基板处理装置以及基板处理方法制造方法及图纸

一种基板处理装置及基板处理方法，防止在使被液体浸湿的基板表面干燥时在基板表面所形成图案产生破坏，良好地干燥基板表面。邻近挡块（３）的对置面（３１）相对基板表面（Ｗｆ）邻近配置，在对置面（３１）和基板表面（Ｗｆ）所夹持的间隙空间（ＳＰ）形成液封层（２３）的状态下，邻近构件（３）向移动方向（－Ｘ）移动，同时向液封层（２３）的上游侧端部（２３１）供给含有溶解在液体且使表面张力降低的溶剂成分的溶剂气体。进而，在液封层（２３）的上游侧界面（２３１ａ）或相比该上游侧界面（２３１ａ）而在移动方向的下游侧（－Ｘ），向基板表面（Ｗｆ）供给液体，将附着于基板表面（Ｗｆ）的冲洗液（液体）置换为所追加供给的新的液体。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种使被液体浸湿的基板表面干燥的。此外，作为干燥处理对象的基板包含半导体晶片、光掩模用玻璃基板、液晶显示用玻璃基板、等离子显示用玻璃基板、光盘用基板等。
技术介绍
在进行过利用处理液的清洗处理以及利用纯水等冲洗液的冲洗处理之后，为了除去呈液膜状地附着在基板上表面的冲洗液，从以往就提出很多种干燥方法。作为其中之一，公知有利用马兰哥尼(Marangoni)效应的干燥方法。该干燥方法是通过由表面张力差所产生的对流(马兰哥尼对流)来使基板干燥的方法，特别是在单张式的基板处理装置中，公知有组合利用马兰哥尼效应的干燥处理和旋转干燥处理的、所谓旋转移动(Rotagoni)干燥。在该旋转移动干燥中，从旋转着的基板的中心上方将IPA(异丙醇)蒸汽和纯水分别从喷嘴喷射到基板。然后，通过使这些喷嘴缓缓移动到基板的直径方向外侧，从而从喷射有IPA蒸汽的部分开始干燥，干燥区域从基板的中心扩大到周缘，从而使整个基板干燥。也就是说，通过伴随基板的旋转产生的离心力的作用和由IPA蒸汽的喷射产生的马兰哥尼效应来将基板上的纯水从基板除去，从而使其干燥。还有，作为利用了马兰哥尼效应的其他的基板干燥方法，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板处理装置，其使被液体浸湿的基板表面干燥，其特征在于，具有：邻近构件，其具有与上述基板表面对置的对置面，在该对置面从上述基板表面被分离配置的同时，在该对置面和上述基板表面所夹持的间隙空间中充满上述液体而形成液封层的状态下，相对 于上述基板在规定的移动方向上能够相对自由移动；驱动装置，其使上述邻近构件相对于上述基板在上述移动方向上相对移动；溶剂气体供给装置，其向在上述移动方向上游侧的上述液封层的端部供给溶剂气体，该溶剂气体必须含有溶解在上述液体中且使 表面张力降低的溶剂成分；液体供给装置，其在上述液封层的上游侧界面或者相比该上游侧界面而在上述移动...

【技术特征摘要】
JP 2006-3-22 2006-0782281.一种基板处理装置，其使被液体浸湿的基板表面干燥，其特征在于，具有邻近构件，其具有与上述基板表面对置的对置面，在该对置面从上述基板表面被分离配置的同时，在该对置面和上述基板表面所夹持的间隙空间中充满上述液体而形成液封层的状态下，相对于上述基板在规定的移动方向上能够相对自由移动；驱动装置，其使上述邻近构件相对于上述基板在上述移动方向上相对移动；溶剂气体供给装置，其向在上述移动方向上游侧的上述液封层的端部供给溶剂气体，该溶剂气体必须含有溶解在上述液体中且使表面张力降低的溶剂成分；液体供给装置，其在上述液封层的上游侧界面或者相比该上游侧界面而在上述移动方向的下游侧，向上述基板表面供给上述液体，而将附着于上述基板表面的液体置换为所供给的液体。2.如权利要求1所记载的基板处理装置，其特征在于，上述液体供给装置具有第一喷嘴，该第一喷嘴相对于上述邻近构件而在上述移动方向的下游侧，向上述基板表面喷出上述液体。3.如权利要求1所记载的基板处理装置，其特征在于，上述液体供给装置具有第二喷嘴，该第二喷嘴向上述邻近构件的除了对置面之外的非对置面喷出上述液体，上述邻近构件将从上述第二喷嘴被喷出到上述非对置面的上述液体沿上述非对置面，向着规定上述对置面的边部中位于上述移动方向的上游侧的上游边部引导。4.如权利要求3所记载的基板处理装置，其特征在于，上述邻近构件将从上述第二喷嘴被喷出到上述非对置面的上述液体沿上述非对置面，向着规定上述对置面的边部中上述上游边部和位于上述移动方向的下游侧的下游边部引导。5.如权利要求3所记载的基板处理装置，其特征在于，上述邻近构件还具有延伸设置面，该延伸设置面作为上述非对置面而与上述上游边部相连接，同时，从该连接位置面向上述移动方向的上游侧并向着离开上述基板表面的方向延伸...

【专利技术属性】
技术研发人员：宫胜彦，
申请(专利权)人：大日本网目版制造株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]