm2~80W/cm2,超声震洗15min;(4)将步骤(3)中,超声震洗后的蓝宝石衬底片放入RO纯水内,用强度为50W/cm2的超声波清洗15min;(5)将步骤(4)中,清洗后的蓝宝石衬底片放入清洗碱液内,用强度为50W/cm2的超声波清洗15min;(6)将步骤(5)中,碱液清洗后的蓝宝石衬底片放入16M纯水内,用强度为50W/cm2的超声波清洗15min;(7)将步骤(6)中,超声清洗后的蓝宝石衬底片用甩干机在1800rpm转速下甩干180秒,得到清洗干净的蓝宝石衬底片。
【技术特征摘要】
1.一种蓝宝石衬底片研磨后的清洗工艺,其特征在于,具体步骤如下:(1)将双面研磨后的蓝宝石衬底片放入RO纯水内,用强度为50W/cm2的超声波清洗15min,清洗完成后取出,并在室温下自然晾干;(2)将晾干后的蓝宝石衬底片放入超声清洗槽内,随后向超声清洗槽内放置氧化铝(AL2O3),氧化铝没过蓝宝石衬底片上表面3~5mm;(3)启动超声清洗槽,使用频率40~60KHZ的超声,设置超声强度为60W/cm2~80W/cm2,超声震洗15min;(4)将步骤(3)中,超声震洗后的蓝宝石衬底片放入RO纯水内,用强度为50W/cm2的超声波清洗15min;(5)将步骤(4)中,清洗...
【专利技术属性】
技术研发人员:秦光临,孙敦陆,
申请(专利权)人:江苏吉星新材料有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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